【常見的真空材料表面上的污染物類型】 1、油脂:加工、裝配、操作時沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等; 2、酸、堿、鹽類物質(zhì):清洗時的殘余物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等; 3、表面氧化物:材料長期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物; 4、水基類:操作時的手汗、吹氣時的水汽、唾液等; 5、拋光殘渣及環(huán)境空氣中的塵埃和其它有機物等。 清洗這些污染物的目的是為了改進真空鍍膜機的工作穩(wěn)定性,使工作能夠更加順利的進行。清洗后的表面根據(jù)要求分為原子級清潔表面和工藝技術上的清潔表面兩類?!?在真空鍍膜機使用鍍膜材料鍍膜前,對鍍膜材料做簡單的表面清潔可以延長鍍膜機的使用壽命。因為各種污染物不僅使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度,還會影響真空部件連接處的強度和密封性能。前期到位的清洗工作可以減少許多麻煩,避免許多小問題的發(fā)生,對工作效率、真空鍍膜機鍍膜質(zhì)量都具有十分積極的作用??蒬ada提高真空系統(tǒng)中所有器壁和其它組件表面在各工作條件下的工作穩(wěn)定性。 國產(chǎn)真空鍍膜機廠商推薦。廣西真空鍍膜機多少錢
【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等*高,Ti,Mo,Ta,W等*低。一般在0.1-10原子/離子。 離子可以直流輝光放電(glow discharge)產(chǎn)生,在10-1—10 Pa真空度,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會轟擊負電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。 正常輝光放電(glow discharge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關。濺鍍時應盡可能維持其穩(wěn)定。 任何材料皆可濺射鍍膜,即使高熔點材料也容易濺鍍,但對非導體靶材須以射頻(RF)或脈沖(pulse)濺射;且因導電性較差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達10W/cm2,非金屬<5W/cm2。 河北真空鍍膜機常見問題與解決辦法真空鍍膜機品牌有很多,你如何選擇?
【真空鍍膜機之真空泵的安裝和指導】真空泵安裝指導 1、泵應安裝在地面結實堅固的場所,周圍應留有充分的余地,便于檢查、維護、保養(yǎng)。 2、泵底座下應保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保泵運轉平穩(wěn),振動小。 3、泵與系統(tǒng)的連接管道應密封可靠,對小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時應qing除管道中焊渣,嚴禁焊渣進入泵腔。) 4、在連接管路中,用戶可在泵進氣口上方安裝閥門及真空計,隨時可檢查泵的極限壓力。 5、按電動機標牌規(guī)定連接電源,并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。 6、泵通電試運轉時,須取下電機皮帶,確認泵轉向符合規(guī)定方向方可投入使用,以防泵反轉噴油。(轉向按防護罩指示方向) 7、對于有冷卻水的泵,按規(guī)定接通冷卻水。 8、如泵口安裝電磁閥時,閥與泵應同時動作。 9、當泵排出氣體影響工作環(huán)境時,可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器?!?
【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】 磁控濺射對陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點加以改良,形成了電場和磁場方向相互垂直的特點。在正交的電磁場的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進,從而xianzhu地延長了電子的運動路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經(jīng)過一次碰撞損失一部分動能,經(jīng)過多次碰撞后,喪失了能量成為“*終電子”進入離陰極靶面較遠的弱電場區(qū),*后到達陽極時已經(jīng)是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會使基片過熱。同時高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產(chǎn)生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉入陽極的生長位置,也不通循環(huán)水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長,以減小應力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監(jiān)控薄膜生長過程中的樣品溫度。 紅外真空鍍膜機制造商。
【真空鍍膜機沖洗工藝之反應氣體沖洗】這種方法特別適用于da型超高不銹鋼真空系統(tǒng)的內(nèi)部洗(去除碳氫化合物污染)。通常對于某些da型超高真空系統(tǒng)的真空室和真空元件,為了獲得原子態(tài)的清潔表面,消除其表面污染的標準方法是化學清洗,真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空系統(tǒng)等方法。以上的清洗和除氣方法常用于真空系統(tǒng)安裝前及裝配期間。在真空系統(tǒng)安裝后(或系統(tǒng)運行后),由于真空系統(tǒng)內(nèi)的各種零部件已經(jīng)被固定,這時對它們進行除氣處理就很困難,一旦系統(tǒng)受到(偶然)污染(主要是da原子數(shù)的分子如碳氫化合物的污染),通常要拆卸后重新處理再安裝.而用反應氣體工藝,可以進行原位在線除氣處理.有效地除去不銹鋼真空室內(nèi)的碳氫化合物的污染.其清洗機理:在系統(tǒng)中引述氧化性氣體(O2、N0 )和還原性氣體(H2、N H3)對金屬表面進行化學反應清洗,消除污染,以便獲得原子態(tài)的清潔金屬表面。表面氧化/還原的速率取決于污染的情況及金屬表面的材質(zhì),表面反應速率的da小通過調(diào)整反應氣體的壓力和溫度來控制。對于每一種基材而言,精確的參數(shù)要通過實驗來確定.對于不同的結晶取向,這些參數(shù)是不同的。真空鍍膜機機組是怎樣的?湖南真空鍍膜機及真空鍍膜應用
真空鍍膜機常見故障及解決方法。廣西真空鍍膜機多少錢
【真空鍍膜設備的正常工作條件】 1、環(huán)境溫度:10~30℃ 2、相對濕度:不da于70% 3、冷卻水進水溫度:不高于25℃ 4、冷卻水質(zhì):城市自來水或質(zhì)量相當?shù)乃?5、供電電壓:380V,三相50Hz或220V,單相50Hz(由所用電器需要而定),電壓波動范圍342~399V或198V~231V,頻率波動范圍49~51Hz; 6、設備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應在產(chǎn)品使用說明書上寫明。 7、設備周圍環(huán)境整潔、空氣清潔,不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵?;驓怏w存在。 此外,真空鍍膜設備所在實驗室或車間應保持清潔衛(wèi)生。地面為水磨石或木質(zhì)涂漆地面、無塵埃。為防止機械泵工作時排出的氣體對實驗室環(huán)境的污染,可采用在泵的排氣口上面裝設排氣管道(金屬、橡膠管)的辦法,將氣體排出室外。 廣西真空鍍膜機多少錢
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