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【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區(qū)電子密度高,進而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個數(shù)量級),濺射速度可達0.1—1 um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前*實用的鍍膜技術之一。其它有偏壓濺射、反應濺射、離子束濺射等鍍膜技術 濺鍍機設備與工藝濺鍍機由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang(sputter gun)。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30- 40%,圓柱型靶材料利用率>50% 濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse), 直流:800-1000V(Max)導體用,須可災弧。 射頻:13.56MHZ,非導體用。 脈沖:泛用,*新發(fā)展出 真空鍍膜機的工作原理和構成。湖北真空鍍膜機常見問題與解決辦法
【真空鍍膜機常見故障】: 一、 當正在鍍膜室真空突然下降 1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞(更換膠圈) 2. 坩堝被打穿(更換坩堝) 3. 高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈) 4. 工轉動密封處膠圈損壞(更換膠圈) 5. 預閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 6. 高閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 7. 機械泵停機可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常) 8. 烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠圈) 9. 擋板動密封處膠圈損壞(更換膠圈) 10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂(更換玻璃) 二、長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復真空、極限真空、保真空: 1. 蒸發(fā)室有很多粉塵(應清洗) 2. 擴散泵很久未換油(應清洗換油) 3. 前級泵反壓強da太機械泵真空度太低(應清洗換油) 4. 各動密封膠圈損壞(更換膠圈) 5. 由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化(更換膠圈) 6. 蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞(更換膠圈) 7. 各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象(重新壓緊) 8. 高低預閥是否密封可靠(注油) 海南實驗室用真空鍍膜機成都真空鍍膜機的生產(chǎn)廠家。
【真空鍍膜機真空檢漏方法普及之熒光檢漏法】 熒光檢漏法首先需要將熒光材料溶于如丙tong等一些浸潤性能好、易于揮發(fā)的有機溶劑中,使之成為飽和溶液;然后將被檢的真空部件外表面浸泡到溶液中或涂抹到部件表面,這一過程中,為了提升效果、縮短浸泡時間,可以在抽真空或者加壓條件下對其進行浸泡。如果存在漏孔,熒光劑溶液會因毛細作用滲入到其中;qing除表面多余的溶液,待有機溶劑揮發(fā)后,熒光材料便會在漏孔中殘留下來;此時再用紫外線燈光照射,漏孔位置就會觀察到明顯的熒光點。 在進行紫外光源照射時,對于一些存在盲孔、表面不平的器件,可能也會存在殘留熒光材料,因此玻璃真空器件*好在背面進行照射觀察;為了提高對比度也可以采用濾光放da鏡,過濾掉紫外線以外的其他光線,來獲得更佳的觀察效果;而在熒光材料的選擇時要注意其發(fā)光顏色和被檢真空部件的顏色要有明顯的反差。 熒光檢漏法不僅用于真空系統(tǒng)檢漏中,而且也被用于鑄件、模壓金屬件以及焊接件的裂紋檢查等。
【真空鍍膜設備設計原則及常用技術指標】 真空設備設計原則:(1)先功能,后結構。先給出指標參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能;(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整體。再由整體,定局部。(4)先設計,后校核。由粗到細。 鍍膜機常用技術指標:鍍膜方法:CVD,PVD(蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復合鍍);被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術參數(shù);設備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時間、恢復真空時間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機)膜厚不均勻程度;功率;*高電壓。 真空鍍膜機的工作原理。
【真空鍍膜機常見故障之旋片泵故障及處理方法】 1、未做保養(yǎng)導致灰塵太多。真空鍍膜設備在鍍膜過程中容易產(chǎn)生da量灰塵,這些灰塵伴隨空氣容易混雜到泵油中,時間久了容易對轉子及泵腔造成磨損及破壞。 處理方法:如果灰塵不多,可以油過濾系統(tǒng)除掉灰塵;如果灰塵過多可以用除塵器配合油過濾系統(tǒng)除掉灰塵。 2、旋片式真空泵冒煙和噴油:指旋片式真空泵在運轉中排氣口冒煙或者噴油,冒煙。處理方法:冒煙闡明泵的進氣口外,包括管道、閥門、容器有修理的狀況。 3、噴油,闡明進氣口外有da量的漏點,以至是進氣口暴露da氣。處理方法:封住泵的進氣口使泵運轉,假如不噴油的話,闡明有漏點;排氣閥片損壞,檢查排氣閥片能否損壞,改換壞的排氣閥片。 4、被抽氣體的溫度可能過高。處理方法:降低被抽氣體的溫度,或能夠加一個相應的換熱器。 5、配合的間隙改da。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等,形成旋片和定子之間磨損后的間隙增da。處理方法:檢查間隙能否過da,改換新的零部件。 6、泵內(nèi)的油路不通或者不暢,泵腔內(nèi)沒有堅持一定量的油量。處理方法:檢查油路能否暢通,并加同類型的真空泵油。 真空鍍膜機怎么保養(yǎng)?云南熱蒸發(fā)真空鍍膜機
真空鍍膜機大概多少錢一臺?湖北真空鍍膜機常見問題與解決辦法
【不同類型鍍膜機應用范圍介紹】不同類型鍍膜機的適用范圍介紹 1. 磁控濺射鍍膜設備:應用于信息存儲領域,如磁信息存儲、磁光信息存儲等 2. 磁控濺射鍍膜機:應用于防護涂層,如飛機發(fā)動機的葉片、汽車鋼板、散熱片等 3. 磁控濺射鍍Al膜生產(chǎn)線:應用于太陽能利用領域,如太陽能集熱管、太陽能電池等 4. AZO透明導電膜磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線:應用于信息顯示領域,如液晶屏、等離子屏等 5. 觸摸屏連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線:應用于觸摸屏領域,如手機、電腦、MP4等數(shù)碼產(chǎn)品屏幕等。 6. 磁控中頻多弧離子鍍膜設備:應用于硬質(zhì)涂層,如切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。 7. PECVD磁控生產(chǎn)線:應用于集成電路制造,如薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。 8. 蒸發(fā)式真空鍍膜設備:應用于在裝飾飾品上,如手機殼、表殼、眼鏡架、五金、小飾品等鍍膜。 9. 低輻射玻璃鍍膜生產(chǎn)線:應用于建筑玻璃方面,如陽光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等。 10. 抗反射導電膜連續(xù)磁控濺射生產(chǎn)線:應用于電子產(chǎn)品領域,如液晶顯示器、液晶電視、MP4、車載顯示、手機顯示、數(shù)碼相機和掌上電腦等。 湖北真空鍍膜機常見問題與解決辦法
成都國泰真空設備有限公司致力于機械及行業(yè)設備,是一家生產(chǎn)型公司。公司業(yè)務涵蓋光學鍍膜設備,真空鍍膜設備,光學真空鍍膜機,紅外鍍膜設備等,價格合理,品質(zhì)有保證。公司注重以質(zhì)量為中心,以服務為理念,秉持誠信為本的理念,打造機械及行業(yè)設備良好品牌。國泰真空憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務、眾多的成功案例積累起來的聲譽和口碑,讓企業(yè)發(fā)展再上新高。