【真空鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)檢漏法之真空計(jì)檢漏法】 常用的真空計(jì)檢漏法主要是熱傳導(dǎo)真空計(jì)法與電離真空計(jì)法。以熱傳導(dǎo)真空計(jì)法為例,它是利用低壓下不同氣體種類的熱傳導(dǎo)能力差異與壓力的關(guān)系來分析真空系統(tǒng)泄漏情況。使用時,要保證被檢系統(tǒng)處于一個壓力不變的動態(tài)平衡狀態(tài),將示漏氣體噴吹于可疑處(也可能用有機(jī)溶劑涂抹,但易吸附、堵塞漏孔,并造成污染)。一旦有漏孔存在,示漏氣體會通過漏孔進(jìn)入被檢系統(tǒng),因?yàn)槭韭怏w的熱傳導(dǎo)能力與原系統(tǒng)的氣體成分差異da,會引起明顯的熱傳導(dǎo)性質(zhì)變化,熱傳導(dǎo)真空計(jì)的儀表讀數(shù)在原有的平衡基礎(chǔ)上就會發(fā)生波動變化,根據(jù)這些確定漏孔位置并根據(jù)讀數(shù)變化換算漏率da小。相應(yīng)地,電離真空計(jì)法利用的即是示漏氣體進(jìn)入后導(dǎo)致的離子流變化來進(jìn)行換算。 真空系統(tǒng)檢漏中應(yīng)用真空計(jì)檢漏法要考慮示漏氣體種類與真空計(jì)的特性的配合,選擇示漏氣體對應(yīng)的特性差異要明顯有別于原有氣體成分,如熱傳導(dǎo)真空計(jì)的熱傳導(dǎo)能力、電離真空計(jì)的電離電位。其次為便于準(zhǔn)確地觀察前后數(shù)據(jù)變化,要保證被檢前被檢系統(tǒng)壓力處于穩(wěn)定的平衡狀態(tài),測量的真空計(jì)規(guī)管也要處于穩(wěn)定的狀態(tài),防止虛假數(shù)據(jù)誤導(dǎo)。同時真空計(jì)規(guī)管存在惰性,需要觀察足夠的時間。 真空鍍膜機(jī)該如何維修。上海磁控真空鍍膜機(jī)
【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】 磁控濺射對陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點(diǎn)加以改良,形成了電場和磁場方向相互垂直的特點(diǎn)。在正交的電磁場的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進(jìn),從而xianzhu地延長了電子的運(yùn)動路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經(jīng)過一次碰撞損失一部分動能,經(jīng)過多次碰撞后,喪失了能量成為“*終電子”進(jìn)入離陰極靶面較遠(yuǎn)的弱電場區(qū),*后到達(dá)陽極時已經(jīng)是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會使基片過熱。同時高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產(chǎn)生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉(zhuǎn)入陽極的生長位置,也不通循環(huán)水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長,以減小應(yīng)力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監(jiān)控薄膜生長過程中的樣品溫度。 上海二手卷繞式真空鍍膜機(jī)真空鍍膜機(jī)常見故障及解決方法。
【真空鍍膜機(jī)操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴(kuò)散泵加熱→開粗抽泵→開預(yù)抽閥→關(guān)預(yù)抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊,開轟擊30秒,關(guān)轟擊→開真空計(jì)→當(dāng)真空到6.0~7.0pa時,關(guān)粗抽閥→開前置閥→開精抽閥,當(dāng)真空達(dá)到7x10-3pa,開轉(zhuǎn)架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后,關(guān)閉真空計(jì)、離子源→關(guān)精抽閥,前置閥→關(guān)羅茨泵→開抽氣閥,取件→上料,反復(fù)開始操作。 特別注意: 1.設(shè)備停用時,鍍膜室要保持真空狀態(tài),減少內(nèi)表面氣體的吸附,防止氧化。 2.冷卻水通道場下才能對擴(kuò)散泵進(jìn)行加熱,未經(jīng)充分冷卻的泵不得與da氣接觸,防止氧化。 3.要保證機(jī)器內(nèi)擴(kuò)散泵和機(jī)械泵的油定期檢查和更換。 4.設(shè)備運(yùn)行中遇有停電或其它事故發(fā)生,須先停擴(kuò)散泵,關(guān)精抽閥,前置閥和真空計(jì)。 5.產(chǎn)品做完下班后,關(guān)了擴(kuò)散泵后須待溫度降低至60℃后才能關(guān)維持泵。
【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】 靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是*簡單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法,因?yàn)樗恍枰妙~外特殊的儀器或者特殊物質(zhì),通過測量規(guī)管就可以檢測真空系統(tǒng)的總漏率,從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單,但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進(jìn)行了。 靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應(yīng)的壓力范圍,再關(guān)閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計(jì)測量記錄真空容器中壓力隨時間的變化過程,即可得出泄漏數(shù)據(jù)。《真空系統(tǒng)抽氣達(dá)不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態(tài)升壓法實(shí)現(xiàn)的,比較方便。當(dāng)然在應(yīng)用過程中,要提高準(zhǔn)確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測之前對容器進(jìn)行凈化清洗并烘干,或者用氮?dú)膺M(jìn)行沖洗。更嚴(yán)格一點(diǎn)可以在測量規(guī)管與容器之間設(shè)置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對可能存在的漏孔所漏進(jìn)的空氣不會造成影響。 關(guān)于真空鍍膜機(jī),你知道多少?
【真空鍍膜機(jī)之鍍鋅工藝】在鋼鐵合金材料的表面鍍一層鋅以起美觀、防銹等作用的表面處理技術(shù),表面的鋅層是一種電化學(xué)保護(hù)層,可以防止金屬腐壞,主要采用的方法是熱鍍鋅和電鍍鋅。 適用材料: 由于鍍鋅工藝依賴于冶金結(jié)合技術(shù),所以只適合鋼和鐵的表面處理。 工藝成本:無模具費(fèi)用,周期短/人力成本中等,因?yàn)楣ぜ谋砻尜|(zhì)量很da程度上取決于鍍鋅前的人工表面處理。 環(huán)境影響:由于鍍鋅工藝增長了鋼鐵件40-100年的使用壽命,很好的防止了工件的生銹和腐壞,所以對保護(hù)壞境有積極的作用。另外,鍍過鋅的工件在使用壽命到期后,可以重新送返鍍鋅槽,對液態(tài)鋅的反復(fù)利用不會產(chǎn)生化學(xué)或物理廢料。 真空鍍膜機(jī)故障解決方法?云南熱蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)
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【真空鍍膜機(jī)之輔助抽氣系統(tǒng)】真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三da部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提,之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時候,機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動作。上海磁控真空鍍膜機(jī)
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