【真空鍍膜之材料表面處理】表面處理：是在基體材料表面上人工形成一層與基體的機(jī)械、物理和化學(xué)性能不同的表層的工藝方法。表面處理的目的是滿足產(chǎn)品的耐蝕性、耐磨性、裝飾或其他特種功能要求。我們比較常用的表面處理方法是，機(jī)械打磨，化學(xué)處理，表面熱處理，噴涂表面，表面處理就是對(duì)工件表面進(jìn)行清潔、清掃、去毛刺、去油污、去氧化皮等。常用表面處理的工藝有：真空電鍍、電鍍工藝、陽(yáng)極氧化、電解拋光、移印工藝、鍍鋅工藝、粉末噴涂、水轉(zhuǎn)印、絲網(wǎng)印刷、電泳等。真空鍍膜機(jī)常見故障及解決方法。浙江光纖鍍膜空心陰極霍爾離子源生產(chǎn)廠家

【真空鍍膜技術(shù)專業(yè)詞匯】真空鍍膜vacuumcoating：在處于真空下的基片上制取膜層的一種方法?；瑂ubstrate：膜層承受體。試驗(yàn)基片testingsubstrate：在鍍膜開始、鍍膜過(guò)程中或鍍膜結(jié)束后用作測(cè)量和（或）試驗(yàn)的基片。鍍膜材料coatingmaterial：用來(lái)制取膜層的原材料。蒸發(fā)材料evaporationmaterial：在真空蒸發(fā)中用來(lái)蒸發(fā)的鍍膜材料。濺射材料sputteringmaterial：有真空濺射中用來(lái)濺射的鍍膜材料。膜層材料(膜層材質(zhì))filmmaterial：組成膜層的材料。蒸發(fā)速率evaporationrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),蒸發(fā)出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔濺射速率sputteringrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),濺射出來(lái)的材料量,除以該時(shí)間間隔。沉積速率depositionrate：在給定時(shí)間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時(shí)間間隔和基片表面積。鍍膜角度coatingangle：入射到基片上的粒子方向與被鍍表面法線之間的夾角。遼寧玻璃鍍膜空心陰極霍爾離子源生產(chǎn)廠家PVD真空鍍膜機(jī)的公司。

【真空鍍膜設(shè)備撿漏需注意】真空鍍膜設(shè)備檢漏是保證真空鍍膜設(shè)備真空度的一項(xiàng)檢查措施，簡(jiǎn)稱檢漏，真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的，所以檢漏是必不可少的。一、要確認(rèn)漏氣到底的虛漏還是實(shí)漏。因?yàn)楣ぜ牧霞訜岷蠖紩?huì)在不同程度上產(chǎn)生氣體，有可能誤以為是從外部流進(jìn)的氣體，這就是虛漏，要排除這種情況。二、測(cè)試好真空室的氣體密封性能。確保氣密性能符合要求。三、檢查漏孔的da小，形狀、位置，漏氣的速度，制備出可解決方案并實(shí)施。四、確定檢測(cè)儀器的小可檢漏率和檢漏靈敏性，以da范圍的檢測(cè)出漏氣情況，避免一些漏孔被忽略，提高檢漏的準(zhǔn)確性。五、把握檢漏儀器的反應(yīng)時(shí)間和消除時(shí)間。把時(shí)間掌握好，保證檢漏儀器工作到位，時(shí)間少了，檢漏效果肯定差，時(shí)間長(zhǎng)了，浪費(fèi)檢漏氣體和人工電費(fèi)。六、還要避免漏孔堵塞。有時(shí)由于操作失誤，檢漏過(guò)程中，一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了，以為在該位置沒(méi)有漏孔，但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外壓強(qiáng)差異提高或其他原因使漏孔不堵了，那漏氣還是存在的。為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因多種多樣，我們要一一的解決這些原因，穩(wěn)定鍍膜的效果。

【真空鍍膜機(jī)常見故障】:一、當(dāng)正在鍍膜室真空突然下降1.蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈）2.坩堝被打穿（更換坩堝）3.高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈）4.工轉(zhuǎn)動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈）5.預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）6.高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）7.機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開（檢查繼電器是否工作正常）8.烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈）9.擋板動(dòng)密封處膠圈損壞（更換膠圈）10.玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃）二、長(zhǎng)期工作的鍍膜機(jī)抽真空的時(shí)間很長(zhǎng)且達(dá)不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空：1.蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清洗）2.擴(kuò)散泵很久未換油（應(yīng)清洗換油）3.前級(jí)泵反壓強(qiáng)da太機(jī)械泵真空度太低（應(yīng)清洗換油）4.各動(dòng)密封膠圈損壞（更換膠圈）5.由于蒸發(fā)室長(zhǎng)期溫度過(guò)高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）6.蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）7.各引入座螺釘、螺母有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象（重新壓緊）8.高低預(yù)閥是否密封可靠（注油）國(guó)產(chǎn)真空鍍膜機(jī)廠商推薦。

【真空鍍膜機(jī)清洗工藝之放電清洗】利用熱絲或電極作為電子源，在其相對(duì)于待清洗的表面加負(fù)偏壓可以實(shí)現(xiàn)離子轟擊的氣體解吸及某些碳?xì)浠衔锏娜コ?。清洗效果取決于電極材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系。即取決于單位表面積上的離子數(shù)和離子能量，從而取決于有效電功率。在真空室中充入適當(dāng)分壓力的惰性氣體(典型的如Ar氣)，可以利用兩個(gè)適當(dāng)?shù)碾姌O間的低壓下的輝光放電產(chǎn)生的離子轟擊來(lái)達(dá)到清洗的目的。該方法中，惰性氣體被離化并轟擊真空室內(nèi)壁、真空室內(nèi)的其它結(jié)構(gòu)件及被鍍基片，它可以使某些真空系統(tǒng)免除被高溫烘烤。如果在充入的氣體中加入氧氣，對(duì)某些碳?xì)浠衔锟梢垣@得更好的清洗效果。因?yàn)檠鯕饪梢允鼓承┨細(xì)浠衔镅趸梢讚]發(fā)性氣體而容易被真空系統(tǒng)排除。不銹鋼高真空和超高真空容器表面上雜質(zhì)的主要成分是碳和碳?xì)浠衔?。一般情況下，其中的碳不能單獨(dú)揮發(fā)．經(jīng)化學(xué)清洗后，需要引入Ar或Ar+O2混合氣體進(jìn)行輝光放電清洗，使表面上的雜質(zhì)和由于化學(xué)作用被束縛在表面上的氣體得到qing除。真空鍍膜機(jī)故障解決方法？寧夏空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)

真空鍍膜機(jī)抽真空步驟。浙江光纖鍍膜空心陰極霍爾離子源生產(chǎn)廠家

【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次。方法：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，（注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當(dāng)粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個(gè)月（雨季減半），需更換新油。方法：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動(dòng)數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來(lái)。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開機(jī)前，要注意檢漏。方法：?jiǎn)?dòng)維持泵，關(guān)好da門，數(shù)分鐘后，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán)，真空鍍膜設(shè)備無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。浙江光纖鍍膜空心陰極霍爾離子源生產(chǎn)廠家

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