氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時，入口閥2關(guān)閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。移動式氦檢儀多少錢

氦檢儀進(jìn)展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面：（1）便攜式：較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的氦檢儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極氦檢儀，質(zhì)量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。移動式氦檢儀多少錢氦檢儀噴氦法檢測靈敏度高，可精確定位。

氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機(jī)時間2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。

氦檢儀本底漏率值是什么？本底值是指由所處環(huán)境所形成的較穩(wěn)定的輻射水平或聲量，由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm，5.24×10-6，也就是百萬分之五左右，這說明正常空氣環(huán)境中氦氣的含量很小，即氦本底很好。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一。只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小.正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來。本底高一般都是泄漏的原因，建議檢查閥有沒有內(nèi)漏，試試增加清掃氣體的壓力，但是也不能過高，因為會影響抽空效率。另外檢漏時切勿將大量的氦氣通進(jìn)儀器，避免本底太大，難以清理。氦檢儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。

氦檢儀在壓力容器中的常用方法有哪些？正壓法，正壓法是先向壓力容器裝置中充入一個以上的大氣壓的氦氣或氦氣與其他氣體的混合氣，從壓力容器裝置的外部檢測從漏孔泄漏到外部的氦氣，進(jìn)而發(fā)現(xiàn)漏孔。用吸頭尋找氦氣時，一旦氦氣被吸入，氦氦檢儀就會顯示出漏率值。在這種情況下，因為壓力容器裝置外部是一個大氣壓，所以充入壓力容器裝置內(nèi)的氣體壓至少需要一個大氣壓以上。但壓力不宜過高，壓力過高，插在裝置上的壓力表或其它插件就會彈出而發(fā)生傷人等危險事故。氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。小型氦檢儀廠家

氦檢儀同時擁有兩種檢漏模式，真空模式及正壓模式，可根據(jù)客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。移動式氦檢儀多少錢

氦檢儀在真空度校驗中有什么應(yīng)用？氦是一種惰性氣體，不會對設(shè)備產(chǎn)生腐蝕，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無毒，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。對容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小，常作為泄漏氣體使用。在接有氦檢儀(即調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體，如果容器有漏孔，分析儀就會發(fā)出響聲，從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測泄漏技術(shù)是真空檢測領(lǐng)域中不可缺少的一項技術(shù)，由于其檢測效率高、簡便易行、儀器反應(yīng)靈敏、準(zhǔn)確度高、不受其它氣體干擾等特點，在電阻爐檢測泄漏中被普遍應(yīng)用。移動式氦檢儀多少錢

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