氦質(zhì)譜檢漏儀常見的故障和處理：1、內(nèi)部的泄漏，當檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。2、本底信號不穩(wěn)定，1）本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏，將室內(nèi)的門窗打開通風，降低環(huán)境本底。2）本底信號過高也有可能是因為質(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應有可靠的接地。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)參數(shù)：可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。溫州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀單位

氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護：1、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。2、定期更換機械泵油，適時對機械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后，安裝時要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時對氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進行清洗，排除漏點。?氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？先用較細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。上海自動氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。

氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法檢漏的注意事項：檢漏過程會有以下現(xiàn)象：1.氦質(zhì)譜檢漏儀只能檢測微漏的工件；大漏的工件，在清氦過程，壓入內(nèi)部的氦氣就可能泄露出來，在氦檢時就檢測不到氦氣漏出。2.工件清氦后，放置待檢時間不要超過1小時，防止壓入的氦氣漏出。3.實驗測試時是單獨檢測工件；批量檢測時檢漏儀的本底值會成倍的大于單獨檢測的本底值。4.批量檢測時，發(fā)現(xiàn)有漏件，可以逐漸減半的方式，找到具體的漏件。5.每次檢測時，可以空檢檢漏罐并記錄相應的漏率值，做為檢測的對比參數(shù)。氦質(zhì)譜檢漏儀從以往的單方面領(lǐng)域的應用到現(xiàn)在多領(lǐng)域的應用，如：航空航天高科技工業(yè)、電力行業(yè)、電子行業(yè)、真空儀器儀表行業(yè)、核工業(yè)、制冷行業(yè)、不銹鋼保溫器皿等。

怎么確定氦質(zhì)譜檢漏儀用于鍍膜設備的靈敏度？較佳工作條件。指被檢鍍膜設備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。動態(tài)檢漏。指不用累積法進行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進行抽真空，裝置的反應時長小于3s，3s當中的抽氣系統(tǒng)的時間常數(shù)是小于一秒的；較小可檢。指其信號是本底噪聲的兩倍；漏孔的漏率。指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠遠低于100kPa的壓力）的漏率。對氦分壓變化有反應的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時，當中氦的濃度。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟：1、停機換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開機步驟進行。2、不停機換燈絲：關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時“加速電壓”示值不應有變化，“發(fā)射電流”示值應為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內(nèi)有短路，應取下排除。將閥開關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意：閥開關(guān)在“粗抽”的時間不要超過五分鐘)，全開節(jié)流閥，等真空抽上后，關(guān)閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”，開抽速閥，開冷規(guī)，等真空過1×10-2Pa后可啟動燈絲，調(diào)氦峰。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時應先將離子源內(nèi)的污漬用細砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應正對電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。怎么確定氦質(zhì)譜檢漏儀用于鍍膜設備的靈敏度？上海自動氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。溫州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀單位

氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲高是什么原因？一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴散。四、檢漏儀中空氣的本底影響。五、殘余氣體分子對離子的散射作用。六、燈絲和其他電極受機械振動引起的效應。因此，為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施，如減少采用有機材料，不用磁放電規(guī)，提高檢漏儀的工作真空度，保證穩(wěn)定抽速等等。另外檢漏時切勿將大量的氦氣通進儀器，避免本底太大，難以清理。溫州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀單位

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