氦質(zhì)譜檢漏儀有哪些結(jié)構(gòu)？電氣系統(tǒng)，氦質(zhì)譜儀電氣部分的重點(diǎn)是質(zhì)譜室的供電和測(cè)量，其他部分包括真空系統(tǒng)的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發(fā)生器、高壓整流器及發(fā)射電流穩(wěn)定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規(guī)電源。質(zhì)譜室，形象的說，質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜檢漏儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個(gè)部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內(nèi)，共用其磁場(chǎng)。為了有利于微小的粒子流放大，將一級(jí)放大用高阻及靜電計(jì)管也放在質(zhì)譜室之內(nèi)。質(zhì)譜室殼由非磁性材料制成，內(nèi)部抽空，而外部設(shè)置成磁鐵形成磁分析器的磁場(chǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)：如果儀器不是每天使用，建議每周開機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空。揚(yáng)州氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的較小漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到較佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“較小可檢”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí)，才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動(dòng)量。如果檢漏時(shí)用輔助系統(tǒng)抽氣（即對(duì)示漏氦氣有分流）。或用累積法檢漏時(shí)，給出儀器較小可檢氦濃度（即濃度靈敏度）。記為γmin，能較方便地估計(jì)檢漏效果。濃度靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)中應(yīng)用出色量計(jì)測(cè)出通過針閥2進(jìn)入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度。全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢可檢漏率即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。

氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對(duì)各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其普遍應(yīng)用。主要領(lǐng)域和產(chǎn)品如下：原子能工業(yè)氣體擴(kuò)散處理系統(tǒng)、核燃料容器；高能物理研究院加速器及其配件；電力工業(yè)高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路；航空航天燃料箱、油箱、衛(wèi)星及各種電機(jī)等；儀表制造壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等；空調(diào)制冷工業(yè)壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學(xué)與工業(yè)泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機(jī)、真空爐等真空系統(tǒng)；冶金真空電爐；低溫與壓力容器液氮和液氦儲(chǔ)存罐、生物制品容器及各類壓力容器；輕工產(chǎn)品保溫杯、太陽能集熱管、飲料罐口等。

氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備相比于傳統(tǒng)檢漏方法有哪些優(yōu)勢(shì)?氦檢是先將電池里的空氣抽掉，然后注入氦氣，用氦質(zhì)譜檢測(cè)儀探測(cè)有沒有氦氣漏出。一方面，氦氣是惰性氣體，不會(huì)跟正負(fù)極材料、電解液等發(fā)生反應(yīng)，所以很安全;另一方面，氦氣比任何介質(zhì)都要小，如果電池里面連氦氣都不會(huì)泄漏，說明密封很好。相比于傳統(tǒng)檢漏方法，氦檢檢測(cè)效率高、檢漏精度要高3-4個(gè)數(shù)量級(jí)，且不會(huì)對(duì)電池造成任何影響。而目前鋰電池行業(yè)普遍采用的正壓氣泡檢漏法容易導(dǎo)致電池殼體發(fā)生變形，同時(shí)檢測(cè)效率和檢測(cè)精度較低，尤其對(duì)金屬殼體和鋁塑膜軟包裝鋰離子電池并不適用。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些？

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)該如何選擇？1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合吸口法檢漏；有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時(shí)應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。5、如果被檢對(duì)對(duì)象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低時(shí)，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。6、如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。7、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價(jià)格是否低、操作是否簡(jiǎn)易、維修是否方便等方面的問題。以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式可自動(dòng)檢測(cè)。紹興進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢

氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。揚(yáng)州氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)：氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成。在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到一定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)；否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞；所以被檢件的清潔前處理及對(duì)設(shè)備自身定期的保養(yǎng)清理尤為重要。設(shè)備自身保養(yǎng)小知識(shí)：（1）前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。揚(yáng)州氦質(zhì)譜檢漏儀

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