氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展，在科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展的時(shí)代，氦質(zhì)譜檢漏儀也在不斷的發(fā)展與完善。這主要由兩方面的因素所決定：一方面，檢漏應(yīng)用技術(shù)不斷的對(duì)檢漏儀提出新的要求，迫使氦質(zhì)譜檢漏儀自身的更新；另一方面，檢漏技術(shù)也在隨時(shí)隨地補(bǔ)充現(xiàn)有氦質(zhì)譜檢漏儀在應(yīng)用過程中存在的某些不足，因此二者的關(guān)系是相互補(bǔ)充、相互促進(jìn)的。自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程?，F(xiàn)今生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀需根據(jù)設(shè)備的使用頻率、被測(cè)品工藝要求定期使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)設(shè)備自身進(jìn)行校準(zhǔn)。江蘇臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)：1、可檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(yīng)(消除)時(shí)間：指一定流量的探索氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間，漏率指示才能達(dá)到較大值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時(shí)間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時(shí)間稍長(zhǎng)于響應(yīng)時(shí)間。3、啟動(dòng)時(shí)間：指氦質(zhì)譜檢漏儀自接通電源到能進(jìn)行檢漏的時(shí)間。要注意使用的環(huán)境。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的生產(chǎn)、檢測(cè)，都是在20-25℃的室溫下進(jìn)行。尤其有些標(biāo)準(zhǔn)漏孔，對(duì)溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達(dá)到30℃，這種標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率誤差增加30%。溫州推車式氦質(zhì)譜檢漏儀由于氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器具有選擇性識(shí)別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號(hào)。

氦質(zhì)譜檢漏儀可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)檢漏方法的具體要求：1、檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；2、反應(yīng)時(shí)間短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；4、能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；5、穩(wěn)定性好，即可以在足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；7、檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測(cè)到，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用；8、檢漏時(shí)潔凈無油，滿足一些特殊的要求。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個(gè)單個(gè)漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對(duì)象，所用方法簡(jiǎn)便易行，經(jīng)濟(jì)實(shí)用。低噪聲、低振動(dòng)，設(shè)備堅(jiān)實(shí)牢固；性能可靠，操作簡(jiǎn)便，造型美觀，售后服務(wù)周到；自保護(hù)功能，防止本底被污染；檢漏效率高，帶故障提示和報(bào)警功能。氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。蘇州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。江蘇臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢

氮?dú)錂z漏儀與氦質(zhì)譜檢漏儀有什么不同？氮?dú)錂z漏儀與氦質(zhì)譜檢漏儀均屬于示蹤氣體檢漏儀，氮?dú)錂z漏儀使用95%的氮?dú)饧?%的氫氣，氦質(zhì)譜檢漏儀使用的是氦氣，眾所周知，氫和氦是自然界中二種分子量較小的物質(zhì)，氫很活潑，氦是惰性氣體。氮?dú)錂z漏儀是通過測(cè)試氮?dú)浠旌蠚庵械臍錃庑孤┝縼頊y(cè)試泄漏的大小，氦質(zhì)譜檢漏儀是通過測(cè)試氦氣的泄漏來測(cè)試泄漏的大小。這兩種方法均是屬于較高精度的微泄漏檢測(cè)方法。氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器；真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器。江蘇臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢

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