氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國許多設(shè)備的運轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測準度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低時，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運氦質(zhì)譜檢漏儀時，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。氦質(zhì)譜檢漏儀的電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同。便攜式氦氣檢測機單位

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用。便攜式氦氣檢測機單位氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標準漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。

氦質(zhì)譜檢漏儀操作步驟：1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關(guān)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。

提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當工件抽上真空后，關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎，袋內(nèi)再充入氦氣，(但此法不能測出具體漏點)。4、使用液氮，全開節(jié)流閥，采用不分流檢漏，必要時可將抽速閥關(guān)小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護：1、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。2、定期更換機械泵油，適時對機械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后，安裝時要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時對氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進行清洗，排除漏點。由于氦質(zhì)譜檢漏儀儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。便攜式氦氣檢測機單位

噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。便攜式氦氣檢測機單位

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。便攜式氦氣檢測機單位

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