【真空鍍膜機常見故障之旋片泵故障及處理方法】 1、未做保養(yǎng)導(dǎo)致灰塵太多。真空鍍膜設(shè)備在鍍膜過程中容易產(chǎn)生da量灰塵,這些灰塵伴隨空氣容易混雜到泵油中,時間久了容易對轉(zhuǎn)子及泵腔造成磨損及破壞。 處理方法:如果灰塵不多,可以油過濾系統(tǒng)除掉灰塵;如果灰塵過多可以用除塵器配合油過濾系統(tǒng)除掉灰塵。 2、旋片式真空泵冒煙和噴油:指旋片式真空泵在運轉(zhuǎn)中排氣口冒煙或者噴油,冒煙。處理方法:冒煙闡明泵的進氣口外,包括管道、閥門、容器有修理的狀況。 3、噴油,闡明進氣口外有da量的漏點,以至是進氣口暴露da氣。處理方法:封住泵的進氣口使泵運轉(zhuǎn),假如不噴油的話,闡明有漏點;排氣閥片損壞,檢查排氣閥片能否損壞,改換壞的排氣閥片。 4、被抽氣體的溫度可能過高。處理方法:降低被抽氣體的溫度,或能夠加一個相應(yīng)的換熱器。 5、配合的間隙改da。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等,形成旋片和定子之間磨損后的間隙增da。處理方法:檢查間隙能否過da,改換新的零部件。 6、泵內(nèi)的油路不通或者不暢,泵腔內(nèi)沒有堅持一定量的油量。處理方法:檢查油路能否暢通,并加同類型的真空泵油。 光學(xué)真空鍍膜機制造商。山東蒸發(fā)卷繞式真空鍍膜機
【真空鍍膜設(shè)備撿漏需注意】真空鍍膜設(shè)備檢漏是保證真空鍍膜設(shè)備真空度的一項檢查措施,簡稱檢漏,真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的,所以檢漏是必不可少的。 一、要確認漏氣到底的虛漏還是實漏。因為工件材料加熱后都會在不同程度上產(chǎn)生氣體,有可能誤以為是從外部流進的氣體,這就是虛漏,要排除這種情況。 二、測試好真空室的氣體密封性能。確保氣密性能符合要求。 三、檢查漏孔的da小,形狀、位置,漏氣的速度,制備出可解決方案并實施。 四、確定檢測儀器的*小可檢漏率和檢漏靈敏性,以*da范圍的檢測出漏氣情況,避免一些漏孔被忽略,提高檢漏的準確性。 五、把握檢漏儀器的反應(yīng)時間和消除時間。把時間掌握好,保證檢漏儀器工作到位,時間少了,檢漏效果肯定差,時間長了,浪費檢漏氣體和人工電費。 六、還要避免漏孔堵塞。有時由于操作失誤,檢漏過程中,一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了,以為在該位置沒有漏孔,但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外壓強差異提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏氣還是存在的。 為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多種多樣,我們要一一的解決這些原因,穩(wěn)定鍍膜的效果。 湖南蒸發(fā)卷繞式真空鍍膜機真空鍍膜機的培訓(xùn)資料。
【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區(qū)電子密度高,進而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個數(shù)量級),濺射速度可達0.1—1 um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前*實用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù) 濺鍍機設(shè)備與工藝濺鍍機由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputter gun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30- 40%,圓柱型靶材料利用率>50% 濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse), 直流:800-1000V(Max)導(dǎo)體用,須可災(zāi)弧。 射頻:13.56MHZ,非導(dǎo)體用。 脈沖:泛用,*新發(fā)展出
【真空鍍膜機之真空泵的安裝和指導(dǎo)】真空泵安裝指導(dǎo) 1、泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實堅固的場所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護、保養(yǎng)。 2、泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保泵運轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動小。 3、泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時應(yīng)qing除管道中焊渣,嚴禁焊渣進入泵腔。) 4、在連接管路中,用戶可在泵進氣口上方安裝閥門及真空計,隨時可檢查泵的極限壓力。 5、按電動機標牌規(guī)定連接電源,并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。 6、泵通電試運轉(zhuǎn)時,須取下電機皮帶,確認泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用,以防泵反轉(zhuǎn)噴油。(轉(zhuǎn)向按防護罩指示方向) 7、對于有冷卻水的泵,按規(guī)定接通冷卻水。 8、如泵口安裝電磁閥時,閥與泵應(yīng)同時動作。 9、當(dāng)泵排出氣體影響工作環(huán)境時,可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器?!?真空鍍膜機的應(yīng)用領(lǐng)域。
【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計原則及常用技術(shù)指標】 真空設(shè)備設(shè)計原則:(1)先功能,后結(jié)構(gòu)。先給出指標參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能;(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整體。再由整體,定局部。(4)先設(shè)計,后校核。由粗到細。 鍍膜機常用技術(shù)指標:鍍膜方法:CVD,PVD(蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍);被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時間、恢復(fù)真空時間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機)膜厚不均勻程度;功率;*高電壓。 錦成國泰真空鍍膜機怎么樣?湖北蒸發(fā)卷繞式真空鍍膜機
真空鍍膜機該如何維修。山東蒸發(fā)卷繞式真空鍍膜機
【如何減少真空鍍膜的灰塵】1、使用的源材料要符合必要的純度要求。2、樣品取出后放置環(huán)境要注意清潔的問題。3、鍍膜一段時間后,真空室內(nèi)壁必須要清潔處理。4、清洗襯底材料,必須要做到嚴格合乎工藝要求。5、工作人員有專門的服裝,操作要戴手套、腳套等。6、適當(dāng)?shù)脑黾迎h(huán)境的濕度,有利于降低周圍環(huán)境的懸浮固體顆粒物。7、技術(shù)上明確允許的*da顆粒尺寸和單位面積顆粒物的數(shù)量的上限da致是多少。8、室內(nèi)空氣流動性低、地面干凈,如果是裸露的水泥地,需要覆蓋處理。墻壁、屋頂不能使用一般的灰質(zhì)涂料粉刷。山東蒸發(fā)卷繞式真空鍍膜機
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