氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法。靈敏度、反應(yīng)時間、消除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到合適的值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。氦質(zhì)譜檢漏儀負(fù)壓法就是常說的抽真空，這是氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法。杭州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法：吸口法，被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦，檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸口的氣體采集器。當(dāng)試件有漏時，泄漏的氦氣被吸口吸入檢漏儀，而被檢測。吸口在試件表面移動，同時注視檢漏儀漏率指示的變化，一旦泄漏增加，吸口所指位置即漏點所在。因此吸口法也是能確定漏孔的檢漏方法。鐘罩法，測總漏率，將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進入被檢件，終達(dá)到質(zhì)譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準(zhǔn)確位置?？梢钥闯鲧娬址ㄊ腔趪姶捣ǖ囊环N檢漏方法。紹興臺式氦質(zhì)譜檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀通過質(zhì)譜室的重點供電和測量，成為供電的重點部分。

氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其普遍應(yīng)用。主要領(lǐng)域和產(chǎn)品如下：原子能工業(yè)氣體擴散處理系統(tǒng)、核燃料容器；高能物理研究院加速器及其配件；電力工業(yè)高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路；航空航天燃料箱、油箱、衛(wèi)星及各種電機等；儀表制造壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等；空調(diào)制冷工業(yè)壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學(xué)與工業(yè)泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機、真空爐等真空系統(tǒng)；冶金真空電爐；低溫與壓力容器液氮和液氦儲存罐、生物制品容器及各類壓力容器；輕工產(chǎn)品保溫杯、太陽能集熱管、飲料罐口等。

氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。修長的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運用了氦質(zhì)譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術(shù)，實現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細(xì)檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和響應(yīng)周期非常短，可以達(dá)到2s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀是一款進行檢漏檢測的設(shè)備，通過利用氦氣或者氫氣作示漏氣體，通過以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。在工業(yè)生產(chǎn)也實驗研究過程中有著較普遍的應(yīng)用。因為氦氣的本底噪聲低，其分子量及粘滯系數(shù)較小，所以當(dāng)設(shè)備存在漏孔時，氦氣較容易通過漏孔并擴散出去。此外，由于氦系惰性氣體，不會對設(shè)備產(chǎn)生額外腐蝕損壞，所以一般進行相關(guān)檢測分析時，常用氦作示漏氣體。通過將這種氣體噴到接有氣體分析儀，調(diào)節(jié)氣體分析儀到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。與其他設(shè)備儀器相同，定期對氦質(zhì)譜檢漏儀進行保養(yǎng)能夠較好地延長設(shè)備的使用壽命，保證設(shè)備的可靠性。具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。紹興多功能氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

氦質(zhì)譜檢漏儀維護保養(yǎng)方法：機械泵維護，檢查機械泵油量，如低于較低標(biāo)線則添加泵油。杭州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦質(zhì)譜檢漏儀正壓法原理：采用正壓法檢漏時，需對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中，再采用吸口的方式檢測被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸口法和正壓累積法。其中正壓吸口法采用檢漏儀吸口對被檢產(chǎn)品外表面進行掃描探查，可以實現(xiàn)漏孔的精確定位; 正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，采用檢漏儀吸口測量一定時間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量，實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的精確測量。正壓法的優(yōu)點是不需要輔助的真空系統(tǒng)，可以精確定位，實現(xiàn)任何工作壓力下的檢測。杭州客制化氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

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