氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計(jì)、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進(jìn)入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進(jìn)入人體磁場，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時(shí)，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達(dá)接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀運(yùn)用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理,采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場和全自動(dòng)控制技術(shù)。南京自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動(dòng)，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象。2、本底信號(hào)處于雜亂無章的波動(dòng)狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決，只需對(duì)故障進(jìn)行定位，交由維修ZX處理。3、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)，檢查燈絲是否啟動(dòng)。如果燈絲沒有啟動(dòng)或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應(yīng)。南京自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中。

氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到合適的值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。

氦質(zhì)譜檢漏儀正壓法原理：采用正壓法檢漏時(shí)，需對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個(gè)大氣壓力的氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通孔漏孔進(jìn)入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中，再采用吸口的方式檢測被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸口法和正壓累積法。其中正壓吸口法采用檢漏儀吸口對(duì)被檢產(chǎn)品外表面進(jìn)行掃描探查，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的精確定位; 正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，采用檢漏儀吸口測量一定時(shí)間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量，實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的精確測量。正壓法的優(yōu)點(diǎn)是不需要輔助的真空系統(tǒng)，可以精確定位，實(shí)現(xiàn)任何工作壓力下的檢測。氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因?yàn)檫x用氦氣作為示漏氣體而得名，但實(shí)際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等。

氦質(zhì)譜檢漏儀測試高純氣體管道的方法：1. 確認(rèn)系統(tǒng)中所有的閥門和調(diào)壓閥都是全開的。2. 確認(rèn)系統(tǒng)中的壓力為0，如果系統(tǒng)中還有正壓，要先將系統(tǒng)中的氣體放掉。3. 緩緩打開檢漏儀入口處的閥門，開始將系統(tǒng)抽成真空狀態(tài)。遵照檢漏儀的操作說明操作，直至達(dá)到可以檢測的狀態(tài)。4. 記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進(jìn)行噴吹工作。5. 從較靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測，將氦氣用噴口噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會(huì)停留在焊道或連接處一段時(shí)間，確認(rèn)沒有泄漏后，進(jìn)行下一個(gè)焊道或連接處的檢測，直到較后一個(gè)焊道或連接處。具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點(diǎn)。江蘇小型氦質(zhì)譜檢漏儀原理

使用氦質(zhì)譜檢漏儀要注意哪些問題？南京自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好

氦質(zhì)譜檢漏儀測試高純氣體管道的方法有哪些？如果發(fā)現(xiàn)檢漏儀的指示值有上升的現(xiàn)象，待到檢漏儀讀值恢復(fù)正常后，重新檢測該焊道或連接處以確認(rèn)其是否真的有漏，如果確認(rèn)不是該焊道或連接處有漏，要依次檢測該焊道或連接處之前的焊道或連接處，直到找到漏點(diǎn)為止。直至所有的接點(diǎn)都被檢測到，檢測合格的接點(diǎn)要貼合格標(biāo)志。所有的接點(diǎn)都噴吹過氦氣后，繼續(xù)觀察檢漏儀的讀值10分鐘左右，確認(rèn)讀值沒有異常后才可以將系統(tǒng)與儀器之間分離開。如果每個(gè)接點(diǎn)的氦氣漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s，說明該系統(tǒng)的漏率是符合要求的。測試人員可以將檢測結(jié)果記錄在檢測報(bào)告里了。將檢漏儀與系統(tǒng)分開。南京自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好

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