氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進行泄漏檢測的專門使用儀器，具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點。在真空檢漏技術中，采用的是通用型檢漏儀器，具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉式質(zhì)譜分析儀。是一種靈敏度較高的儀器，普遍應用于檢測各種真空系統(tǒng)和零件的漏電，具有很好的實用價值。雙層串聯(lián)磁偏變裝置與單層磁偏變裝置相比，背景噪聲明顯降低，適用于超真空系統(tǒng)、元件和部件的檢漏。逆電流式氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結構布局，將檢件放置在檢漏儀主抽泵的前級部位，因而具有在高壓條件下能檢漏，不會造成液氮污染和質(zhì)譜室污染等特點.適用于對大漏率、真空環(huán)境衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀產(chǎn)品概述：產(chǎn)品外觀：精心設計、外觀新穎。蘇州推車式氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點：1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質(zhì)不活潑，不與真空器件起化學反應，無毒，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。蘇州推車式氦質(zhì)譜檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測量儀器。

氦質(zhì)譜檢漏方法 ( 以下簡稱氦檢)以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將 設備完全抽成真空狀態(tài)， 往往會增加測試用設備( 如高、低壓真空泵、真空閥等)和設備工裝 ( 如 外壓加強圈)而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備;對于大多數(shù)壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設備內(nèi)部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結果，因此，測試前必須設備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設備內(nèi)部干燥。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要性能指標試驗方法：靈敏度、反應時間、清理時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標。反應時間、清理時間及其測定：反應時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零（或補償?shù)搅悖r，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時間，記為τR。清理時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時間，記為τC。工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等。

氦質(zhì)譜檢漏儀的進展，在科學技術的不斷發(fā)展的時代，氦質(zhì)譜檢漏儀也在不斷的發(fā)展與完善。這主要由兩方面的因素所決定：一方面，檢漏應用技術不斷的對檢漏儀提出新的要求，迫使氦質(zhì)譜檢漏儀自身的更新；另一方面，檢漏技術也在隨時隨地補充現(xiàn)有氦質(zhì)譜檢漏儀在應用過程中存在的某些不足，因此二者的關系是相互補充、相互促進的。自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程?，F(xiàn)今生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點有便攜性、高壓強下檢漏、高度自動化、完全無油的干式檢漏。蘇州推車式氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀主要領域和產(chǎn)品如下：原子能工業(yè)氣體擴散處理系統(tǒng)、核燃料容器高能物理研究院加速器等等。蘇州推車式氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得比較普遍的檢漏儀器。蘇州推車式氦質(zhì)譜檢漏儀

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