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遼寧離子束輔助沉積射頻離子源生產(chǎn)廠家

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-03-18

【真空鍍膜設(shè)備的正常工作條件】1、環(huán)境溫度:10~30℃2、相對(duì)濕度:不da于70%3、冷卻水進(jìn)水溫度:不高于25℃4、冷卻水質(zhì):城市自來水或質(zhì)量相當(dāng)?shù)乃?、供電電壓:380V,三相50Hz或220V,單相50Hz(由所用電器需要而定),電壓波動(dòng)范圍342~399V或198V~231V,頻率波動(dòng)范圍49~51Hz;6、設(shè)備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應(yīng)在產(chǎn)品使用說明書上寫明。7、設(shè)備周圍環(huán)境整潔、空氣清潔,不應(yīng)有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導(dǎo)電的塵?;驓怏w存在。此外,真空鍍膜設(shè)備所在實(shí)驗(yàn)室或車間應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。地面為水磨石或木質(zhì)涂漆地面、無塵埃。為防止機(jī)械泵工作時(shí)排出的氣體對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的污染,可采用在泵的排氣口上面裝設(shè)排氣管道(金屬、橡膠管)的辦法,將氣體排出室外。真空鍍膜機(jī)的生產(chǎn)廠家。遼寧離子束輔助沉積射頻離子源生產(chǎn)廠家

【真空鍍膜機(jī)有哪些污染源】真空鍍膜機(jī)是由許多精密的零部件所組成的,這些零部件均經(jīng)過許多機(jī)械加工流程而制作出來,如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因?yàn)橛辛诉@些工作,導(dǎo)致設(shè)備零部件表面不可避免地會(huì)沾染一些加工帶來的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā),從而對(duì)設(shè)備的極限真空造成影響。此外,這些機(jī)械加工帶來的真空污染物在da氣壓環(huán)境中吸附da量的氣體,而到了真空狀態(tài)下,這些原先吸附的氣體也會(huì)被再次釋放出來,成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一da主要因素。1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā),將導(dǎo)致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜,對(duì)其絕緣強(qiáng)度有一定的損壞,對(duì)其測(cè)量的準(zhǔn)確性也有一定的影響;2、由于高溫蒸發(fā),會(huì)使真空中的電子qiang的燈絲附近表面形成一層金屬膜;3、由于工件濺射,離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會(huì)被濺散物所污染;4、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的內(nèi)壁會(huì)被其蒸鍍靶材材料污染;5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng),該系統(tǒng)會(huì)受蒸發(fā)出來的物質(zhì)所污染;6、真空鍍膜設(shè)備中的擴(kuò)散泵油、機(jī)械泵油等更是一da主要污染來源,鍍膜機(jī)長(zhǎng)期工作后,設(shè)備內(nèi)部可能會(huì)形成一層油膜。遼寧離子束輔助沉積射頻離子源生產(chǎn)廠家真空鍍膜機(jī)技術(shù)教程。

【機(jī)械泵分類】機(jī)械泵有很多種,常用的有滑閥式、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式四種類型。機(jī)械泵是從da氣開始工作的,它的主要參數(shù)有極限真空,抽氣速率,此為設(shè)計(jì)與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級(jí)泵可以將容器從da氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級(jí)機(jī)械泵可以將容器從da氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率,是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),單位時(shí)間內(nèi)所能排出氣體的體積,可以用下公式計(jì)算:Sth=2nVs=2nfsLfs表示吸氣結(jié)束時(shí)空腔截面積,L表示空腔長(zhǎng)度,系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程,Vs表示當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時(shí)候,吸氣結(jié)束,此時(shí)空腔內(nèi)的體積da,轉(zhuǎn)速為n。機(jī)械泵排氣的效果還與電機(jī)的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系,當(dāng)電機(jī)的皮帶比較松,電機(jī)轉(zhuǎn)速很慢的時(shí)候,機(jī)械泵的排氣效果也會(huì)變差,所以要經(jīng)常保養(yǎng),點(diǎn)檢,機(jī)械泵油的密封效果也需要常常點(diǎn)檢,油過少,達(dá)不到密封效果,泵內(nèi)會(huì)漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米即可。

【真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)原則及常用技術(shù)指標(biāo)】真空設(shè)備設(shè)計(jì)原則:(1)先功能,后結(jié)構(gòu)。先給出指標(biāo)參數(shù)、生產(chǎn)要求、功能;(2)先核xin后輔助。由內(nèi)向外。先決定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整體。再由整體,定局部。(4)先設(shè)計(jì),后校核。由粗到細(xì)。鍍膜機(jī)常用技術(shù)指標(biāo):鍍膜方法:CVD,PVD(蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復(fù)合鍍);被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產(chǎn)方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產(chǎn)周期。生產(chǎn)量。生產(chǎn)速率。技術(shù)參數(shù);設(shè)備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時(shí)間、恢復(fù)真空時(shí)間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機(jī))膜厚不均勻程度;功率;高電壓。國(guó)產(chǎn)真空鍍膜機(jī)哪家好?

【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是簡(jiǎn)單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法,因?yàn)樗恍枰妙~外特殊的儀器或者特殊物質(zhì),通過測(cè)量規(guī)管就可以檢測(cè)真空系統(tǒng)的總漏率,從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡(jiǎn)單,但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時(shí)還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進(jìn)行了。靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應(yīng)的壓力范圍,再關(guān)閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計(jì)測(cè)量記錄真空容器中壓力隨時(shí)間的變化過程,即可得出泄漏數(shù)據(jù)。《真空系統(tǒng)抽氣達(dá)不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態(tài)升壓法實(shí)現(xiàn)的,比較方便。當(dāng)然在應(yīng)用過程中,要提高準(zhǔn)確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測(cè)之前對(duì)容器進(jìn)行凈化清洗并烘干,或者用氮?dú)膺M(jìn)行沖洗。更嚴(yán)格一點(diǎn)可以在測(cè)量規(guī)管與容器之間設(shè)置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對(duì)可能存在的漏孔所漏進(jìn)的空氣不會(huì)造成影響。真空鍍膜機(jī)大概多少錢一臺(tái)?寧夏離子束輔助沉積射頻離子源多少錢

真空鍍膜機(jī)抽真空步驟。遼寧離子束輔助沉積射頻離子源生產(chǎn)廠家

【常見的真空材料表面上的污染物類型】1、油脂:加工、裝配、操作時(shí)沾染上的潤(rùn)滑劑、切削液、真空油脂等;2、酸、堿、鹽類物質(zhì):清洗時(shí)的殘余物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等;3、表面氧化物:材料長(zhǎng)期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物;4、水基類:操作時(shí)的手汗、吹氣時(shí)的水汽、唾液等;5、拋光殘?jiān)碍h(huán)境空氣中的塵埃和其它有機(jī)物等。清洗這些污染物的目的是為了改進(jìn)真空鍍膜機(jī)的工作穩(wěn)定性,使工作能夠更加順利的進(jìn)行。清洗后的表面根據(jù)要求分為原子級(jí)清潔表面和工藝技術(shù)上的清潔表面兩類。在真空鍍膜機(jī)使用鍍膜材料鍍膜前,對(duì)鍍膜材料做簡(jiǎn)單的表面清潔可以延長(zhǎng)鍍膜機(jī)的使用壽命。因?yàn)楦鞣N污染物不僅使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度,還會(huì)影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。前期到位的清洗工作可以減少許多麻煩,避免許多小問題的發(fā)生,對(duì)工作效率、真空鍍膜機(jī)鍍膜質(zhì)量都具有十分積極的作用。可dada提高真空系統(tǒng)中所有器壁和其它組件表面在各工作條件下的工作穩(wěn)定性。遼寧離子束輔助沉積射頻離子源生產(chǎn)廠家

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