氦質譜檢漏儀的選擇：首先要考慮到靈敏度必需充分滿足要求，選擇氦質譜檢漏儀時。但也不是越高越好。便攜式檢漏儀適于檢小件，靈敏度也較高，移動方便。由于本機真空系統(tǒng)很小，抽氣能力有限，所以檢大容器時就不得不靠較大輔助真空系統(tǒng)抽氣，由于氣體分流、靈敏度將降低。檢大容器時，一般選逆擴散型檢漏儀，因被檢件接在分子泵錢級與機械泵連接管道上，要求真空度不高，而順檢型檢漏儀被檢件接在質譜室上，要求真空度高，否則儀器不能工作，所以抽氣時間要長。如果在流水線上測振儀可選用特定檢漏儀或作簡單工裝使用。若平時被檢件什么樣的都可能有，可以選用基本型氦質譜檢漏儀，以降低成本。氦質譜檢漏儀的靈敏度可達10-12Pam3/s。紹興推車式氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間。2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經過培訓或有資格的設備維護工程師，才能使用此儀器。金華小型氦質譜檢漏儀特點只有經過培訓或有資格的設備維護工程師，才能使用氦質譜檢漏儀。

氦質譜檢漏方法 ( 以下簡稱氦檢)以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和 設備內部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將 設備完全抽成真空狀態(tài)， 往往會增加測試用設備( 如高、低壓真空泵、真空閥等)和設備工裝 ( 如 外壓加強圈)而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備;對于大多數(shù)壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設備內部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結果，因此，測試前必須設備內部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設備內部干燥。

怎么確定氦質譜檢漏儀用于鍍膜設備的靈敏度？較佳工作條件。指被檢鍍膜設備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調整到較佳工作狀態(tài)等。動態(tài)檢漏。指不用累積法進行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進行抽真空，裝置的反應時長小于3s，3s當中的抽氣系統(tǒng)的時間常數(shù)是小于一秒的；較小可檢。指其信號是本底噪聲的兩倍；漏孔的漏率。指干燥空氣（100kPa的壓力）經漏孔通向真空端（遠遠低于100kPa的壓力）的漏率。對氦分壓變化有反應的氦質譜檢漏儀，為表征這種反應特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設備的氦質譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時，當中氦的濃度。氦質譜檢漏儀主要領域和產品如下：原子能工業(yè)氣體擴散處理系統(tǒng)、核燃料容器高能物理研究院加速器等等。

氦質譜儀的泄漏檢測方法通常有兩種，一種是常規(guī)泄漏檢測，另一種是反向擴散泄漏檢測。反向擴散泄漏檢測是將測試件連接到分子泵出氣口的末端，并且泄漏的氦氣從分子泵出氣口進入安裝在泵進氣口的質譜儀管中，方向相反。泵排氣。這種泄漏檢測方法基于以下事實：分子泵對不同的氣體質量具有不同的壓縮率（分子泵出口處的氣壓與入口處的壓力之比），即不同氣體的反向擴散。反向擴散法檢漏可以使試件的內部壓力更高。氦質譜儀檢漏儀可達到300Pa（通常傳統(tǒng)檢漏儀小于0.05Pa），適用于檢測大型容器或泄漏較大的設備。泄漏。反向擴散法還具有不易污染質譜儀管且燈絲壽命長的優(yōu)點。在使用氦質譜檢漏儀對產品檢漏前首先要對工件的結構和制造工業(yè)有所了解。臺州國產氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀正壓法優(yōu)點是不需要輔助的真空系統(tǒng)，可以精確定位，實現(xiàn)任何工作壓力下的檢測。紹興推車式氦質譜檢漏儀工作原理

使用氦質譜檢漏儀要注意哪些問題？1、切勿放空或溢出檢漏氣體至試漏區(qū)，試漏中的可檢漏率與檢漏氣體的本底濃度關系甚大，盡管檢漏儀只檢測檢漏氣體的濃度變化，高的本底濃度還趨于出現(xiàn)高的波動。如果在試漏后將檢漏氣體排放在試漏區(qū)內，那么在整個工作日內本底濃度將不斷地增長。此外，在充注或排放中要確保無氣體溢出，并定期檢查連接件是否有漏。2、充注檢漏氣體前先檢查大漏，在充注檢漏氣體前應快速測試是否存在大漏。否則，從大漏孔中溢出的檢漏氣體將污染試漏區(qū)。大漏孔的簡易測漏方法是將試件抽空，在短時間內觀察是否保持抽空壓強，如試件能保持抽空壓強，則表明它不存在任何大漏孔，可充注檢漏氣體。紹興推車式氦質譜檢漏儀工作原理

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