氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。（4）全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠(chǎng)時(shí)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度。滁州氦檢機(jī)

如何正確選擇氦檢儀？（1）儀器的功能是否能滿(mǎn)足檢漏的要求，如有些儀器沒(méi)有逆流檢漏功能，就不合適正壓法檢漏：有些儀器沒(méi)有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，就不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線(xiàn)上要求一定的檢漏速度，因此應(yīng)選擇有雙工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度是否能滿(mǎn)足檢漏的要求。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的不同類(lèi)型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，被應(yīng)選擇無(wú)油真空系統(tǒng)的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速答的氦檢儀，否則要另配預(yù)抽泵就比較麻煩。（5）如果被檢對(duì)象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低，就要選擇功能較全，靈敏度較高，檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿(mǎn)足檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價(jià)格是否低、操作是否建議、維修是夠方便等方面的問(wèn)題。滁州氦檢機(jī)氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。

氦檢儀的型號(hào)較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。它主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣部分組成。質(zhì)譜室：不同類(lèi)型的氦檢儀的質(zhì)譜室結(jié)構(gòu)大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個(gè)抽成高真空的質(zhì)譜室外殼中。1）離子源。離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。2）分析器。分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng)，從而將它們彼此分開(kāi)，只使氦離子通過(guò)其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場(chǎng)及一個(gè)出口電極組成，磁場(chǎng)方向與離子束入射方向垂直。3）收集極。收集極是對(duì)準(zhǔn)出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過(guò)出口電極狹縫的氦離子并通過(guò)一個(gè)電阻輸入到小電流放大器進(jìn)行離子流的放大和測(cè)量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A，要使小電流放大器第1極輸入信號(hào)電壓足夠大，則輸入電阻必需很大（一般高于1010歐），第1級(jí)放大用的靜電計(jì)管必須要高度絕緣，所以把高阻及靜電計(jì)管放在高真空的質(zhì)譜室中。

在使用氦檢儀時(shí)要如何保養(yǎng)？①如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動(dòng)并檢查一次，以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，在后期使用過(guò)程中可以縮短儀器的啟動(dòng)時(shí)間。②儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過(guò)程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生泄漏，儀器可用于泄漏檢測(cè)。③及時(shí)對(duì)泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自檢。）可能出現(xiàn)在儀器上，并在發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)后及時(shí)移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測(cè)過(guò)程中干擾泄漏檢測(cè)。④氦檢儀維護(hù)定期維護(hù)油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴(yán)禁在氦檢儀上，尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器，其儲(chǔ)存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過(guò)培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。⑥使用時(shí)，請(qǐng)注意儀器的操作。一旦出現(xiàn)大振動(dòng)、高噪音等狀況時(shí)，儀器在操作過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵正在高速運(yùn)轉(zhuǎn)。如果泄漏檢測(cè)器移動(dòng)，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉(zhuǎn)子的圓筒碰撞。立即切斷電源并排除故障，否則會(huì)對(duì)氦檢儀造成不良影響。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。

提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開(kāi)大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對(duì)工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后，關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門(mén))。3、將工件用塑料袋包扎，袋內(nèi)再充入氦氣，(但此法不能測(cè)出具體漏點(diǎn))。4、使用液氮，全開(kāi)節(jié)流閥，采用不分流檢漏，必要時(shí)可將抽速閥關(guān)小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù)：1、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。2、定期更換機(jī)械泵油，適時(shí)對(duì)機(jī)械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后，安裝時(shí)要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時(shí)對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗，排除漏點(diǎn)。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。小型氦檢設(shè)備品牌推薦

氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？滁州氦檢機(jī)

氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測(cè)量?jī)x器，需根據(jù)設(shè)備的使用頻率、被測(cè)品工藝要求定期使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)設(shè)備自身進(jìn)行校準(zhǔn)，以保證設(shè)備自身檢測(cè)精度。氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專(zhuān)門(mén)用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高，用得比較多的檢漏儀器。消費(fèi)者在選購(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測(cè)功能需求進(jìn)行挑選，例如儀器需要批量檢查的需求則必須要確保這種氦質(zhì)譜檢漏儀的檢查速度，立足于自身的需求保證這種氦質(zhì)譜檢漏儀的功能得以實(shí)現(xiàn)才是正確的挑選方式。滁州氦檢機(jī)

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