氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式：1、鐘罩法——測總漏率，將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進入被檢件，達到質(zhì)譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準(zhǔn)確位置?？梢钥闯鲧娬址ㄊ腔趪姶捣ǖ囊环N檢漏方法。2、背壓法——測總漏率，進行電子元器件氣密性檢測時常用背壓法。檢漏前用特定加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入特定檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實施檢漏。若器件有漏，則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進入檢漏罐，到達質(zhì)譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測量儀器。上海全自動氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。浙江模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項：1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實性。3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上，由近而遠的順序進行。4.檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進人質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口，防止因儀器長時間消除不掉氦影響而延誤測試。氦質(zhì)譜檢漏儀的特點：1.操作方便：體積小，重量輕，結(jié)構(gòu)緊湊，操作面板簡單；2.性能高：采用了進口檢漏儀儀分了泵與高性能的質(zhì)譜系統(tǒng)，靈敏度度高，響應(yīng)時間快，檢測壓強高；3.功能強大：多種模自動切換，豐富的菜單選項，具有權(quán)限管理功能。

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：（1）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。（2）如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。（3）在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時，產(chǎn)生測量誤差的主要來源：一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導(dǎo)致經(jīng)二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。五、校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)。蘇州小型氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺

氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。上海全自動氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3/s，普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲明顯減小.其靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點，適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。上海全自動氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

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