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河南光學(xué)鍍膜機(jī)的真空捕集泵作用

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-03-10

    【光學(xué)鍍膜之何為化學(xué)氣相蒸鍍,主要的優(yōu)缺點(diǎn)有哪些】化學(xué)氣相蒸鍍乃使用一種或多種氣體,在一加熱的固體基材上發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并鍍上一層固態(tài)薄膜。優(yōu)點(diǎn):(1)真空度要求不高,甚至可以不需要真空,例如熱噴覆(2)沉積速率快,大氣CVD可以達(dá)到1μm/min(3)與PVD比較的話(huà)。化學(xué)量論組成或合金的鍍膜較容易達(dá)成(4)鍍膜的成份多樣化,如金屬、非金屬、半導(dǎo)體、光電材料、鉆石薄膜等等(5)可以在復(fù)雜形狀的基材鍍膜,甚至滲入多孔的陶瓷(6)厚度的均勻性良好,低壓CVD甚至可以同時(shí)鍍數(shù)十芯片缺點(diǎn):(1)熱力學(xué)及化學(xué)反應(yīng)機(jī)制不易了解或不甚了解(2)需要在高溫下進(jìn)行,有些基材不能承受,甚至和鍍膜產(chǎn)生作用(3)反應(yīng)氣體可能具腐蝕性、毒性或baozha性,處理時(shí)需小心(4)反應(yīng)生成物可能殘余在鍍膜上,成為雜質(zhì)。 光學(xué)鍍膜機(jī)類(lèi)型推薦。河南光學(xué)鍍膜機(jī)的真空捕集泵作用

真空鍍膜和光學(xué)鍍膜有什么區(qū)別:一、概念的區(qū)別1、真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。2、光學(xué)鍍膜是指在光學(xué)零件表面上鍍上一層(或多層)金屬(或介質(zhì))薄膜的工藝過(guò)程。在光學(xué)零件表面鍍膜的目的是為了達(dá)到減少或增加光的反射、分束、分色、濾光、偏振等要求。常用的鍍膜法有真空鍍膜(物理鍍膜的一種)和化學(xué)鍍膜。新疆卷繞式磁控光學(xué)鍍膜機(jī)光學(xué)鍍膜機(jī)的升級(jí)改造。

【減反射膜的原理】 減反射膜是以光的波動(dòng)性和干涉現(xiàn)象為基礎(chǔ)的。二個(gè)振幅相同,波長(zhǎng)相同的光波疊加,那么光波的振幅增強(qiáng);如果二個(gè)光波原由相同,波程相差,如果這二個(gè)光波疊加,那么互相抵消了。 1)振幅條件:膜層材料的折射率必須等于鏡片片基材料折射率的平方根。 2)位相條件:膜層厚度應(yīng)為基準(zhǔn)光的1/4波長(zhǎng)。d=λ/4 λ=555nm時(shí),d=555/4=139nm 對(duì)于減反射膜層,許多眼鏡片生產(chǎn)商采用人眼敏感度較高的光波(波長(zhǎng)為555nm)。當(dāng)鍍膜的厚度過(guò)薄(〈139nm),反射光會(huì)顯出淺棕黃色,如果呈藍(lán)色則表示鍍膜的厚度過(guò)厚( 〉139nm)。鍍膜反射膜層的目的是要減少光線(xiàn)的反射,但并不可能做到?jīng)]有反射光線(xiàn)。鏡片的表面也總會(huì)有殘留的顏色,我們也會(huì)發(fā)現(xiàn)殘留顏色在鏡片凸面與凹面的曲率不同也使鍍膜的速度不同,因此在鏡片中yang部分呈綠色,而在邊緣部分則為淡紫紅色或其它顏色。 3)鍍減反射膜技術(shù) :有機(jī)鏡片鍍膜的難度要比玻璃鏡片高。玻璃材料能夠承受300 °C以上的高溫,而有機(jī)鏡片在超過(guò)100 °C時(shí)便會(huì)發(fā)黃,隨后很快分解。

【光學(xué)鍍膜之什么是蒸發(fā)鍍】通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱(chēng)為蒸發(fā)鍍膜。蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源,待鍍工件,如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后,加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。 薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時(shí)(或決定于裝料量),并與源和基片的距離有關(guān)。對(duì)于大面積鍍膜,常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發(fā)源到基片的距離應(yīng)小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程,以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學(xué)作用。蒸氣分子平均動(dòng)能約為0.1~0.2電子伏。電子束蒸發(fā)光學(xué)鍍膜機(jī)是什么?

【光學(xué)鍍膜之反射膜】反射膜一般可分為兩類(lèi),一類(lèi)是金屬反射膜,一類(lèi)是全電介質(zhì)反射膜。此外,還有將兩者結(jié)合的金屬電介質(zhì)反射膜,功能是增加光學(xué)表面的反射率。 一般金屬都具有較大的消光系數(shù)。當(dāng)光束由空氣入射到金屬表面時(shí),進(jìn)入金屬內(nèi)的光振幅迅速衰減,使得進(jìn)入金屬內(nèi)部的光能相應(yīng)減少,而反射光能增加。消光系數(shù)越大,光振幅衰減越迅速,進(jìn)入金屬內(nèi)部的光能越少,反射率越高。人們總是選擇消光系數(shù)較大,光學(xué)性質(zhì)較穩(wěn)定的金屬作為金屬膜材料。在紫外區(qū)常用的金屬薄材料是鋁,在可見(jiàn)光區(qū)常用鋁和銀,在紅外區(qū)常用金、銀和銅,此外,鉻和鉑也常作一些特種薄膜的膜料。由于鋁、銀、銅等材料在空氣中很容易氧化而降低性能,所以必須用電介質(zhì)膜加以保護(hù)。常用的保護(hù)膜材料有一氧化硅、氟化鎂、二氧化硅、三氧化二鋁等。 金屬反射膜的優(yōu)點(diǎn)是制備工藝簡(jiǎn)單,工作的波長(zhǎng)范圍寬;缺點(diǎn)是光損大,反射率不可能很高。為了使金屬反射膜的反射率進(jìn)一步提高,可以在膜的外側(cè)加鍍幾層一定厚度的電介質(zhì)層,組成金屬電介質(zhì)反射膜。需要指出的是,金屬電介質(zhì)射膜增加了某一波長(zhǎng)(或者某一波區(qū))的反射率,卻破壞了金屬膜中性反射的特點(diǎn)。光學(xué)鍍膜機(jī)的培訓(xùn)資料。湖南真空光學(xué)鍍膜機(jī)

光學(xué)鍍膜機(jī)怎么保養(yǎng)?河南光學(xué)鍍膜機(jī)的真空捕集泵作用

【光學(xué)鍍膜之CVD化學(xué)氣相沉積法反應(yīng)可以分為哪些步驟】 (1)不同成份氣相前置反應(yīng)物由主流氣體進(jìn)來(lái),以擴(kuò)散機(jī)制傳輸基板表面。理想狀況下,前置物在基板上的濃度是零,亦即在基板上立刻反應(yīng),實(shí)際上并非如此。 (2)前置反應(yīng)物吸附在基板上,此時(shí)仍容許該前置物在基板上進(jìn)行有限程度的表面橫向移動(dòng)。 (3)前置物在基板上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),產(chǎn)生沉積物的化學(xué)分子,然后經(jīng)積聚成核、遷移、成長(zhǎng)等步驟,*后聯(lián)合一連續(xù)的膜。 (4)把多余的前置物以及未成核的氣體生成物去吸附。 (5)被去吸附的氣體,以擴(kuò)散機(jī)制傳輸?shù)街髁鳉庀?,并?jīng)傳送排出。河南光學(xué)鍍膜機(jī)的真空捕集泵作用

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