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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-02-02

【真空鍍膜設(shè)備撿漏需注意】真空鍍膜設(shè)備檢漏是保證真空鍍膜設(shè)備真空度的一項(xiàng)檢查措施,簡(jiǎn)稱檢漏,真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的,所以檢漏是必不可少的。 一、要確認(rèn)漏氣到底的虛漏還是實(shí)漏。因?yàn)楣ぜ牧霞訜岷蠖紩?huì)在不同程度上產(chǎn)生氣體,有可能誤以為是從外部流進(jìn)的氣體,這就是虛漏,要排除這種情況。 二、測(cè)試好真空室的氣體密封性能。確保氣密性能符合要求。 三、檢查漏孔的da小,形狀、位置,漏氣的速度,制備出可解決方案并實(shí)施。 四、確定檢測(cè)儀器的*小可檢漏率和檢漏靈敏性,以*da范圍的檢測(cè)出漏氣情況,避免一些漏孔被忽略,提高檢漏的準(zhǔn)確性。 五、把握檢漏儀器的反應(yīng)時(shí)間和消除時(shí)間。把時(shí)間掌握好,保證檢漏儀器工作到位,時(shí)間少了,檢漏效果肯定差,時(shí)間長(zhǎng)了,浪費(fèi)檢漏氣體和人工電費(fèi)。 六、還要避免漏孔堵塞。有時(shí)由于操作失誤,檢漏過(guò)程中,一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了,以為在該位置沒(méi)有漏孔,但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外壓強(qiáng)差異提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏氣還是存在的。 為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多種多樣,我們要一一的解決這些原因,穩(wěn)定鍍膜的效果。 真空鍍膜機(jī)常見(jiàn)故障及解決方法。上海手機(jī)真空鍍膜機(jī)價(jià)格

【真空鍍膜機(jī)沖洗工藝之反應(yīng)氣體沖洗】這種方法特別適用于da型超高不銹鋼真空系統(tǒng)的內(nèi)部洗(去除碳?xì)浠衔镂廴?。通常對(duì)于某些da型超高真空系統(tǒng)的真空室和真空元件,為了獲得原子態(tài)的清潔表面,消除其表面污染的標(biāo)準(zhǔn)方法是化學(xué)清洗,真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空系統(tǒng)等方法。以上的清洗和除氣方法常用于真空系統(tǒng)安裝前及裝配期間。在真空系統(tǒng)安裝后(或系統(tǒng)運(yùn)行后),由于真空系統(tǒng)內(nèi)的各種零部件已經(jīng)被固定,這時(shí)對(duì)它們進(jìn)行除氣處理就很困難,一旦系統(tǒng)受到(偶然)污染(主要是da原子數(shù)的分子如碳?xì)浠衔锏奈廴?,通常要拆卸后重新處理再安裝.而用反應(yīng)氣體工藝,可以進(jìn)行原位在線除氣處理.有效地除去不銹鋼真空室內(nèi)的碳?xì)浠衔锏奈廴?其清洗機(jī)理:在系統(tǒng)中引述氧化性氣體(O2、N0 )和還原性氣體(H2、N H3)對(duì)金屬表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)清洗,消除污染,以便獲得原子態(tài)的清潔金屬表面。表面氧化/還原的速率取決于污染的情況及金屬表面的材質(zhì),表面反應(yīng)速率的da小通過(guò)調(diào)整反應(yīng)氣體的壓力和溫度來(lái)控制。對(duì)于每一種基材而言,精確的參數(shù)要通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)確定.對(duì)于不同的結(jié)晶取向,這些參數(shù)是不同的。河北二手光學(xué)真空鍍膜機(jī)成都國(guó)泰真空鍍膜機(jī)怎么樣?

【真空鍍膜機(jī)有哪些污染源】真空鍍膜機(jī)是由許多精密的零部件所組成的,這些零部件均經(jīng)過(guò)許多機(jī)械加工流程而制作出來(lái),如焊接、磨、車(chē)、刨、鏜、銑等工序。正因?yàn)橛辛诉@些工作,導(dǎo)致設(shè)備零部件表面不可避免地會(huì)沾染一些加工帶來(lái)的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā),從而對(duì)設(shè)備的極限真空造成影響。 此外,這些機(jī)械加工帶來(lái)的真空污染物在da氣壓環(huán)境中吸附da量的氣體,而到了真空狀態(tài)下,這些原先吸附的氣體也會(huì)被再次釋放出來(lái),成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一da主要因素。 1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā),將導(dǎo)致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜,對(duì)其絕緣強(qiáng)度有一定的損壞,對(duì)其測(cè)量的準(zhǔn)確性也有一定的影響; 2、由于高溫蒸發(fā),會(huì)使真空中的電子qiang的燈絲附近表面形成一層金屬膜; 3、由于工件濺射,離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會(huì)被濺散物所污染; 4、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的內(nèi)壁會(huì)被其蒸鍍靶材材料污染; 5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng),該系統(tǒng)會(huì)受蒸發(fā)出來(lái)的物質(zhì)所污染; 6、真空鍍膜設(shè)備中的擴(kuò)散泵油、機(jī)械泵油等更是一da主要污染來(lái)源,鍍膜機(jī)長(zhǎng)期工作后,設(shè)備內(nèi)部可能會(huì)形成一層油膜。

【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料,把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點(diǎn)是基片相對(duì)于離子源和靶是du立的,它的溫度可以單獨(dú)控制?;ǔ=拥匚?,它和靶與高頻電路無(wú)關(guān),不會(huì)象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊,因而溫度較低。所以只要配置一臺(tái)較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型,控溫范圍為-10℃~50℃,精度≤0。5℃),實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品臺(tái)的單獨(dú)控溫,就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長(zhǎng)不同階段的溫度需要進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設(shè)備的構(gòu)造,設(shè)計(jì)、加工了專門(mén)的金屬樣品架,放上樣品后蓋上金屬壓片,用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺(tái)上,可使樣品和控溫的樣品臺(tái)有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個(gè)測(cè)溫鉑電阻,用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊,再用導(dǎo)線引出與高精度的萬(wàn)用表相連,以監(jiān)測(cè)薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中的樣品溫度。真空鍍膜機(jī)的升級(jí)改造。

【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動(dòng)能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進(jìn)入氣相,可用來(lái)刻蝕和鍍膜。入射一個(gè)離子所濺射出的原子個(gè)數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等*高,Ti,Mo,Ta,W等*低。一般在0.1-10原子/離子。 離子可以直流輝光放電(glow discharge)產(chǎn)生,在10-1—10 Pa真空度,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會(huì)轟擊負(fù)電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。 正常輝光放電(glow discharge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關(guān)。濺鍍時(shí)應(yīng)盡可能維持其穩(wěn)定。 任何材料皆可濺射鍍膜,即使高熔點(diǎn)材料也容易濺鍍,但對(duì)非導(dǎo)體靶材須以射頻(RF)或脈沖(pulse)濺射;且因?qū)щ娦暂^差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達(dá)10W/cm2,非金屬<5W/cm2。 真空鍍膜機(jī)的生產(chǎn)廠家。四川全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)

真空鍍膜機(jī)的培訓(xùn)資料。上海手機(jī)真空鍍膜機(jī)價(jià)格

【真空鍍膜機(jī)之卷繞機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)中應(yīng)考慮的問(wèn)題】 ①提高卷繞速度的問(wèn)題。卷繞速度即是帶狀基材運(yùn)動(dòng)的線速度,它是卷繞機(jī)構(gòu)的一個(gè)主要技術(shù)指櫟。國(guó)內(nèi)早期鍍膜機(jī)卷繞速度只有10m/min,現(xiàn)在也只有80m/min~120m/min,在國(guó)外日本的EW系列產(chǎn)品中,其卷繞速度已達(dá)到300m/min,德國(guó)L.H公司生產(chǎn)的鍍膜機(jī)已達(dá)到600m/min,可見(jiàn)隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展,卷繞速度有待提高。 ②帶狀基材的線速恒定問(wèn)題。這一問(wèn)題也很重要,因?yàn)橹挥芯砝@機(jī)構(gòu)保證帶狀基材的線速恒定,才能使基材上鍍層厚度均勻。這一點(diǎn)對(duì)制備帶狀基材的功能性膜(如電容器膜)尤為重要。 ③帶狀基材的跑偏和起褶問(wèn)題。隨著卷繞速度的提高,帶狀基材在卷繞鍍膜過(guò)程中,起褶和發(fā)生偏斜,嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成基材的斷裂,使生產(chǎn)中斷,既影響生產(chǎn)效率,又浪費(fèi)材料。因此,在卷繞機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)中應(yīng)充分考慮這一問(wèn)題。 上海手機(jī)真空鍍膜機(jī)價(jià)格

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