【真空鍍膜機沖洗工藝之反應(yīng)氣體沖洗】這種方法特別適用于da型超高不銹鋼真空系統(tǒng)的內(nèi)部洗(去除碳氫化合物污染)。通常對于某些da型超高真空系統(tǒng)的真空室和真空元件，為了獲得原子態(tài)的清潔表面，消除其表面污染的標準方法是化學(xué)清洗，真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空系統(tǒng)等方法。以上的清洗和除氣方法常用于真空系統(tǒng)安裝前及裝配期間。在真空系統(tǒng)安裝后(或系統(tǒng)運行后)，由于真空系統(tǒng)內(nèi)的各種零部件已經(jīng)被固定，這時對它們進行除氣處理就很困難，一旦系統(tǒng)受到(偶然)污染(主要是da原子數(shù)的分子如碳氫化合物的污染)，通常要拆卸后重新處理再安裝．而用反應(yīng)氣體工藝，可以進行原位在線除氣處理．有效地除去不銹鋼真空室內(nèi)的碳氫化合物的污染.其清洗機理：在系統(tǒng)中引述氧化性氣體(O2、N0 )和還原性氣體(H2、N H3)對金屬表面進行化學(xué)反應(yīng)清洗，消除污染，以便獲得原子態(tài)的清潔金屬表面。表面氧化／還原的速率取決于污染的情況及金屬表面的材質(zhì)，表面反應(yīng)速率的da小通過調(diào)整反應(yīng)氣體的壓力和溫度來控制。對于每一種基材而言，精確的參數(shù)要通過實驗來確定.對于不同的結(jié)晶取向，這些參數(shù)是不同的。真空鍍膜機詳細鍍膜方法。江蘇二手蒸發(fā)真空鍍膜機

【真空鍍膜機之真空泵的維護和保養(yǎng)】1、經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以泵運轉(zhuǎn)時，油位到油標中心為準。2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時更換新油，確保泵工作正常。3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。4、一般情況下，泵工作2000小時后應(yīng)進行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。 清洗裝配時應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。5、有條件的對管中同樣進行清理，確保管路暢通。6、重新裝配后應(yīng)進行試運行，一般須空運轉(zhuǎn)2小時并換油二次，因清洗時在泵中會留有一定量易揮發(fā)物，待運轉(zhuǎn)正常后，再投入正常工作。7、本系列泵油采用專業(yè)用真空泵油。江西南光真空鍍膜機PVD真空鍍膜機的公司。

【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面，使其濺射出進入氣相，可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快，以Cu,Au,Ag等*高，Ti,Mo,Ta,W等*低。一般在0.1-10原子/離子。 離子可以直流輝光放電(glow discharge)產(chǎn)生，在10-1—10 Pa真空度，在兩極間加高壓產(chǎn)生放電，正離子會轟擊負電之靶材而濺射也靶材，而鍍至被鍍物上。 正常輝光放電(glow discharge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關(guān)。濺鍍時應(yīng)盡可能維持其穩(wěn)定。 任何材料皆可濺射鍍膜，即使高熔點材料也容易濺鍍，但對非導(dǎo)體靶材須以射頻（RF）或脈沖（pulse）濺射；且因?qū)щ娦暂^差，濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達10W/cm2,非金屬＜5W/cm2。

【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】 1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次。 方法：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，（ 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。 2.當粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季減半），需更換新油。 方法：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。 3.在重新開機前，要注意檢漏。 方法：啟動維持泵，關(guān)好da門，數(shù)分鐘后，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒環(huán)，真空鍍膜設(shè)備無法進入工作狀態(tài)。 真空鍍膜機日常怎么維護？

【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料，把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點是基片相對于離子源和靶是du立的，它的溫度可以單獨控制?；ǔ＝拥匚?，它和靶與高頻電路無關(guān)，不會象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊，因而溫度較低。所以只要配置一臺較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型，控溫范圍為-10℃~50℃，精度≤0。5℃)，實現(xiàn)對樣品臺的單獨控溫，就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進行適當調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設(shè)備的構(gòu)造，設(shè)計、加工了專門的金屬樣品架，放上樣品后蓋上金屬壓片，用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺上，可使樣品和控溫的樣品臺有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個測溫鉑電阻，用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊，再用導(dǎo)線引出與高精度的萬用表相連，以監(jiān)測薄膜生長過程中的樣品溫度。真空鍍膜機品牌有很多，你如何選擇？四川真空鍍膜機生產(chǎn)廠家

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【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計原則及常用技術(shù)指標】 真空設(shè)備設(shè)計原則：(1)先功能，后結(jié)構(gòu)。先給出指標參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能；(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距；(3)先局部，后整體。再由整體，定局部。(4)先設(shè)計，后校核。由粗到細。 鍍膜機常用技術(shù)指標：鍍膜方法：CVD，PVD（蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍）；被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時間、恢復(fù)真空時間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機)膜厚不均勻程度;功率;*高電壓。 江蘇二手蒸發(fā)真空鍍膜機

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