【真空鍍膜機常見故障之旋片泵故障及處理方法】1、未做保養(yǎng)導(dǎo)致灰塵太多。真空鍍膜設(shè)備在鍍膜過程中容易產(chǎn)生da量灰塵，這些灰塵伴隨空氣容易混雜到泵油中，時間久了容易對轉(zhuǎn)子及泵腔造成磨損及破壞。處理方法：如果灰塵不多，可以油過濾系統(tǒng)除掉灰塵；如果灰塵過多可以用除塵器配合油過濾系統(tǒng)除掉灰塵。2、旋片式真空泵冒煙和噴油：指旋片式真空泵在運轉(zhuǎn)中排氣口冒煙或者噴油，冒煙。處理方法：冒煙闡明泵的進氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的狀況。3、噴油，闡明進氣口外有da量的漏點，以至是進氣口暴露da氣。處理方法：封住泵的進氣口使泵運轉(zhuǎn)，假如不噴油的話，闡明有漏點；排氣閥片損壞，檢查排氣閥片能否損壞，改換壞的排氣閥片。4、被抽氣體的溫度可能過高。處理方法：降低被抽氣體的溫度，或能夠加一個相應(yīng)的換熱器。5、配合的間隙改da。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，形成旋片和定子之間磨損后的間隙增da。處理方法：檢查間隙能否過da，改換新的零部件。6、泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒有堅持一定量的油量。處理方法：檢查油路能否暢通，并加同類型的真空泵油。廣東真空鍍膜機廠家。貴州光學(xué)薄膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)

【真空鍍膜設(shè)備維修保養(yǎng)技術(shù)】一、當鍍膜設(shè)備工作完成到兩百個鍍膜的時候，拆出密封圈，及時清潔設(shè)備環(huán)境（室內(nèi)環(huán)境）。如何清潔保養(yǎng)？首先我們要使鍍上去的膜層掉落，同時釋放氫氣，清洗過程中要注意所使用到的溶液會灼傷人體的皮膚，所以通常我們要小心謹慎用堿飽和溶液不斷來回清洗真空適合內(nèi)部（內(nèi)壁），再用清水洗刷真空室，并通過抹布沾上汽油擦拭抽閥里面的污漬。二、當閥泵連續(xù)工作一個月之后，為保持設(shè)備的正常運轉(zhuǎn)我們需要更換油。將泵啟動，擰開放油螺栓，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，觀察油視鏡倒入新油加到一定額度，平常換油時應(yīng)將油蓋打開，有需要時用布擦干凈箱內(nèi)污垢。三、擴散泵連續(xù)使用6個月以上，抽的速度會顯然變慢，當操作不當應(yīng)拆去聯(lián)結(jié)水管，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽，加入新擴散泵油，并裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。首先啟動維持泵，關(guān)好da門，數(shù)分鐘后，觀察擴散泵部分真空度是否達到標準，否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處的密封圈是否正常。貴州光學(xué)薄膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)關(guān)于真空鍍膜機，你知道多少？

【真空鍍膜之磁控濺射】在陰極靶表面形成一正交電磁場，在此區(qū)電子密度高，進而提高離子密度，使得濺鍍率提高(一個數(shù)量級)，濺射速度可達0.1—1um/min膜層附著力較蒸鍍佳，是目前實用的鍍膜技術(shù)之一。其它有偏壓濺射、反應(yīng)濺射、離子束濺射等鍍膜技術(shù)濺鍍機設(shè)備與工藝濺鍍機由真空室，排氣系統(tǒng)，濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射qiang（sputtergun）。磁控濺射qiang分為平面型和圓柱型，其中平面型分為矩型和圓型，靶材料利用率30-40%，圓柱型靶材料利用率>50%濺射電源分為：直流（DC）、射頻（RF）、脈沖（pulse），直流：800-1000V（Max）導(dǎo)體用，須可災(zāi)弧。射頻：13.56MHZ，非導(dǎo)體用。脈沖：泛用，新發(fā)展出

【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料，把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點是基片相對于離子源和靶是du立的，它的溫度可以單獨控制?；ǔ＝拥匚唬桶信c高頻電路無關(guān)，不會象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊，因而溫度較低。所以只要配置一臺較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型，控溫范圍為-10℃~50℃，精度≤0。5℃)，實現(xiàn)對樣品臺的單獨控溫，就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進行適當調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設(shè)備的構(gòu)造，設(shè)計、加工了專門的金屬樣品架，放上樣品后蓋上金屬壓片，用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺上，可使樣品和控溫的樣品臺有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個測溫鉑電阻，用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊，再用導(dǎo)線引出與高精度的萬用表相連，以監(jiān)測薄膜生長過程中的樣品溫度。真空鍍膜機的生產(chǎn)廠家。

【真空鍍膜機清洗工藝之真空加熱清洗】將工件放置于常壓或真空中加熱．促使其表面上的揮發(fā)雜質(zhì)蒸發(fā)來達到清洗的目的，這種方法的清洗效果與工件的環(huán)境壓力、在真空中保留時間的長短、加熱溫度、污染物的類型及工件材料有關(guān)。其原理是加熱工件．促使其表面吸附的水分子和各種碳氫化合物分子的解吸作用增強。解吸增強的程度與溫度有關(guān)。在超高真空下，為了得到原子級清潔表面，加熱溫度必高于450度才行．加熱清洗方法特別有效。但有時，這種處理方法也會產(chǎn)生副作用。由于加熱的結(jié)果，可能發(fā)生某些碳氫化合物聚合成較da的團粒，并同時分解成碳渣。真空鍍膜機參數(shù)怎么調(diào)？吉林塑膠鍍膜空心陰極霍爾離子源

真空鍍膜機品牌有很多，你如何選擇？貴州光學(xué)薄膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)

【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計原則及常用技術(shù)指標】真空設(shè)備設(shè)計原則：(1)先功能，后結(jié)構(gòu)。先給出指標參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能；(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距；(3)先局部，后整體。再由整體，定局部。(4)先設(shè)計，后校核。由粗到細。鍍膜機常用技術(shù)指標：鍍膜方法：CVD，PVD（蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍）；被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時間、恢復(fù)真空時間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機)膜厚不均勻程度;功率;高電壓。貴州光學(xué)薄膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)

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