氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法：一、環(huán)境條件，校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃，校準(zhǔn)過程中室溫變化不超過±1℃，環(huán)境相對濕度不大于80%。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇，標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔，漏率標(biāo)稱值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計(jì)，測量范圍(0～50)℃，不確定度U=0.04℃，k=2。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。無損氦檢儀特點(diǎn)

氦檢儀在使用過程中，較常見的故障就是燈絲脆斷，氦檢儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。氦檢儀燈絲壽命如何延長？造成氦檢儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時(shí)間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦檢儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。智能氦檢設(shè)備廠家專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。

氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法？氦檢儀的實(shí)際應(yīng)用方案很多，常用的三種檢漏方法有負(fù)壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法），可以發(fā)現(xiàn)有不同的叫法，這是根據(jù)不同的檢測方式命名的。采用什么方法要視被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。根據(jù)不同的檢漏目的，常用基礎(chǔ)的有3種檢漏方法。負(fù)壓法（噴氦法）。對被檢工件抽真空。可對被檢工件外可疑漏點(diǎn)噴氦，也可將工件罩起來對氦罩內(nèi)噴氦?？筛鶕?jù)工件容積大小選配輔助泵或不加輔助泵?？蓹z測工件的具體漏點(diǎn)和準(zhǔn)確漏率。檢測精度高。適用行業(yè)：鍍膜行業(yè)，真空爐，真空配件，真空閥門，壓力容器，真空系統(tǒng)等。

氦檢儀在真空度校驗(yàn)中有什么應(yīng)用？氦是一種惰性氣體，不會(huì)對設(shè)備產(chǎn)生腐蝕，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無毒，也不會(huì)污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。對容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小，常作為泄漏氣體使用。在接有氦檢儀(即調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體，如果容器有漏孔，分析儀就會(huì)發(fā)出響聲，從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測泄漏技術(shù)是真空檢測領(lǐng)域中不可缺少的一項(xiàng)技術(shù)，由于其檢測效率高、簡便易行、儀器反應(yīng)靈敏、準(zhǔn)確度高、不受其它氣體干擾等特點(diǎn)，在電阻爐檢測泄漏中被普遍應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響。

氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。智能氦檢設(shè)備廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀的可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。無損氦檢儀特點(diǎn)

氦檢儀開機(jī)如何操作？1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時(shí)間開冷規(guī)，可等一會(huì)兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動(dòng)燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。無損氦檢儀特點(diǎn)

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