氦檢儀是什么？氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲明顯減小。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。臺式氦氣檢測設(shè)備售后服務(wù)

氦檢儀本底漏率值是什么？本底值是指由所處環(huán)境所形成的較穩(wěn)定的輻射水平或聲量，由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm，5.24×10-6，也就是百萬分之五左右，這說明正?？諝猸h(huán)境中氦氣的含量很小，即氦本底很好。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一。只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小.正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來。本底高一般都是泄漏的原因，建議檢查閥有沒有內(nèi)漏，試試增加清掃氣體的壓力，但是也不能過高，因為會影響抽空效率。另外檢漏時切勿將大量的氦氣通進(jìn)儀器，避免本底太大，難以清理。自動氦檢機(jī)廠家為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施。

氦檢儀常用的幾種檢漏方法：氦質(zhì)譜檢漏方法較多，根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類型，一種是漏點(diǎn)型，另一種是漏率型；在實際檢驗過程中，應(yīng)根據(jù)檢驗?zāi)康倪x擇較合理的方法，并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法。測定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件的具體漏點(diǎn)或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星、導(dǎo)彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法，較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。

氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度，但平常實際使用時其靈敏度是低于該參數(shù)的，稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中，氦檢儀的檢漏方法也較多，有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式，可結(jié)合實際情況靈活運(yùn)用。如較簡單常用的噴吹法，與鹵素氦檢儀的真空法類似，將被檢件抽真空，調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通，隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣，如果存在漏洞，噴吹一定時間后，氦檢儀即可發(fā)出信號。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器。

氦質(zhì)譜檢漏儀操作注意事項：1、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個警告標(biāo)識。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動情況。以防氣體沖擊帶來傷害。3、產(chǎn)品半檢漏時，按壓住的組件不能挪動或者強(qiáng)行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害。4、在進(jìn)行重氟油檢漏時，產(chǎn)品不能直接放進(jìn)油箱中，而應(yīng)把油箱中的托盤拿出，把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法？便攜式氦檢機(jī)單位

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。臺式氦氣檢測設(shè)備售后服務(wù)

氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)：1、可檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(yīng)(消除)時間：指一定流量的探索氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時間，漏率指示才能達(dá)到固定值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時間稍長于響應(yīng)時間。3、啟動時間：指氦質(zhì)譜檢漏儀自接通電源到能進(jìn)行檢漏的時間。氦質(zhì)譜檢漏儀以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級較高的壓力容器上。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。臺式氦氣檢測設(shè)備售后服務(wù)

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