氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：首先要考慮到靈敏度必需充分滿足要求，選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時。但也不是越高越好。便攜式檢漏儀適于檢小件，靈敏度也較高，移動方便。由于本機真空系統(tǒng)很小，抽氣能力有限，所以檢大容器時就不得不靠較大輔助真空系統(tǒng)抽氣，由于氣體分流、靈敏度將降低。檢大容器時，一般選逆擴散型檢漏儀，因被檢件接在分子泵錢級與機械泵連接管道上，要求真空度不高，而順檢型檢漏儀被檢件接在質(zhì)譜室上，要求真空度高，否則儀器不能工作，所以抽氣時間要長。如果在流水線上測振儀可選用特定檢漏儀或作簡單工裝使用。若平時被檢件什么樣的都可能有，可以選用基本型氦質(zhì)譜檢漏儀，以降低成本。禁止任何外來物掉在或灑在氦質(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進氣口中。上?？椭苹べ|(zhì)譜檢漏儀原理

氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)：1、可檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(yīng)(消除)時間：指一定流量的探索氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時間，漏率指示才能達到較大值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時間稍長于響應(yīng)時間。3、啟動時間：指氦質(zhì)譜檢漏儀自接通電源到能進行檢漏的時間。要注意使用的環(huán)境。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的生產(chǎn)、檢測，都是在20-25℃的室溫下進行。尤其有些標(biāo)準(zhǔn)漏孔，對溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達到30℃，這種標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率誤差增加30%。真空氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀常見的故障和處理：1、內(nèi)部的泄漏，當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。2、本底信號不穩(wěn)定，1）本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏，將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng)，降低環(huán)境本底。2）本底信號過高也有可能是因為質(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

氦質(zhì)譜檢漏儀進展集中體現(xiàn)如下方面：1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動檢測。2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。3.自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。4.全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)參數(shù)：可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；漏率顯示范圍：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s；啟動時間：≤5min；響應(yīng)時間：<2S；檢漏口壓力：300Pa；極限真空：5×10-4Pa；外形尺寸：560（W）×420（D）×300（H）；重量：46KG。優(yōu)勢特點：1.采用便攜式設(shè)計；2.設(shè)備外型美觀小巧；3.采用液晶觸摸屏設(shè)計；4.有通訊接口；5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃；相對濕度：<80%；供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz；工作電流：10A。在使用氦質(zhì)譜檢漏儀對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解。真空氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好

氦質(zhì)譜檢漏儀使用時需要注意哪些事項？上?？椭苹べ|(zhì)譜檢漏儀原理

氦質(zhì)譜檢漏儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。上海客制化氦質(zhì)譜檢漏儀原理

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