氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3/s，普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲明顯減小.其靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點，適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。紹興進口氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進行泄漏檢測的特定儀器，具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。在真空檢漏技術(shù)中，采用的是通用型檢漏儀器，具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確。安徽多功能氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀的進展，在科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展的時代，氦質(zhì)譜檢漏儀也在不斷的發(fā)展與完善。這主要由兩方面的因素所決定：一方面，檢漏應(yīng)用技術(shù)不斷的對檢漏儀提出新的要求，迫使氦質(zhì)譜檢漏儀自身的更新；另一方面，檢漏技術(shù)也在隨時隨地補充現(xiàn)有氦質(zhì)譜檢漏儀在應(yīng)用過程中存在的某些不足，因此二者的關(guān)系是相互補充、相互促進的。自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程?，F(xiàn)今生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法。靈敏度、反應(yīng)時間、消除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到合適的值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。氦質(zhì)譜檢漏儀，顧名思義一般都會采用氦氣作為主要的示漏氣體。

氦質(zhì)譜檢漏儀故障維修：1、機械泵不動作，檢查項目有：氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓是否正常，開關(guān)是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機械泵聲音異常，檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器)。3、分子泵故障燈亮，檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置，此時應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點而被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。無錫移動式氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

使用氦質(zhì)譜檢漏儀的要求有哪些？紹興進口氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀適用于元件精確檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速于精確的結(jié)果，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的可靠性。常見的氦質(zhì)譜檢漏儀檢測儀方法有漏點型、漏率型兩種。氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理。當(dāng)樣品的密封面發(fā)生泄漏時，氦和其他元件的泄漏氣體會從泄漏孔中泄漏出來。當(dāng)泄漏氣體進入氦質(zhì)譜泄漏檢測器后，由于氦質(zhì)譜泄漏檢測器具有選擇性識別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號。在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。紹興進口氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

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