氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點(diǎn)。上海真空氦檢儀

氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時(shí)，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成，因此在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對(duì)被檢件的前處理以及對(duì)設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進(jìn)行前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時(shí)導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。全自動(dòng)氦檢設(shè)備生產(chǎn)廠家敏度、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。檢漏儀在使用過程中，往往會(huì)因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度，若對(duì)其置之不理還會(huì)危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時(shí)解決或避免的，掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測(cè)技術(shù)中的重要應(yīng)用。

氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)：1、可檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(yīng)(消除)時(shí)間：指一定流量的探索氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間，漏率指示才能達(dá)到固定值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時(shí)間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時(shí)間稍長(zhǎng)于響應(yīng)時(shí)間。3、啟動(dòng)時(shí)間：指氦質(zhì)譜檢漏儀自接通電源到能進(jìn)行檢漏的時(shí)間。氦質(zhì)譜檢漏儀以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素包括實(shí)際檢測(cè)條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。氦質(zhì)譜檢漏儀在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。全自動(dòng)氦檢設(shè)備生產(chǎn)廠家

掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。上海真空氦檢儀

氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟：當(dāng)冷規(guī)指針已過1×10-2Pa，按燈絲啟動(dòng)，燈很亮，發(fā)射電流無指示，量離子源插頭①②足不通，即為燈絲斷，燈絲壽命一般正常使用為1至3個(gè)月。1、停機(jī)換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開機(jī)步驟進(jìn)行。2、不停機(jī)換燈絲：關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時(shí)“加速電壓”示值不應(yīng)有變化，“發(fā)射電流”示值應(yīng)為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內(nèi)有短路，應(yīng)取下排除。將閥開關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意：閥開關(guān)在“粗抽”的時(shí)間不要超過五分鐘)，全開節(jié)流閥，等真空抽上后，關(guān)閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”，開抽速閥，開冷規(guī)，等真空過1×10-2Pa后可啟動(dòng)燈絲，調(diào)氦峰。上海真空氦檢儀

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