氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進(jìn)行泄漏檢測(cè)的專門使用儀器，具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點(diǎn)。在真空檢漏技術(shù)中，采用的是通用型檢漏儀器，具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)式質(zhì)譜分析儀。是一種靈敏度較高的儀器，普遍應(yīng)用于檢測(cè)各種真空系統(tǒng)和零件的漏電，具有很好的實(shí)用價(jià)值。雙層串聯(lián)磁偏變裝置與單層磁偏變裝置相比，背景噪聲明顯降低，適用于超真空系統(tǒng)、元件和部件的檢漏。逆電流式氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，將檢件放置在檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位，因而具有在高壓條件下能檢漏，不會(huì)造成液氮污染和質(zhì)譜室污染等特點(diǎn).適用于對(duì)大漏率、真空環(huán)境衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀具有檢測(cè)速度快、檢測(cè)靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。四川氦質(zhì)譜檢漏儀檢修

氦質(zhì)譜檢漏儀產(chǎn)品概述：產(chǎn)品外觀：精心設(shè)計(jì)、外觀新穎、美觀大方、堅(jiān)固耐用。操作簡(jiǎn)便：體積小、重量適中、結(jié)構(gòu)合理、操作簡(jiǎn)便、人性化面板。操作系統(tǒng)：結(jié)合應(yīng)用領(lǐng)域的產(chǎn)品特性，控制系統(tǒng)可以根據(jù)客戶需求定制。性能好：部件采用進(jìn)口器件，響應(yīng)時(shí)間快、測(cè)量范圍寬、靈敏度高、檢漏快速。功能強(qiáng)大：菜單設(shè)置選項(xiàng)豐富，多重權(quán)限管理控制，多種檢漏模式自動(dòng)切換。多種接口：具有RS485/232，外觀IO設(shè)計(jì)，外部規(guī)管標(biāo)準(zhǔn)接口?？煽啃愿撸翰捎每寡趸瘡?qiáng)的氧化釔銥燈絲提高燈絲壽命，降低熱量，極強(qiáng)的保護(hù)功能。檢漏精確：采用氦質(zhì)譜室與重要部件，確保檢漏精確。四川氦質(zhì)譜檢漏儀檢修氦質(zhì)譜檢漏儀能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。

氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù)：1、工件要保持清潔、干燥。2、對(duì)工件噴氦應(yīng)按以下順序進(jìn)行：①從上往下。②從靠近測(cè)試口到遠(yuǎn)離測(cè)試口。3、噴氦時(shí)應(yīng)經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件，必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉，才能取工件。5、對(duì)同一工件，如有兩處以上漏點(diǎn)，應(yīng)排除大的漏點(diǎn)后，再對(duì)其它地方檢漏。6、裝工件時(shí)應(yīng)使連接處密封好，不能有漏。7、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好，避免氦氣濃度增高，但應(yīng)避免強(qiáng)通風(fēng)。8、氦氣屬貴重氣體，應(yīng)避免泄漏浪費(fèi)。9、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。10、適時(shí)對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗，排除漏點(diǎn)。

氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進(jìn)行泄漏檢測(cè)的特定儀器，具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點(diǎn)。在真空檢漏技術(shù)中，采用的是通用型檢漏儀器，具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)：1.檢測(cè)時(shí)間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi)；2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；4.檢測(cè)的數(shù)據(jù)精確。禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中。

影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些？第1，氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的位置不同于被檢漏孔的位置，即標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔到檢漏儀的距離相差太大，泄漏氦氣的損失在途中不同，會(huì)導(dǎo)致進(jìn)入檢漏儀的氦量可比性差。第二，是進(jìn)入被檢漏孔與標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或無法準(zhǔn)確給出氦氣壓力和分壓比值，導(dǎo)致無法轉(zhuǎn)換，此時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。第三，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。第四，是氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與泄漏率線性關(guān)系差。第五，在校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氣流特性與被檢漏孔不同。第六，檢漏儀性能不穩(wěn)定；第七，氦氣純度不穩(wěn)定或有誤差；第八，之后是檢漏操作人員的因素，包括素質(zhì)、責(zé)任感、技術(shù)水平和工作經(jīng)驗(yàn)。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些？四川氦質(zhì)譜檢漏儀檢修

氦質(zhì)譜檢漏儀多種大漏保護(hù)模式，充分保護(hù)離子源不被氧化和暴漏大氣時(shí)分子泵不被沖擊。四川氦質(zhì)譜檢漏儀檢修

氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。質(zhì)譜分析室的工作原理是對(duì)離子源氣體進(jìn)行電離，電離出來的正離子經(jīng)過電場(chǎng)加速聚焦通過縫隙進(jìn)入均勻磁場(chǎng)，離子束在磁場(chǎng)力的作用下，旋轉(zhuǎn)180o或90o按一定軌跡到達(dá)收集極，此種形式稱之為磁性偏轉(zhuǎn)分析形式。然后，經(jīng)小電流放大器、微處理器，控制器等線路處理直至液晶屏顯示出讀數(shù)的大小。四川氦質(zhì)譜檢漏儀檢修

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