【真空鍍膜設備設計原則及常用技術指標】 真空設備設計原則：(1)先功能，后結(jié)構(gòu)。先給出指標參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能；(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距；(3)先局部，后整體。再由整體，定局部。(4)先設計，后校核。由粗到細。 鍍膜機常用技術指標：鍍膜方法：CVD，PVD（蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復合鍍）；被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術參數(shù);設備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時間、恢復真空時間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機)膜厚不均勻程度;功率;*高電壓。 真空鍍膜機真空四個階段。江蘇真空鍍膜機哪家好

【真空鍍膜真空的基本概念】： 真空的劃分： 粗真空 760Torr~10E&3Torr 高真空 10E&4Torr~10E&8Torr 超高真空 10E&9~10E&12 Torr 極高真空 <10E&12Torr 流導（導通量）：表示真空管道通過氣體的能力，單位為升/秒（L/S）。一般情況下，管道越短，直徑越da，表面越光滑，越直的管道流導也越da。 流量：單位時間內(nèi)流過任意截面的氣體量，單位為Torr·L/s或Pa·L/s。 抽氣速率：在一定的壓強和溫度下，單位時間內(nèi)由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。單位一般為L/S或m3/hr或CFM。 極限真空：真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。廣西二手光學真空鍍膜機真空鍍膜機的操作視頻。

【真空鍍膜機之輔助抽氣系統(tǒng)】真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三da部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。

【真空鍍膜設備撿漏需注意】真空鍍膜設備檢漏是保證真空鍍膜設備真空度的一項檢查措施，簡稱檢漏，真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的，所以檢漏是必不可少的。 一、要確認漏氣到底的虛漏還是實漏。因為工件材料加熱后都會在不同程度上產(chǎn)生氣體，有可能誤以為是從外部流進的氣體，這就是虛漏，要排除這種情況。 二、測試好真空室的氣體密封性能。確保氣密性能符合要求。 三、檢查漏孔的da小，形狀、位置，漏氣的速度，制備出可解決方案并實施。 四、確定檢測儀器的*小可檢漏率和檢漏靈敏性，以*da范圍的檢測出漏氣情況，避免一些漏孔被忽略，提高檢漏的準確性。 五、把握檢漏儀器的反應時間和消除時間。把時間掌握好，保證檢漏儀器工作到位，時間少了，檢漏效果肯定差，時間長了，浪費檢漏氣體和人工電費。 六、還要避免漏孔堵塞。有時由于操作失誤，檢漏過程中，一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了，以為在該位置沒有漏孔，但當這些堵塞物由于內(nèi)外壓強差異提高或其他原因使漏孔不堵了，那漏氣還是存在的。 為真空鍍膜設備做好檢漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因多種多樣，我們要一一的解決這些原因，穩(wěn)定鍍膜的效果。 真空鍍膜機常見故障及解決方法。

【真空鍍膜機清洗工藝要求】真空工藝進行前應清洗真空材料，從工件或系統(tǒng)材料表面qing除污染物；真空零部件的表面清洗處理也是非常有必要的，因為由污染物所造成的氣體、蒸氣源不僅會使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在，同時也會影響真空部件連接處的強度和密封性能。 污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”，根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體，它們以膜或散粒形式存在。就其化學特征來看，它可以處于離子態(tài)或共價態(tài)，可以是無機物或有機物。 暴露在空氣中的表面*易受到污染，污染的來源有很多種，*初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學反應、浸析和干燥過程、機械處理以及擴散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。 離子真空鍍膜機是什么？重慶實驗室真空鍍膜機

真空鍍膜機機組是怎樣的？江蘇真空鍍膜機哪家好

【真空鍍膜設備的維修及保養(yǎng)方法】 1.真空鍍膜設備每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。 方法：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復擦洗真空室內(nèi)壁，（ 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應，反應后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。 2.當粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季減半），需更換新油。 方法：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。 3.在重新開機前，要注意檢漏。 方法：啟動維持泵，關好da門，數(shù)分鐘后，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒環(huán)，真空鍍膜設備無法進入工作狀態(tài)。 江蘇真空鍍膜機哪家好

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