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寧波妤林氦檢機特點

來源: 發(fā)布時間:2022-03-15

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題:1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不適合檢漏;有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能,不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,此時應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染,就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大,必須選用抽泵抽速大的檢漏儀,否則就要外加預(yù)抽泵。氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響。寧波妤林氦檢機特點

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國許多設(shè)備的運轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控,特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗之中,應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測準度,所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇:1、如果被檢對對象不固定,體積時大時小,靈敏度要求時高時低時,就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點不固定,需要經(jīng)常搬運氦質(zhì)譜檢漏儀時,就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上,還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。小型氦檢機原理氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種。

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min,即在儀器處于較佳工作條件下,以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體,進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值,被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時,才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲,一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動量,能較方便地估計檢漏效果。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏原理:當一個帶電質(zhì)點(正離子)以速度v進入均勻磁場的分析器中,如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直,則它的運動軌跡為圓。當磁場的磁通密度一定時,不同質(zhì)荷比(m/e)的離子在磁場中都有相應(yīng)的運輸半徑,也就是都有相應(yīng)的圓軌跡,這樣,不同質(zhì)荷比的帶電粒子在磁場分析器中運動后就會彼此分開。如果在離大運動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對應(yīng)的氦離子運動半徑位置的檔板上開一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經(jīng)放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時,如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過漏孔進入檢漏儀的質(zhì)譜室中,使氦質(zhì)譜檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應(yīng)出來,達到了檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體?1、氦氣的質(zhì)量輕,易于穿過漏孔,進入系統(tǒng)時流動和擴散快,因此響應(yīng)快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當降低對分析器制造精度的要求,使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時本底信號小。氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲。氦檢機廠家推薦

氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做?寧波妤林氦檢機特點

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