氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20Pa時,入口閥2關(guān)閉,入口閥3打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進(jìn)行自身檢漏。揚(yáng)州妤林氦檢儀價錢
氦質(zhì)譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求:1、檢漏靈敏度高,可以檢出很小的漏孔;2、反應(yīng)時間短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質(zhì)量要求;4、能無損檢漏,不使被檢設(shè)備受到損傷和污染;5、穩(wěn)定性好,即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠;6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;7、檢漏范圍大,從大漏孔到小漏孔都能檢測到,以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用;8、檢漏時潔凈無油,滿足一些特殊的要求。全自動氦氣檢測機(jī)供應(yīng)廠家為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲,需要針對性的采取措施。
氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識:(1)前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);(2)電磁閥組的超聲清洗;(3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。
在選購氦質(zhì)譜檢漏儀時必須要注意這種儀器自身的能力和消費(fèi)的需求,并且在挑選氦質(zhì)譜檢漏儀時注意這種設(shè)備的價格和操作模式,確保這種產(chǎn)品能夠提供更加簡單的維修效果。氦質(zhì)譜檢漏儀及接線端子不要放置在易遭受碰撞或易進(jìn)水處,避免造成電器線路斷路或短路。不同氦質(zhì)譜檢漏儀都有特定的使用范圍,在超出使用范圍環(huán)境下工作,將會對氦質(zhì)譜檢漏儀造成損傷,嚴(yán)重可能會失去檢測功能。在檢漏過程中使用較高的測試壓力可以有效地檢測實(shí)際操作中沒有出現(xiàn)的泄漏孔。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
氦質(zhì)譜檢漏儀的的故障和處理:1、內(nèi)部的泄漏,當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn),更換密封件。2、本底信號不穩(wěn)定,1)本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染,注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng),降低環(huán)境本底。2)本底信號過高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時,質(zhì)譜室極易被污染,需返廠進(jìn)行清洗,本底信號不穩(wěn)定,檢查電源電壓是否穩(wěn)定,氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。銅陵妤林氦氣檢測儀使用方法
氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)。揚(yáng)州妤林氦檢儀價錢
影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度的原因是什么?穩(wěn)定時間對檢測的影響,在充氣的時候,壓縮空氣會因?yàn)槭軌籂顟B(tài)而進(jìn)入一個密閉容器后,引起一系列的熱力學(xué)-動力學(xué)變化。即當(dāng)一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后,其壓力會發(fā)生降低,若此時進(jìn)行測量,則這種壓力的變化會被視作一個由泄漏所引起的壓力變化,影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。這種“沖氣效應(yīng)”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當(dāng)充氣壓力或測試容積增加時,這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩(wěn)定時間來消除這種影響。揚(yáng)州妤林氦檢儀價錢
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