【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場，在此區(qū)電子密度高，進(jìn)而提高離子密度，使得濺鍍率提高(一個數(shù)量級)，濺射速度可達(dá)0.1—1 um/min膜層附著力較蒸鍍佳，是目前*實(shí)用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù) 濺鍍機(jī)設(shè)備與工藝濺鍍機(jī)由真空室，排氣系統(tǒng)，濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang（sputter gun）。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型，其中平面型分為矩型和圓型，靶材料利用率30- 40%，圓柱型靶材料利用率>50% 濺射電源分為：直流（DC）、射頻（RF）、脈沖（pulse）， 直流：800-1000V（Max）導(dǎo)體用，須可災(zāi)弧。 射頻：13.56MHZ，非導(dǎo)體用。 脈沖：泛用，*新發(fā)展出 真空鍍膜機(jī)的工作原理和構(gòu)成。湖北真空鍍膜機(jī)常見問題與解決辦法

【真空鍍膜機(jī)常見故障】: 一、 當(dāng)正在鍍膜室真空突然下降 1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈） 2. 坩堝被打穿（更換坩堝） 3. 高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈） 4. 工轉(zhuǎn)動密封處膠圈損壞（更換膠圈） 5. 預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥） 6. 高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥） 7. 機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開（檢查繼電器是否工作正常） 8. 烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈） 9. 擋板動密封處膠圈損壞（更換膠圈） 10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃） 二、長期工作的鍍膜機(jī)抽真空的時間很長且達(dá)不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空： 1. 蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清洗） 2. 擴(kuò)散泵很久未換油（應(yīng)清洗換油） 3. 前級泵反壓強(qiáng)da太機(jī)械泵真空度太低（應(yīng)清洗換油） 4. 各動密封膠圈損壞（更換膠圈） 5. 由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈） 6. 蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈） 7. 各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象（重新壓緊） 8. 高低預(yù)閥是否密封可靠（注油） 海南實(shí)驗(yàn)室用真空鍍膜機(jī)成都真空鍍膜機(jī)的生產(chǎn)廠家。

【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法普及之熒光檢漏法】 熒光檢漏法首先需要將熒光材料溶于如丙tong等一些浸潤性能好、易于揮發(fā)的有機(jī)溶劑中，使之成為飽和溶液；然后將被檢的真空部件外表面浸泡到溶液中或涂抹到部件表面，這一過程中，為了提升效果、縮短浸泡時間，可以在抽真空或者加壓條件下對其進(jìn)行浸泡。如果存在漏孔，熒光劑溶液會因毛細(xì)作用滲入到其中；qing除表面多余的溶液，待有機(jī)溶劑揮發(fā)后，熒光材料便會在漏孔中殘留下來；此時再用紫外線燈光照射，漏孔位置就會觀察到明顯的熒光點(diǎn)。 在進(jìn)行紫外光源照射時，對于一些存在盲孔、表面不平的器件，可能也會存在殘留熒光材料，因此玻璃真空器件*好在背面進(jìn)行照射觀察；為了提高對比度也可以采用濾光放da鏡，過濾掉紫外線以外的其他光線，來獲得更佳的觀察效果；而在熒光材料的選擇時要注意其發(fā)光顏色和被檢真空部件的顏色要有明顯的反差。 熒光檢漏法不僅用于真空系統(tǒng)檢漏中，而且也被用于鑄件、模壓金屬件以及焊接件的裂紋檢查等。

【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計原則及常用技術(shù)指標(biāo)】 真空設(shè)備設(shè)計原則：(1)先功能，后結(jié)構(gòu)。先給出指標(biāo)參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能；(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距；(3)先局部，后整體。再由整體，定局部。(4)先設(shè)計，后校核。由粗到細(xì)。 鍍膜機(jī)常用技術(shù)指標(biāo)：鍍膜方法：CVD，PVD（蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍）；被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時間、恢復(fù)真空時間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機(jī))膜厚不均勻程度;功率;*高電壓。 真空鍍膜機(jī)的工作原理。

【真空鍍膜機(jī)常見故障之旋片泵故障及處理方法】 1、未做保養(yǎng)導(dǎo)致灰塵太多。真空鍍膜設(shè)備在鍍膜過程中容易產(chǎn)生da量灰塵，這些灰塵伴隨空氣容易混雜到泵油中，時間久了容易對轉(zhuǎn)子及泵腔造成磨損及破壞。 處理方法：如果灰塵不多，可以油過濾系統(tǒng)除掉灰塵；如果灰塵過多可以用除塵器配合油過濾系統(tǒng)除掉灰塵。 2、旋片式真空泵冒煙和噴油：指旋片式真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)中排氣口冒煙或者噴油，冒煙。處理方法：冒煙闡明泵的進(jìn)氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的狀況。 3、噴油，闡明進(jìn)氣口外有da量的漏點(diǎn)，以至是進(jìn)氣口暴露da氣。處理方法：封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，假如不噴油的話，闡明有漏點(diǎn)；排氣閥片損壞，檢查排氣閥片能否損壞，改換壞的排氣閥片。 4、被抽氣體的溫度可能過高。處理方法：降低被抽氣體的溫度，或能夠加一個相應(yīng)的換熱器。 5、配合的間隙改da。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，形成旋片和定子之間磨損后的間隙增da。處理方法：檢查間隙能否過da，改換新的零部件。 6、泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒有堅持一定量的油量。處理方法：檢查油路能否暢通，并加同類型的真空泵油。 真空鍍膜機(jī)怎么保養(yǎng)？云南熱蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)

真空鍍膜機(jī)大概多少錢一臺？湖北真空鍍膜機(jī)常見問題與解決辦法

【不同類型鍍膜機(jī)應(yīng)用范圍介紹】不同類型鍍膜機(jī)的適用范圍介紹 1. 磁控濺射鍍膜設(shè)備：應(yīng)用于信息存儲領(lǐng)域，如磁信息存儲、磁光信息存儲等 2. 磁控濺射鍍膜機(jī)：應(yīng)用于防護(hù)涂層，如飛機(jī)發(fā)動機(jī)的葉片、汽車鋼板、散熱片等 3. 磁控濺射鍍Al膜生產(chǎn)線：應(yīng)用于太陽能利用領(lǐng)域，如太陽能集熱管、太陽能電池等 4. AZO透明導(dǎo)電膜磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線：應(yīng)用于信息顯示領(lǐng)域，如液晶屏、等離子屏等 5. 觸摸屏連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線：應(yīng)用于觸摸屏領(lǐng)域，如手機(jī)、電腦、MP4等數(shù)碼產(chǎn)品屏幕等。 6. 磁控中頻多弧離子鍍膜設(shè)備：應(yīng)用于硬質(zhì)涂層，如切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。 7. PECVD磁控生產(chǎn)線：應(yīng)用于集成電路制造，如薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。 8. 蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備：應(yīng)用于在裝飾飾品上，如手機(jī)殼、表殼、眼鏡架、五金、小飾品等鍍膜。 9. 低輻射玻璃鍍膜生產(chǎn)線：應(yīng)用于建筑玻璃方面，如陽光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等。 10. 抗反射導(dǎo)電膜連續(xù)磁控濺射生產(chǎn)線：應(yīng)用于電子產(chǎn)品領(lǐng)域，如液晶顯示器、液晶電視、MP4、車載顯示、手機(jī)顯示、數(shù)碼相機(jī)和掌上電腦等。 湖北真空鍍膜機(jī)常見問題與解決辦法

成都國泰真空設(shè)備有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備，是一家生產(chǎn)型公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋光學(xué)鍍膜設(shè)備，真空鍍膜設(shè)備，光學(xué)真空鍍膜機(jī)，紅外鍍膜設(shè)備等，價格合理，品質(zhì)有保證。公司注重以質(zhì)量為中心，以服務(wù)為理念，秉持誠信為本的理念，打造機(jī)械及行業(yè)設(shè)備良好品牌。國泰真空憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來的聲譽(yù)和口碑，讓企業(yè)發(fā)展再上新高。