氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式:1、鐘罩法——測總漏率,將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空,在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器,如被檢件有漏孔,氦氣便由漏孔進入被檢件,達到質(zhì)譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率,不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準確位置??梢钥闯鲧娬址ㄊ腔趪姶捣ǖ囊环N檢漏方法。2、背壓法——測總漏率,進行電子元器件氣密性檢測時常用背壓法。檢漏前用特定加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量),然后取出被檢件,吹去表面吸附氦后放入特定檢漏罐中,再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上,對檢漏罐抽真空,實施檢漏。若器件有漏,則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進入檢漏罐,到達質(zhì)譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀需根據(jù)設(shè)備的使用頻率、被測品工藝要求定期使用標準漏孔對設(shè)備自身進行校準。上海小型氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦
影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些?第1,氦質(zhì)譜檢漏儀在校準靈敏度時,標準漏孔的位置不同于被檢漏孔的位置,即標準漏孔與被檢漏孔到檢漏儀的距離相差太大,泄漏氦氣的損失在途中不同,會導致進入檢漏儀的氦量可比性差。第二,是進入被檢漏孔與標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或無法準確給出氦氣壓力和分壓比值,導致無法轉(zhuǎn)換,此時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四,是氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與泄漏率線性關(guān)系差。第五,在校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時,標準漏孔的氣流特性與被檢漏孔不同。第六,檢漏儀性能不穩(wěn)定;第七,氦氣純度不穩(wěn)定或有誤差;第八,之后是檢漏操作人員的因素,包括素質(zhì)、責任感、技術(shù)水平和工作經(jīng)驗。上海小型氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦氦質(zhì)譜檢漏儀通過質(zhì)譜室的重點供電和測量,成為供電的重點部分。
氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測量儀器,需根據(jù)設(shè)備的使用頻率、被測品工藝要求定期使用標準漏孔對設(shè)備自身進行校準,以保證設(shè)備自身檢測精度。氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少,需要參照物,這個參照物就是標準漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識:(1)前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);(2)電磁閥組的超聲清洗;(3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。
氦質(zhì)譜檢漏儀的進展,在科學技術(shù)的不斷發(fā)展的時代,氦質(zhì)譜檢漏儀也在不斷的發(fā)展與完善。這主要由兩方面的因素所決定:一方面,檢漏應用技術(shù)不斷的對檢漏儀提出新的要求,迫使氦質(zhì)譜檢漏儀自身的更新;另一方面,檢漏技術(shù)也在隨時隨地補充現(xiàn)有氦質(zhì)譜檢漏儀在應用過程中存在的某些不足,因此二者的關(guān)系是相互補充、相互促進的。自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。現(xiàn)今生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不但可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些?
氦質(zhì)譜檢漏儀開機步驟:1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”,低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關(guān),表頭示值也應能抽到原來位置,再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”,燈亮,擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右,擴散泵排氣管應熱,開冷規(guī)開關(guān),戴表壓強的質(zhì)譜室表頭指針應從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規(guī),表頭指針應從左打向右,再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī),可等一會兒再開),當真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動燈絲,燈亮,“發(fā)射電流”有指示,開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda),靈敏度達要求后關(guān)漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后,開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間,對被檢件噴氦檢漏。檢漏完畢。氦質(zhì)譜檢漏儀運用了氦質(zhì)譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術(shù)。安徽真空氦質(zhì)譜檢漏儀費用
氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語。上海小型氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦
氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。妤林JQ-3300采用了氦質(zhì)譜檢漏儀專門使用定制分子泵,能極大地提高對氦氣的感應速度,有效改善氦本底的清理時間,阻斷氦氣對質(zhì)譜室的污染。 全自動液晶觸摸彩屏顯示,實現(xiàn)了智能自動化,操作方便、簡單可靠。 離子源燈絲,采用氧化釔銥金燈絲,這是我司自主研發(fā)和生產(chǎn)使用的,可以使離子源壽命更長,靈敏度更高。JQ-3300所采用的離子源燈絲技術(shù),達到國際先進水平,雙燈絲,自動調(diào)氦峰自動切換。上海小型氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦
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