◆半導(dǎo)體制造需要接近理論純水的水理論上純水在25°C下的電阻率為18.24MΩ·cm,電導(dǎo)率為0.05482μS/cm。該電導(dǎo)率的值為H20+OH-(公式為2H20=H3O+OH-)即,除了氫離子和氫氧根離子以外,沒有任何電解質(zhì),這是因為水本身的解離。對超純水的要求是,電阻率至少與理論純水的電阻率非常接近。實際上,高集成度半導(dǎo)體制造工藝所要求的水質(zhì)電阻率高達18MΩ·cm以上。例如,在水中溶解1mg/L的Fe離子,其電阻率就會下降到約17MΩ·cm,所以溶解物質(zhì)的濃度在μgg/L(ppb)的超純水中也會出現(xiàn)問題,隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,水質(zhì)要求是越來越嚴格。超純水設(shè)備可以提供低硝酸鹽的水供應(yīng)。南通超純水設(shè)備工程
超純水設(shè)備的使用離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質(zhì)溶液中進行的,可去除水中的各種陰、陽離子,是目前制備超純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。當(dāng)原水通過離子交換柱時,水中的陽離子和水中的陰離子(HCO3-等離子)與交換柱中的陽樹脂的H+離子和陰樹脂的OH-離子進行交換,從而達到脫鹽的目的。陽、陰混柱的不同組合可使水質(zhì)達到更高的要求,生產(chǎn)出達到更高標準的超純水。蘇州道盛禾環(huán)??萍加邢薰旧綎|反滲透超純水設(shè)備超純水設(shè)備可以提供穩(wěn)定的水質(zhì)。
超純水設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。純水設(shè)備,它采用的是主要是反滲透膜技術(shù)。它的工作原理是對水施加一定的壓力,使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過反滲透膜,而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)、有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜,從而使?jié)B透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格的分開;反滲透膜上的孔徑只有0.0001微米,而病毒的直徑一般有0.02-0.4微米,普通細菌的直徑有0.4-1微米。
預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(工藝)。4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(工藝)。5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)。(二)純水設(shè)備的工藝流程為:1、采用離子交換方式原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所要求的超純水是100%的理論純水,不含溶解在水中的離子類、有機物、活菌、微粒等。
泵增壓小,泵失壓。泵增壓小,一般出現(xiàn)于使用壽命超過兩年的設(shè)備,或是長期處于工作狀態(tài)的設(shè)備。泵失壓,一般不易發(fā)現(xiàn)。直接表現(xiàn)是膜出水少或是膜不出水,經(jīng)常被誤認為是膜堵了。水質(zhì)下降超純水機產(chǎn)出的超純水儲存在水箱時隨著時間的延長水質(zhì)會下降。那么,導(dǎo)致水質(zhì)下降的原因有哪些呢?水箱材質(zhì)。由于超純水純度很高,幾乎無雜質(zhì),因此超純水容易從外界環(huán)境吸收污染物造成污染。如果我們用的儲水箱是低級塑料,就更容易溶部分有機物,從而增加水的電導(dǎo)率,導(dǎo)致水質(zhì)下降。超純水設(shè)備可以提供純凈的水源。南通超純水設(shè)備工程
超純水設(shè)備可以提供低氯離子的水供應(yīng)。南通超純水設(shè)備工程
原水:可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。機械過濾:通過砂芯濾板和纖維柱濾除機械雜質(zhì),如鐵銹和其他懸浮物等。活性炭過濾:活性炭是廣譜吸附劑,可吸附氣體成分,如水中的余氯等,吸附細菌和某些過渡金屬等。氯氣能損害反滲透膜,因此應(yīng)力求除盡。反滲透膜過濾:可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物,包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數(shù)離子的去除,使離子交換柱的使用壽命延長。蘇州道盛禾環(huán)??萍加邢薰練g迎您的咨詢!南通超純水設(shè)備工程