檢漏儀的檢漏原理：利用氦氣是比氫氣小的第二輕的惰性氣體，氦氣在自然狀態(tài)下會向上垂直擴散，在被檢測的管道中注入氦氣。如果這些設(shè)備有漏點，那么我們就能通過監(jiān)測儀器探測到有氦氣在管道外部。這就是管道中氦氣檢漏的方法。對于一些高精尖的細小電子元件，氦氣怎么檢漏呢？將要檢測的元件放入充滿氦氣的容器中并且加壓。在壓力的作用下，如果這些元件存在漏點，必然會有氦氣通過 這些小孔進入到元件內(nèi)部。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后，再利用質(zhì)譜儀檢測元件表面泄露的氦氣。檢漏儀在我國更多真空設(shè)備的檢查之中得到了普遍的應(yīng)用。浙江小型檢漏儀一臺多少錢

檢漏儀系統(tǒng)對密封容器的使用性能有什么幫助？密封容器的泄漏率是否符合要求，直接關(guān)系到容器的使用性能。準確發(fā)現(xiàn)漏孔和定量檢測對保證容器的密封性、可靠性和安全性至關(guān)重要。尋找快速、靈敏、高效的泄漏檢測方法是真空設(shè)備制造商的共同愿望。在泄漏檢測方法中，氦質(zhì)譜法因其高靈敏度和穩(wěn)定性而得到越來越普遍的應(yīng)用。傳統(tǒng)的泄漏檢測系統(tǒng)包括設(shè)備多、體積大、重量大、移動困難、集成氦質(zhì)譜泄漏檢測裝置。適用于泄漏檢測過程中不可缺少但泄漏檢測工作量小的現(xiàn)場安裝環(huán)境。全套氦質(zhì)譜檢漏工作臺系統(tǒng)主要包括操作平臺、檢漏儀、氦氣瓶、顯示儀表及真空泵，該系統(tǒng)包含設(shè)備多、體積大、重量大：而容器在制造及裝配過程中涉及到檢漏的工序。進口檢漏儀檢漏儀是利用氦氣作為示漏氣體，用氣體分析儀對氦氣進行檢漏的質(zhì)譜儀。

檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)：檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。離子檢測器的作用是手機質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率，真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被普遍采用，已成為市場的主流產(chǎn)品。

檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經(jīng)降得很低，因此檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應(yīng)，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴散。四、檢漏儀中空氣的本底影響。五、殘余氣體分子對離子的散射作用。六、燈絲和其他電極受機械振動引起的效應(yīng)。檢漏儀其本身擁有著強力的檢測靈敏度可以精確的定位。

檢漏儀真空度不能提高的幾個潛在原因：檢漏儀的真空度抽不上去，首先確定是不是真的真空抽不上去，因為也有可能是真空計指示不對。真空計故障，如冷規(guī)的陽極和陰極短路，就會造成真空抽不上去的假象。這種情況，只要更換一個新的真空計，即可使檢漏儀恢復(fù)正常工作。檢漏儀的真空系統(tǒng)某部分出現(xiàn)了漏氣。檢漏儀自身產(chǎn)生漏氣的情況大多是由于儀器在進行大拆卸情況下重新安裝后，某個連接處沒有擰緊而產(chǎn)生。如果是這種情況，較好是用分段查找的辦法，將整個真空系統(tǒng)分隔成幾段，一段一段地查找。先查機械真空泵有沒有問題，再查機械泵到擴散泵或分子泵之間，較后再查擴散泵（或分子泵）以上部分。如果漏隙小，儀器還能基本工作的話，可以用儀器自身檢查自身。便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實用的檢漏儀。檢漏機原理

檢漏儀檢漏時切勿將大量的氦氣通進儀器，避免本底太大，難以清理。浙江小型檢漏儀一臺多少錢

檢漏儀的本底漏率值是什么？底值是指由所處環(huán)境所形成的較穩(wěn)定的輻射水平或聲量，由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm，5.24×10-6，也就是百萬分之五左右，這說明正?？諝猸h(huán)境中氦氣的含量很小，即氦本底很好。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一。只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小. 正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來。本地高一般都是泄漏的原因，建議檢查閥有沒有內(nèi)漏，試試增加清掃氣體的壓力，但是也不能過高，因為會影響抽空效率。另外檢漏時切勿將大量的氦氣通進儀器，避免本底太大，難以清理。浙江小型檢漏儀一臺多少錢

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