氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。而在對應(yīng)的氦離子運動半徑位置的檔板上開一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經(jīng)放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時,如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過漏孔進(jìn)入檢漏儀的質(zhì)譜室中,使檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應(yīng)出來,達(dá)到了檢漏的目的。檢漏儀檢漏法是利用氦分壓力測量原理,實現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測量。滁州真空衰減法檢漏儀
檢漏儀是利用氦氣作為示漏氣體,用氣體分析儀對氦氣進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。在接有檢漏儀(即調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體,如果容器有漏孔,分析儀就會發(fā)出響聲,從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測泄漏技術(shù)是真空檢測領(lǐng)域中不可缺少的一項技術(shù),由于其檢測效率高、簡便易行、儀器反應(yīng)靈敏、準(zhǔn)確度高、不受其它氣體干擾等特點,在電阻爐檢測泄漏中被普遍應(yīng)用。試驗后,質(zhì)譜儀系統(tǒng)將對氣泡體及連接管內(nèi)氣體進(jìn)行主動分析。為確保實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性,所有鼓泡器中水、氧和溶劑的濃度都必須小于1ppm。測試后,應(yīng)提醒操作者測試結(jié)果是否合格,并記錄所有的測試數(shù)據(jù),以便追蹤。南京客制化檢漏儀特點氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時需注意哪些問題?
購買氦質(zhì)譜檢漏儀要注意哪些問題?在購買氦質(zhì)譜檢漏儀的時候,是有必要在結(jié)構(gòu)上做好選擇的,尤其是要確保選擇的氦質(zhì)譜檢漏儀有下面這樣的結(jié)構(gòu):材質(zhì)合適:不同的應(yīng)用對氦質(zhì)譜檢漏儀會有不同的性能和質(zhì)量要求,這需要通過選擇對應(yīng)種類的制作材料才能夠滿足。從這個方面來看,要求大家保證選擇的氦質(zhì)譜檢漏儀在材質(zhì)上合適,以此做好基本的適用性保證。外形合理:雖然不同的氦質(zhì)譜檢漏儀在外形上差異并不是很大,但是針對不同的應(yīng)用,對其外形的具體尺寸是會有不同要求的,所以需要大家確保選擇的氦質(zhì)譜檢漏儀在外形上合理,以保證能夠適合應(yīng)用,可以正常安裝。
氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點,達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解,了解有哪些漏源,才能快,準(zhǔn),狠的完成檢漏。需要進(jìn)行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng),以及電磁閥組的超聲清洗,此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù),避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。檢漏儀在高壓容器空調(diào)制冷設(shè)備制造等領(lǐng)域,必須模擬具體工作條件進(jìn)行檢漏。
氦氣檢漏儀能為不同的需求提供不同的測量方法,檢漏儀系統(tǒng)的檢漏儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點,達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。檢漏儀特點:1.檢測時間和周期非常短,可以達(dá)到5s以內(nèi);2.檢測的介質(zhì)比較常用,只需壓縮空氣即可;3.不會受到主觀因素判斷的影響;4.檢測的數(shù)據(jù)精確;5.自動生成數(shù)據(jù)保存,可追溯數(shù)據(jù)來源。檢漏儀檢漏時切勿將大量的氦氣通進(jìn)儀器,避免本底太大,難以清理。浙江密封性檢漏機(jī)
檢漏儀待機(jī)時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa,燈絲不易被氧化脆斷。滁州真空衰減法檢漏儀
檢漏儀檢漏時出現(xiàn)的故障:1、不向細(xì)檢方式轉(zhuǎn)換,檢漏口壓力<2×10-4MPa:檢查粗檢指示燈是否亮,如果亮,說明檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開關(guān)切換到自動轉(zhuǎn)換狀態(tài)。2、靈敏度低。檢查三極規(guī)所測壓力,等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時再檢漏;如果壓力達(dá)到,檢查離子源是否被污染,清洗離子源。3、氦本底太高。檢查機(jī)械泵油是否失效(泵油長期使用變質(zhì)會吸附較多的氦氣,導(dǎo)致氦污染),檢查儀器系統(tǒng)是否有漏,真空管路是否污染,檢查三極規(guī)上壓力是否達(dá)到10-6MPa,離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問題,如果有多臺檢漏儀,且氦氣的使用量較大,通風(fēng)不好時,致使氦氣擴(kuò)散慢,也會導(dǎo)致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處,安裝一個幾升容量的氣瓶,該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣,就大幅減少了環(huán)境的氦污染。滁州真空衰減法檢漏儀
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