氦質(zhì)譜檢漏儀常見的故障和處理：1、內(nèi)部的泄漏，當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn)，更換密封件。2、本底信號不穩(wěn)定，1）本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏，將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng)，降低環(huán)境本底。2）本底信號過高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進(jìn)行清洗，本底信號不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。溫州氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)

氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機(jī)械泵組成，因此在常規(guī)檢測時通常由前級機(jī)械泵對被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對被檢件的前處理以及對設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進(jìn)行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。紹興客制化氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏前用特定加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入特定檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實(shí)施檢漏。自動調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程?，F(xiàn)今生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀的機(jī)械泵有足夠的機(jī)械泵油；保證機(jī)體內(nèi)分子泵、機(jī)械泵、真高空組件各連接順暢；電源線線路沒有破損，有良好的接地。

氦質(zhì)譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求：1、檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；2、反應(yīng)時間短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；4、能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；5、穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；7、檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用；8、檢漏時潔凈無油，滿足一些特殊的要求。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。由于氦質(zhì)譜泄漏檢測器具有選擇性識別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號。

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)集中體現(xiàn)在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。在使用氦質(zhì)譜檢漏儀對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解。無錫移動式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。溫州氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合用吸的法檢漏；有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有多工位的檢漏儀。（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。溫州氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)

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