氦質譜檢漏儀真空系統(tǒng)：氦質譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機械泵組成。在常規(guī)檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到一定壓力后，再進入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統(tǒng)；否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞；所以被檢件的清潔前處理及對設備自身定期的保養(yǎng)清理尤為重要。設備自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。使用氦質譜檢漏儀的要求有哪些？紹興自動氦質譜檢漏儀品牌

怎么確定氦質譜檢漏儀用于鍍膜設備的靈敏度？較佳工作條件。指被檢鍍膜設備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調整到較佳工作狀態(tài)等。動態(tài)檢漏。指不用累積法進行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進行抽真空，裝置的反應時長小于3s，3s當中的抽氣系統(tǒng)的時間常數(shù)是小于一秒的；較小可檢。指其信號是本底噪聲的兩倍；漏孔的漏率。指干燥空氣（100kPa的壓力）經漏孔通向真空端（遠遠低于100kPa的壓力）的漏率。對氦分壓變化有反應的氦質譜檢漏儀，為表征這種反應特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設備的氦質譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時，當中氦的濃度。紹興自動氦質譜檢漏儀品牌氦質譜檢漏儀作為一種測量儀器。

氦質譜檢漏儀開機步驟：1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規(guī)開關，戴表壓強的質譜室表頭指針應從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦質譜檢漏儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對被檢件噴氦檢漏。檢漏完畢。

氦質譜檢漏儀背壓法檢漏壓氦和清氦的說明：1.將工件放入壓氦罐內，確認罐內清潔干凈。2.待工件放置好后，將壓氦罐的蓋放置到壓氦罐上，用螺釘固定牢靠。3.再將壓氦罐球閥接口與氦氣瓶連接。4.確認連接OK后，先將壓氦罐的球閥打開，再開啟氦氣瓶的減壓閥，控制檢驗閥的出氣壓力，待壓氦罐上的壓力表指示到規(guī)定的壓力后，關閉壓氦罐的球閥，再關閉氦氣瓶的閥和減壓閥。5.斷開氣瓶與壓氦罐的管路，（注意：管路內還有壓力）將壓氦罐放置到安全區(qū)域保壓規(guī)定時間。6.保壓時間到后，將壓氦罐內地氦氣放至外界大氣中或使用氦氣袋回收。7.將固定壓氦罐蓋的螺釘拆卸下來，再將罐蓋打開。8.取出工件，使用空氣或氮氣將工件表面殘留的氦氣清理。9.放置好工件待用。氦質譜檢漏儀長期不使用時，用盲板將檢漏口、機械泵排氣口封上。

氦質譜檢漏設備相比于傳統(tǒng)檢漏方法有哪些優(yōu)勢?氦檢是先將電池里的空氣抽掉，然后注入氦氣，用氦質譜檢測儀探測有沒有氦氣漏出。一方面，氦氣是惰性氣體，不會跟正負極材料、電解液等發(fā)生反應，所以很安全;另一方面，氦氣比任何介質都要小，如果電池里面連氦氣都不會泄漏，說明密封很好。相比于傳統(tǒng)檢漏方法，氦檢檢測效率高、檢漏精度要高3-4個數(shù)量級，且不會對電池造成任何影響。而目前鋰電池行業(yè)普遍采用的正壓氣泡檢漏法容易導致電池殼體發(fā)生變形，同時檢測效率和檢測精度較低，尤其對金屬殼體和鋁塑膜軟包裝鋰離子電池并不適用。氦質譜檢漏儀測試前必須設備內部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設備內部干燥。江蘇國產氦質譜檢漏儀多少錢一臺

氦質譜檢漏儀實現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調零、自動校準和自動量程切換。紹興自動氦質譜檢漏儀品牌

氦質譜檢漏儀中氦質譜檢漏系統(tǒng)的關鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。修長的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運用了氦質譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術，實現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調零、自動校準和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。氦質譜檢漏儀特點：1.檢測時間和響應周期非常短，可以達到2s以內；2.檢測的介質比較常用，只需壓縮空氣即可；3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊。紹興自動氦質譜檢漏儀品牌

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