【真空鍍膜機真空系統(tǒng)檢漏法之真空計檢漏法】 常用的真空計檢漏法主要是熱傳導真空計法與電離真空計法。以熱傳導真空計法為例,它是利用低壓下不同氣體種類的熱傳導能力差異與壓力的關系來分析真空系統(tǒng)泄漏情況。使用時,要保證被檢系統(tǒng)處于一個壓力不變的動態(tài)平衡狀態(tài),將示漏氣體噴吹于可疑處(也可能用有機溶劑涂抹,但易吸附、堵塞漏孔,并造成污染)。一旦有漏孔存在,示漏氣體會通過漏孔進入被檢系統(tǒng),因為示漏氣體的熱傳導能力與原系統(tǒng)的氣體成分差異da,會引起明顯的熱傳導性質(zhì)變化,熱傳導真空計的儀表讀數(shù)在原有的平衡基礎上就會發(fā)生波動變化,根據(jù)這些確定漏孔位置并根據(jù)讀數(shù)變化換算漏率da小。相應地,電離真空計法利用的即是示漏氣體進入后導致的離子流變化來進行換算。 真空系統(tǒng)檢漏中應用真空計檢漏法要考慮示漏氣體種類與真空計的特性的配合,選擇示漏氣體對應的特性差異要明顯有別于原有氣體成分,如熱傳導真空計的熱傳導能力、電離真空計的電離電位。其次為便于準確地觀察前后數(shù)據(jù)變化,要保證被檢前被檢系統(tǒng)壓力處于穩(wěn)定的平衡狀態(tài),測量的真空計規(guī)管也要處于穩(wěn)定的狀態(tài),防止虛假數(shù)據(jù)誤導。同時真空計規(guī)管存在惰性,需要觀察足夠的時間。 真空鍍膜機的操作培訓。海南真空鍍膜機排名
【真空鍍膜機檢漏之氣壓檢漏】氣壓檢漏被檢零部件內(nèi)腔充以氣體(一般為空氣),充氣壓力的高低視零部件的強度而定,一般為(2~4)×105帕。充壓后的零部件如發(fā)出明顯的嘶嘶聲,音響源處就是漏孔位置。用這種方法可檢*小漏率為5帕·升/秒的漏孔。如不能用聲音直接察覺漏孔,則用皂液涂于零部件可疑表面處,有氣泡出現(xiàn)處便是漏孔位置。用這種方法*小可檢漏率為5×10-3帕·升/秒的漏孔。此外,還可將充氣的零部件浸在清凈的水槽中,氣泡形成處便是漏孔位置。用水槽顯示漏孔,方便可靠,并能同時全部顯示出漏孔位置。如氣泡小、成泡速度均勻、氣泡持續(xù)時間長,則為1.3×10-2~13帕·升/秒漏率的漏孔。如氣泡da、成泡持續(xù)時間短,則為13~103帕·升/秒漏率的漏孔。四川真空鍍膜機的膜系真空鍍膜機的生產(chǎn)廠家。
【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等*高,Ti,Mo,Ta,W等*低。一般在0.1-10原子/離子。 離子可以直流輝光放電(glow discharge)產(chǎn)生,在10-1—10 Pa真空度,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會轟擊負電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。 正常輝光放電(glow discharge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關。濺鍍時應盡可能維持其穩(wěn)定。 任何材料皆可濺射鍍膜,即使高熔點材料也容易濺鍍,但對非導體靶材須以射頻(RF)或脈沖(pulse)濺射;且因?qū)щ娦暂^差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達10W/cm2,非金屬<5W/cm2。
【真空鍍膜機真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】 靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是*簡單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法,因為它不需要用額外特殊的儀器或者特殊物質(zhì),通過測量規(guī)管就可以檢測真空系統(tǒng)的總漏率,從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單,但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進行了。 靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應的壓力范圍,再關閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計測量記錄真空容器中壓力隨時間的變化過程,即可得出泄漏數(shù)據(jù)。《真空系統(tǒng)抽氣達不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態(tài)升壓法實現(xiàn)的,比較方便。當然在應用過程中,要提高準確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測之前對容器進行凈化清洗并烘干,或者用氮氣進行沖洗。更嚴格一點可以在測量規(guī)管與容器之間設置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對可能存在的漏孔所漏進的空氣不會造成影響。 PVD真空鍍膜機的公司。
【真空鍍膜機清洗工藝之真空加熱清洗】 將工件放置于常壓或真空中加熱.促使其表面上的揮發(fā)雜質(zhì)蒸發(fā)來達到清洗的目的,這種方法的清洗效果與工件的環(huán)境壓力、在真空中保留時間的長短、加熱溫度、污染物的類型及工件材料有關。其原理是加熱工件.促使其表面吸附的水分子和各種碳氫化合物分子的解吸作用增強。解吸增強的程度與溫度有關。在超高真空下,為了得到原子級清潔表面,加熱溫度必高于450度才行.加熱清洗方法特別有效。但有時,這種處理方法也會產(chǎn)生副作用。由于加熱的結果,可能發(fā)生某些碳氫化合物聚合成較da的團粒,并同時分解成碳渣。 真空鍍膜機詳細鍍膜方法。四川連續(xù)式真空鍍膜機
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【真空鍍膜機清洗工藝之紫外線輻照清洗】 利用紫外輻照來分解表面上的碳氫化合物。例如,在空氣中照射15h就可產(chǎn)生清潔的玻璃表面。如果把適當預清洗的表面放在一個產(chǎn)生臭氧的紫外線源中.要不了幾分鐘就可以形成清潔表面(工藝清潔)。這表明臭氧的存在增加了清潔速率。其清洗機理是:在紫外線照射下,污物分子受激并離解,而臭氧的生成和存在產(chǎn)生高活性的原子態(tài)氧。受激的污物分子和由污物離解產(chǎn)生的自由基與原子態(tài)氧作用.形成較簡單易揮發(fā)分子.如H203、CO2和N2.其反應速率隨溫度的增加而增加。 海南真空鍍膜機排名
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