氦質(zhì)譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理：一、機械維護，檢查泵的油量，如果低于低標(biāo)線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見機械泵說明書。二、清洗，泄漏探測器沒有氦進入，但有一定的泄漏率指示，長期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、處理以下是常見的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電:1.電源線連接不當(dāng)；2、保險管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險管。在使用氦質(zhì)譜檢漏儀對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解。嘉興國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點：1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質(zhì)不活潑，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無毒，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。嘉興國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀定制氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)參數(shù)：可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。

氦質(zhì)譜檢漏儀常見的檢漏法：1、負(fù)壓法檢漏，負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。2、正壓法檢漏，正壓法檢漏與負(fù)壓法檢漏相反，吸口接在檢漏儀的檢測口，而被檢件充入規(guī)定壓力的示蹤氣體，漏孔泄漏出來氦氣被吸入檢漏儀被檢測。大型容器或內(nèi)部放氣管量很大的容器做負(fù)壓檢漏很不經(jīng)濟，而且檢漏速度慢，一般采取正壓檢漏。3、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經(jīng)檢漏儀檢測總泄漏量。

氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。妤林JQ-3300采用了氦質(zhì)譜檢漏儀專門使用定制分子泵，能極大地提高對氦氣的感應(yīng)速度，有效改善氦本底的清理時間，阻斷氦氣對質(zhì)譜室的污染。 全自動液晶觸摸彩屏顯示，實現(xiàn)了智能自動化，操作方便、簡單可靠。 離子源燈絲，采用氧化釔銥金燈絲，這是我司自主研發(fā)和生產(chǎn)使用的，可以使離子源壽命更長，靈敏度更高。JQ-3300所采用的離子源燈絲技術(shù)，達(dá)到國際先進水平，雙燈絲，自動調(diào)氦峰自動切換。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合用吸的法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有多工位的檢漏儀。（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。氦質(zhì)譜檢漏儀產(chǎn)品概述：產(chǎn)品外觀：精心設(shè)計、外觀新穎。杭州推車式氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺

氦質(zhì)譜檢漏儀檢測時間和響應(yīng)周期非常短，可以達(dá)到2s以內(nèi)。嘉興國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的較小漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到較佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時間不大于3s。所謂“較小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認(rèn)定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動量。如果檢漏時用輔助系統(tǒng)抽氣（即對示漏氦氣有分流）?；蛴美鄯e法檢漏時，給出儀器較小可檢氦濃度（即濃度靈敏度）。記為γmin，能較方便地估計檢漏效果。濃度靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)中應(yīng)用出色量計測出通過針閥2進入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度。嘉興國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀定制

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