氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進(jìn)行泄漏檢測的特定儀器，具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。在真空檢漏技術(shù)中，采用的是通用型檢漏儀器，具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)。江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀費用

氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法：1、噴氦法，這是比較常用的一種方法，一般用于檢測體積相對較小的部件，將被檢器件和儀器連通，在抽好真空后，在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭，焊縫等)噴氦，如果被檢器件某處有漏孔，當(dāng)氦噴到漏孔上時，氦氣立即會被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴散到質(zhì)譜室中，氦質(zhì)譜檢漏儀的輸出就會立即有響應(yīng)。2、吸氦法，吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如導(dǎo)彈彈體、彈頭、氣罐、油罐等，先將容器抽真空，再給容器充入氦氣(為了節(jié)省用氦量，可以用低濃度氦氣)，在氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)氣法蘭處接上橡皮管，橡皮管的前端有直徑很小的毛細(xì)管，使毛細(xì)管在充了氦的被檢容器外壁的焊縫和密封接頭等處移動，如果該容器有漏隙，經(jīng)漏隙滲出的氦會被毛細(xì)管吸入，檢漏儀就會響應(yīng)。江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀費用氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測量儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點集中體現(xiàn)在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

氦質(zhì)譜檢漏儀使用時的注意事項：一、充注檢漏氣體前，試件必須抽空，為了正確試漏，在充注檢漏氣體前將試件預(yù)抽空是完全必要的，特別是對幾何形狀長和窄的試件尤為重要。如果充注前未抽空，試件中的空氣將被擠壓至幾何空間的終端，而檢漏氣體不可能進(jìn)入這個部位，從而潛在的漏孔將只釋放空氣，檢漏儀則不能檢測到這些漏孔。二、檢漏氣體測試前切勿使用水槽試漏，檢漏氣體測試的漏孔通常非常微小或者是狹長的毛細(xì)管，如果在檢漏氣體測試前將漏孔置于水槽中，這些漏孔或者毛細(xì)管則將被水堵塞或充滿，而堵在漏孔中的水因為表面張力的原因，會非常不易從小孔中驅(qū)逐，從而影響檢漏結(jié)果。解決這一問題的辦法，只能通過漫長的干燥過程來排除這些水分。選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮的問題有哪些？

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟(jì)實用。低噪聲、低振動，設(shè)備堅實牢固；性能可靠，操作簡便，造型美觀，售后服務(wù)周到；自保護(hù)功能，防止本底被污染；檢漏效率高，帶故障提示和報警功能。氦質(zhì)譜檢漏儀在充注檢漏氣體前，試件必須抽空。妤林氦質(zhì)譜檢漏儀報價

氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀費用

氦質(zhì)譜檢漏儀常見的檢漏法：1、負(fù)壓法檢漏，負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。2、正壓法檢漏，正壓法檢漏與負(fù)壓法檢漏相反，吸口接在檢漏儀的檢測口，而被檢件充入規(guī)定壓力的示蹤氣體，漏孔泄漏出來氦氣被吸入檢漏儀被檢測。大型容器或內(nèi)部放氣管量很大的容器做負(fù)壓檢漏很不經(jīng)濟(jì)，而且檢漏速度慢，一般采取正壓檢漏。3、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經(jīng)檢漏儀檢測總泄漏量。江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀費用

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