氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進行保養(yǎng)時，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機械泵組成，因此在常規(guī)檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到規(guī)定壓力后，再進入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對被檢件的前處理以及對設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進行保養(yǎng)維護，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時導致設(shè)備使用壽命縮短。氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。浙江真空氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間。2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓或有資格的設(shè)備維護工程師，才能使用此儀器。浙江真空氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式：1、鐘罩法——測總漏率，將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進入被檢件，達到質(zhì)譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準確位置。可以看出鐘罩法是基于噴吹法的一種檢漏方法。2、背壓法——測總漏率，進行電子元器件氣密性檢測時常用背壓法。檢漏前用特定加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入特定檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實施檢漏。若器件有漏，則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進入檢漏罐，到達質(zhì)譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進行泄漏檢測的特定儀器，具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。在真空檢漏技術(shù)中，采用的是通用型檢漏儀器，具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確。了解工件的漏孔問題是選擇氦質(zhì)譜檢漏儀的必要條件。

氦質(zhì)譜檢漏儀常見的檢漏法：1、負壓法檢漏，負壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。2、正壓法檢漏，正壓法檢漏與負壓法檢漏相反，吸口接在檢漏儀的檢測口，而被檢件充入規(guī)定壓力的示蹤氣體，漏孔泄漏出來氦氣被吸入檢漏儀被檢測。大型容器或內(nèi)部放氣管量很大的容器做負壓檢漏很不經(jīng)濟，而且檢漏速度慢，一般采取正壓檢漏。3、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經(jīng)檢漏儀檢測總泄漏量。氦質(zhì)譜檢漏儀，顧名思義一般都會采用氦氣作為主要的示漏氣體。江蘇推車式氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺

使用氦質(zhì)譜檢漏儀時要注意安全。浙江真空氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀使用時需要注意哪些事項?1、為試漏區(qū)配備足夠的通風條件，檢漏氣體氦氣如果泄露，就會像氣球一樣飛到試漏區(qū)的室頂，并逐漸漂滿整個試漏區(qū)。縱然所有連接件是完全密閉的，但在連接或拆卸的過程中難免會釋放少量的檢漏氣體。因此，為試漏區(qū)配備足夠的通風條件是非常重要的。由于氦氣有向上運動的趨向，建議從底部送入新鮮空氣和從頂部排放氣體至室外。2、保證試漏方向與使用中所受壓力方向相同，許多密封件有一個首要選擇的安裝方向，且在這個方向才能起到密封作用。例如，徑向軸封件，這種徑向軸封件在一個方向有密封作用，相反方向?qū)⒊霈F(xiàn)漏泄。同樣，還有很多密封件都會有類似的情況。如果試漏方向與使用中所受壓力方向相同，將易于找到實際的漏孔而不至于受到虛假報警的干擾。浙江真空氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢

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