【真空鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)檢漏法之真空計(jì)檢漏法】 常用的真空計(jì)檢漏法主要是熱傳導(dǎo)真空計(jì)法與電離真空計(jì)法。以熱傳導(dǎo)真空計(jì)法為例,它是利用低壓下不同氣體種類的熱傳導(dǎo)能力差異與壓力的關(guān)系來分析真空系統(tǒng)泄漏情況。使用時(shí),要保證被檢系統(tǒng)處于一個(gè)壓力不變的動態(tài)平衡狀態(tài),將示漏氣體噴吹于可疑處(也可能用有機(jī)溶劑涂抹,但易吸附、堵塞漏孔,并造成污染)。一旦有漏孔存在,示漏氣體會通過漏孔進(jìn)入被檢系統(tǒng),因?yàn)槭韭怏w的熱傳導(dǎo)能力與原系統(tǒng)的氣體成分差異da,會引起明顯的熱傳導(dǎo)性質(zhì)變化,熱傳導(dǎo)真空計(jì)的儀表讀數(shù)在原有的平衡基礎(chǔ)上就會發(fā)生波動變化,根據(jù)這些確定漏孔位置并根據(jù)讀數(shù)變化換算漏率da小。相應(yīng)地,電離真空計(jì)法利用的即是示漏氣體進(jìn)入后導(dǎo)致的離子流變化來進(jìn)行換算。 真空系統(tǒng)檢漏中應(yīng)用真空計(jì)檢漏法要考慮示漏氣體種類與真空計(jì)的特性的配合,選擇示漏氣體對應(yīng)的特性差異要明顯有別于原有氣體成分,如熱傳導(dǎo)真空計(jì)的熱傳導(dǎo)能力、電離真空計(jì)的電離電位。其次為便于準(zhǔn)確地觀察前后數(shù)據(jù)變化,要保證被檢前被檢系統(tǒng)壓力處于穩(wěn)定的平衡狀態(tài),測量的真空計(jì)規(guī)管也要處于穩(wěn)定的狀態(tài),防止虛假數(shù)據(jù)誤導(dǎo)。同時(shí)真空計(jì)規(guī)管存在惰性,需要觀察足夠的時(shí)間。 真空鍍膜機(jī)公司的排名。吉林實(shí)驗(yàn)室真空鍍膜機(jī)
【真空鍍膜機(jī)操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴(kuò)散泵加熱→開粗抽泵→開預(yù)抽閥→關(guān)預(yù)抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊,開轟擊30秒,關(guān)轟擊→開真空計(jì)→當(dāng)真空到6.0~7.0pa時(shí),關(guān)粗抽閥→開前置閥→開精抽閥,當(dāng)真空達(dá)到7x10-3pa,開轉(zhuǎn)架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后,關(guān)閉真空計(jì)、離子源→關(guān)精抽閥,前置閥→關(guān)羅茨泵→開抽氣閥,取件→上料,反復(fù)開始操作。 特別注意: 1.設(shè)備停用時(shí),鍍膜室要保持真空狀態(tài),減少內(nèi)表面氣體的吸附,防止氧化。 2.冷卻水通道場下才能對擴(kuò)散泵進(jìn)行加熱,未經(jīng)充分冷卻的泵不得與da氣接觸,防止氧化。 3.要保證機(jī)器內(nèi)擴(kuò)散泵和機(jī)械泵的油定期檢查和更換。 4.設(shè)備運(yùn)行中遇有停電或其它事故發(fā)生,須先停擴(kuò)散泵,關(guān)精抽閥,前置閥和真空計(jì)。 5.產(chǎn)品做完下班后,關(guān)了擴(kuò)散泵后須待溫度降低至60℃后才能關(guān)維持泵。 河北真空鍍膜機(jī)品牌有哪些真空鍍膜機(jī)是什么樣的?
【真空鍍膜機(jī)清洗工藝之放電清洗】利用熱絲或電極作為電子源,在其相對于待清洗的表面加負(fù)偏壓可以實(shí)現(xiàn)離子轟擊的氣體解吸及某些碳?xì)浠衔锏娜コ?。清洗效果取決于電極材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系。即取決于單位表面積上的離子數(shù)和離子能量,從而取決于有效電功率。在真空室中充入適當(dāng)分壓力的惰性氣體(典型的如Ar氣),可以利用兩個(gè)適當(dāng)?shù)碾姌O間的低壓下的輝光放電產(chǎn)生的離子轟擊來達(dá)到清洗的目的。該方法中,惰性氣體被離化并轟擊真空室內(nèi)壁、真空室內(nèi)的其它結(jié)構(gòu)件及被鍍基片,它可以使某些真空系統(tǒng)免除被高溫烘烤。如果在充入的氣體中加入氧氣,對某些碳?xì)浠衔锟梢垣@得更好的清洗效果。因?yàn)檠鯕饪梢允鼓承┨細(xì)浠衔镅趸梢讚]發(fā)性氣體而容易被真空系統(tǒng)排除。不銹鋼高真空和超高真空容器表面上雜質(zhì)的主要成分是碳和碳?xì)浠衔?。一般情況下,其中的碳不能單獨(dú)揮發(fā).經(jīng)化學(xué)清洗后,需要引入Ar或Ar+O2混合氣體進(jìn)行輝光放電清洗,使表面上的雜質(zhì)和由于化學(xué)作用被束縛在表面上的氣體得到qing除。
【真空鍍膜機(jī)有哪些污染源】真空鍍膜機(jī)是由許多精密的零部件所組成的,這些零部件均經(jīng)過許多機(jī)械加工流程而制作出來,如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因?yàn)橛辛诉@些工作,導(dǎo)致設(shè)備零部件表面不可避免地會沾染一些加工帶來的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā),從而對設(shè)備的極限真空造成影響。 此外,這些機(jī)械加工帶來的真空污染物在da氣壓環(huán)境中吸附da量的氣體,而到了真空狀態(tài)下,這些原先吸附的氣體也會被再次釋放出來,成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一da主要因素。 1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā),將導(dǎo)致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜,對其絕緣強(qiáng)度有一定的損壞,對其測量的準(zhǔn)確性也有一定的影響; 2、由于高溫蒸發(fā),會使真空中的電子qiang的燈絲附近表面形成一層金屬膜; 3、由于工件濺射,離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會被濺散物所污染; 4、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的內(nèi)壁會被其蒸鍍靶材材料污染; 5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng),該系統(tǒng)會受蒸發(fā)出來的物質(zhì)所污染; 6、真空鍍膜設(shè)備中的擴(kuò)散泵油、機(jī)械泵油等更是一da主要污染來源,鍍膜機(jī)長期工作后,設(shè)備內(nèi)部可能會形成一層油膜。 真空鍍膜機(jī)真空四個(gè)階段。
【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進(jìn)入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個(gè)離子所濺射出的原子個(gè)數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等*高,Ti,Mo,Ta,W等*低。一般在0.1-10原子/離子。 離子可以直流輝光放電(glow discharge)產(chǎn)生,在10-1—10 Pa真空度,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會轟擊負(fù)電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。 正常輝光放電(glow discharge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關(guān)。濺鍍時(shí)應(yīng)盡可能維持其穩(wěn)定。 任何材料皆可濺射鍍膜,即使高熔點(diǎn)材料也容易濺鍍,但對非導(dǎo)體靶材須以射頻(RF)或脈沖(pulse)濺射;且因?qū)щ娦暂^差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達(dá)10W/cm2,非金屬<5W/cm2。 關(guān)于真空鍍膜機(jī),你知道多少?福建真空鍍膜機(jī)廠
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【真空鍍膜對環(huán)境的基本要求】加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要。基片進(jìn)入鍍膜室前均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的。 基片表面污染來自零件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。 對經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能在da氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至*小。因?yàn)檫@些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。對于高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。 qing除鍍膜室內(nèi)的灰塵,設(shè)置清潔度高的工作間,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求??諝鉂穸萪a的地區(qū),除鍍前要對基片、真空室內(nèi)各部件認(rèn)真清洗外,還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴(kuò)散泵返油,對加熱功率高的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施。 吉林實(shí)驗(yàn)室真空鍍膜機(jī)
成都國泰真空設(shè)備有限公司是一家一般項(xiàng)目:泵及真空設(shè)備制造‘泵及真空設(shè)備銷售;機(jī)械設(shè)備銷售;機(jī)械零件、零部件銷售;光學(xué)儀器銷售;光學(xué)玻璃銷售;功能玻璃和新型光學(xué)材料銷售;電子元器件批發(fā);技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣。的公司,是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司。國泰真空深耕行業(yè)多年,始終以客戶的需求為向?qū)В瑸榭蛻籼峁?**的光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備。國泰真空致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心,為用戶帶來良好體驗(yàn)。國泰真空創(chuàng)始人盧成,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,竭誠為客戶提供良好的服務(wù)。