氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn),是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位,因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦檢儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。無損氦氣檢測(cè)設(shè)備多少錢
氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測(cè)氣體電離,再利用電磁場(chǎng)將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測(cè),從中檢測(cè)出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺(tái)旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測(cè)量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級(jí)真空部分,分子泵對(duì)不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動(dòng)進(jìn)入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達(dá)收集極,產(chǎn)生一個(gè)正比于離子數(shù)量的電流信號(hào),該信號(hào)經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。無損氦氣檢測(cè)設(shè)備多少錢利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。
氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇要進(jìn)行多家的貨物進(jìn)行對(duì)比,將不同品牌的樣品放一起對(duì)比,這樣氦質(zhì)譜檢漏儀儀質(zhì)量好與壞一眼便看得出來。除了光看樣品的質(zhì)量,建議用戶盡可能監(jiān)督安裝的全過程,同時(shí)并索要樣品驗(yàn)貨,在安裝完后,可以要求商家在再測(cè)試一遍。保持氦質(zhì)譜檢漏儀的干燥,嚴(yán)禁接觸水,并避免直接接觸腐蝕性液體。嚴(yán)禁在高溫的環(huán)境中使用氦質(zhì)譜檢漏儀,高溫使用儀器,很可能會(huì)長久性的損壞傳感器。請(qǐng)參閱儀器的溫度使用范圍。不同的氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用范圍領(lǐng)域也不相同,例如工業(yè)用的氦質(zhì)譜檢漏儀,需符合國家各項(xiàng)安全標(biāo)準(zhǔn),使用起來也更復(fù)雜。
氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)比性測(cè)試儀器,其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí):(1)前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);(2)電磁閥組的超聲清洗;(3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問題:1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,就不適合檢漏;有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能,不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,此時(shí)應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認(rèn)真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染,就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大,必須選用抽泵抽速大的檢漏儀,否則就要外加預(yù)抽泵。氦檢儀噴氦法檢測(cè)靈敏度高,可精確定位。無損氦氣檢測(cè)機(jī)
有些國家生產(chǎn)的氦檢儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果。無損氦氣檢測(cè)設(shè)備多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項(xiàng):1、工件要保持清潔、干燥。2、對(duì)工件噴氦應(yīng)按以下順序進(jìn)行:①從上往下。②從靠近測(cè)試口到遠(yuǎn)離測(cè)試口。3、噴氦時(shí)應(yīng)經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件,必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉,才能取工件。5、對(duì)同一工件,如有兩處以上漏點(diǎn),應(yīng)排除Zda的漏點(diǎn)后,再對(duì)其它地方檢漏。6、裝工件時(shí)應(yīng)使連接處密封好,不能有漏。7、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好,避免氦氣濃度,但應(yīng)避免強(qiáng)通風(fēng)。8、氦氣屬貴重氣體,應(yīng)避免泄漏浪費(fèi)。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時(shí)應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打干凈,清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對(duì)電離盒電子入口,盡量靠近電離盒,但不能短路,三根引線間也不能相互短路。無損氦氣檢測(cè)設(shè)備多少錢
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