氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)：氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機(jī)械泵組成。在常規(guī)檢測時通常由前級機(jī)械泵對被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到一定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)；否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞；所以被檢件的清潔前處理及對設(shè)備自身定期的保養(yǎng)清理尤為重要。設(shè)備自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。相比于傳統(tǒng)檢漏方法，氦質(zhì)譜檢漏儀檢測效率高、檢漏精度要高3-4個數(shù)量級，且不會對電池造成任何影響。蘇州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見故障的處理：一、機(jī)械維護(hù)，檢查泵的油量，如果低于低標(biāo)線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見機(jī)械泵說明書。二、清洗，泄漏探測器沒有氦進(jìn)入，但有一定的泄漏率指示，長期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、處理以下是常見的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電:1.電源線連接不當(dāng)；2、保險管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險管。安徽臺式氦質(zhì)譜檢漏儀原理氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點(diǎn)：1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進(jìn)入系統(tǒng)時流動和擴(kuò)散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質(zhì)不活潑，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無毒，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。

氦質(zhì)譜檢漏儀有哪些結(jié)構(gòu)？電氣系統(tǒng)，氦質(zhì)譜儀電氣部分的重點(diǎn)是質(zhì)譜室的供電和測量，其他部分包括真空系統(tǒng)的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發(fā)生器、高壓整流器及發(fā)射電流穩(wěn)定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規(guī)電源。質(zhì)譜室，形象的說，質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜檢漏儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內(nèi)，共用其磁場。為了有利于微小的粒子流放大，將一級放大用高阻及靜電計管也放在質(zhì)譜室之內(nèi)。質(zhì)譜室殼由非磁性材料制成，內(nèi)部抽空，而外部設(shè)置成磁鐵形成磁分析器的磁場。維護(hù)氦質(zhì)譜檢漏儀可以利用附送的防護(hù)罩防止灰塵、水汽、油脂阻塞探頭。

氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法檢漏的注意事項：檢漏過程會有以下現(xiàn)象：1.氦質(zhì)譜檢漏儀只能檢測微漏的工件；大漏的工件，在清氦過程，壓入內(nèi)部的氦氣就可能泄露出來，在氦檢時就檢測不到氦氣漏出。2.工件清氦后，放置待檢時間不要超過1小時，防止壓入的氦氣漏出。3.實驗測試時是單獨(dú)檢測工件；批量檢測時檢漏儀的本底值會成倍的大于單獨(dú)檢測的本底值。4.批量檢測時，發(fā)現(xiàn)有漏件，可以逐漸減半的方式，找到具體的漏件。5.每次檢測時，可以空檢檢漏罐并記錄相應(yīng)的漏率值，做為檢測的對比參數(shù)。氦質(zhì)譜檢漏儀從以往的單方面領(lǐng)域的應(yīng)用到現(xiàn)在多領(lǐng)域的應(yīng)用，如：航空航天高科技工業(yè)、電力行業(yè)、電子行業(yè)、真空儀器儀表行業(yè)、核工業(yè)、制冷行業(yè)、不銹鋼保溫器皿等。氦質(zhì)譜檢漏儀開機(jī)如何操作？蘇州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

可檢漏率即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。蘇州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲高是什么原因？一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應(yīng)，其表面污染時就更為嚴(yán)重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴(kuò)散。四、檢漏儀中空氣的本底影響。五、殘余氣體分子對離子的散射作用。六、燈絲和其他電極受機(jī)械振動引起的效應(yīng)。因此，為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施，如減少采用有機(jī)材料，不用磁放電規(guī)，提高檢漏儀的工作真空度，保證穩(wěn)定抽速等等。另外檢漏時切勿將大量的氦氣通進(jìn)儀器，避免本底太大，難以清理。蘇州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

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