【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料,把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點(diǎn)是基片相對于離子源和靶是du立的,它的溫度可以單獨(dú)控制?;ǔ=拥匚唬桶信c高頻電路無關(guān),不會象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊,因而溫度較低。所以只要配置一臺較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型,控溫范圍為-10℃~50℃,精度≤0。5℃),實(shí)現(xiàn)對樣品臺的單獨(dú)控溫,就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設(shè)備的構(gòu)造,設(shè)計(jì)、加工了專門的金屬樣品架,放上樣品后蓋上金屬壓片,用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺上,可使樣品和控溫的樣品臺有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個(gè)測溫鉑電阻,用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊,再用導(dǎo)線引出與高精度的萬用表相連,以監(jiān)測薄膜生長過程中的樣品溫度。真空鍍膜機(jī)抽真空步驟。上海真空鍍膜射頻離子源廠家
【真空鍍膜設(shè)備之真空的獲得】:真空泵:真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣fan用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。A、粗真空泵(RoughVacuumPump):一般用于抽粗真空,有油泵和干泵。從結(jié)構(gòu)上可分幾種:旋轉(zhuǎn)葉片泵:油泵,極限真空可達(dá)10&3Torr,抽速1~650CFM隔膜泵:干泵,極限真空1Torr左右,抽速<10CFM往復(fù)式活塞泵:干泵,極限真空10&2Torr,抽速6~32CFM渦旋式真空泵:干泵,極限真空10&2Torr,抽速12~25CFM螺旋泵:干泵,極限真空10&3Torr,抽速30~318CFM四川大直徑射頻離子源源頭實(shí)力廠家真空鍍膜機(jī)的工作原理和構(gòu)成。
【真空鍍膜機(jī)常見故障之旋片泵故障及處理方法】1、未做保養(yǎng)導(dǎo)致灰塵太多。真空鍍膜設(shè)備在鍍膜過程中容易產(chǎn)生da量灰塵,這些灰塵伴隨空氣容易混雜到泵油中,時(shí)間久了容易對轉(zhuǎn)子及泵腔造成磨損及破壞。處理方法:如果灰塵不多,可以油過濾系統(tǒng)除掉灰塵;如果灰塵過多可以用除塵器配合油過濾系統(tǒng)除掉灰塵。2、旋片式真空泵冒煙和噴油:指旋片式真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)中排氣口冒煙或者噴油,冒煙。處理方法:冒煙闡明泵的進(jìn)氣口外,包括管道、閥門、容器有修理的狀況。3、噴油,闡明進(jìn)氣口外有da量的漏點(diǎn),以至是進(jìn)氣口暴露da氣。處理方法:封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn),假如不噴油的話,闡明有漏點(diǎn);排氣閥片損壞,檢查排氣閥片能否損壞,改換壞的排氣閥片。4、被抽氣體的溫度可能過高。處理方法:降低被抽氣體的溫度,或能夠加一個(gè)相應(yīng)的換熱器。5、配合的間隙改da。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等,形成旋片和定子之間磨損后的間隙增da。處理方法:檢查間隙能否過da,改換新的零部件。6、泵內(nèi)的油路不通或者不暢,泵腔內(nèi)沒有堅(jiān)持一定量的油量。處理方法:檢查油路能否暢通,并加同類型的真空泵油。
【真空鍍膜機(jī)之卷繞式鍍膜機(jī)】鍍膜產(chǎn)品廣fan用于裝飾、包裝、電容器等領(lǐng)域中,可鍍光學(xué)、電學(xué)、電磁、導(dǎo)電等多種薄膜。所用基材有PE、PET、PI、PP、OPP、BOPP、紙、泡沫塑料及布等。一般塑料基薄膜材料含水量為1%~2%,紙含水量更da,一般為5%-7%,經(jīng)涂布烘干后,含水量仍有3%。由于基材含水量高,故鍍膜室由初始的單室發(fā)展到目前雙室或多室結(jié)構(gòu)。蒸發(fā)源可以是電阻式、感應(yīng)式、電子柬式以及磁控濺射式。雙室結(jié)構(gòu)應(yīng)用普遍,其優(yōu)點(diǎn)是:①可以蒸鍍放氣量較da的紙基材,并能保障鍍膜質(zhì)量。紙放出的da量氣體從卷繞室中被排走。由于卷繞室與蒸鍍室之間隔板窄縫很小,使放出來的氣體不易進(jìn)入蒸鍍室中;②單室結(jié)構(gòu)必須配置較da的排氣系統(tǒng)才能保障蒸鍍時(shí)的工作壓力,而雙室結(jié)構(gòu)中的蒸鍍室氣體量較小,可配小型抽氣機(jī)組,使設(shè)備成本降低,并節(jié)約能源;③卷繞室與蒸鍍室分別抽氣,可縮短抽氣時(shí)間。卷繞式真空鍍膜機(jī)在結(jié)構(gòu)上除了有一般鍍膜機(jī)所有的結(jié)構(gòu)外,必須有一個(gè)為了實(shí)現(xiàn)連續(xù)鍍膜而設(shè)置的卷繞機(jī)構(gòu)。由于被鍍基體是紙或塑料,放氣量較da,因此,在真空室的結(jié)構(gòu)上又有單室和多室之分。真空鍍膜機(jī)廠家排名。
【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)原則及常用技術(shù)指標(biāo)】真空設(shè)備設(shè)計(jì)原則:(1)先功能,后結(jié)構(gòu)。先給出指標(biāo)參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能;(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整體。再由整體,定局部。(4)先設(shè)計(jì),后校核。由粗到細(xì)。鍍膜機(jī)常用技術(shù)指標(biāo):鍍膜方法:CVD,PVD(蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍);被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時(shí)間、恢復(fù)真空時(shí)間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機(jī))膜厚不均勻程度;功率;高電壓。真空鍍膜機(jī)廠家qian十。甘肅光學(xué)鍍膜射頻離子源廠家
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成都國泰真空設(shè)備有限公司是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),公司位于成都海峽兩岸科技產(chǎn)業(yè)開發(fā)園科林西路618號,成立于2013-06-26。公司秉承著技術(shù)研發(fā)、客戶優(yōu)先的原則,為國內(nèi)光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備的產(chǎn)品發(fā)展添磚加瓦。主要經(jīng)營光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備等產(chǎn)品服務(wù),現(xiàn)在公司擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富的研發(fā)設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì),對于產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)要求極為嚴(yán)格,完全按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)和生產(chǎn)。成都國泰真空設(shè)備有限公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)不斷緊跟光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢,研發(fā)與改進(jìn)新的產(chǎn)品,從而保證公司在新技術(shù)研發(fā)方面不斷提升,確保公司產(chǎn)品符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和要求。成都國泰真空設(shè)備有限公司注重以人為本、團(tuán)隊(duì)合作的企業(yè)文化,通過保證光學(xué)鍍膜設(shè)備,真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)真空鍍膜機(jī),紅外鍍膜設(shè)備產(chǎn)品質(zhì)量合格,以誠信經(jīng)營、用戶至上、價(jià)格合理來服務(wù)客戶。建立一切以客戶需求為前提的工作目標(biāo),真誠歡迎新老客戶前來洽談業(yè)務(wù)。