氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不但解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應(yīng)檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。例如可通過采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。另外，逆擴散檢漏方式，實現(xiàn)了高壓強下檢漏，也為正壓吸檢漏提供了良好的條件。氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。移動式氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)

氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進行泄漏檢測的特定儀器，具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。在真空檢漏技術(shù)中，采用的是通用型檢漏儀器，具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確。嘉興自動氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢氦質(zhì)譜檢漏儀需根據(jù)設(shè)備的使用頻率、被測品工藝要求定期使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對設(shè)備自身進行校準(zhǔn)。

氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：首先要考慮到靈敏度必需充分滿足要求，選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時。但也不是越高越好。便攜式檢漏儀適于檢小件，靈敏度也較高，移動方便。由于本機真空系統(tǒng)很小，抽氣能力有限，所以檢大容器時就不得不靠較大輔助真空系統(tǒng)抽氣，由于氣體分流、靈敏度將降低。檢大容器時，一般選逆擴散型檢漏儀，因被檢件接在分子泵錢級與機械泵連接管道上，要求真空度不高，而順檢型檢漏儀被檢件接在質(zhì)譜室上，要求真空度高，否則儀器不能工作，所以抽氣時間要長。如果在流水線上測振儀可選用特定檢漏儀或作簡單工裝使用。若平時被檢件什么樣的都可能有，可以選用基本型氦質(zhì)譜檢漏儀，以降低成本。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)參數(shù)：可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；漏率顯示范圍：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s；啟動時間：≤5min；響應(yīng)時間：<2S；檢漏口壓力：300Pa；極限真空：5×10-4Pa；外形尺寸：560（W）×420（D）×300（H）；重量：46KG。優(yōu)勢特點：1.采用便攜式設(shè)計；2.設(shè)備外型美觀小巧；3.采用液晶觸摸屏設(shè)計；4.有通訊接口；5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃；相對濕度：<80%；供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz；工作電流：10A。使用氦質(zhì)譜檢漏儀要注意哪些問題？

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合用吸的法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有多工位的檢漏儀。（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于元件精確檢漏的要求。江蘇氦質(zhì)譜檢漏儀費用

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)。移動式氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)

氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3/s，普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲明顯減小.其靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點，適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。移動式氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)

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