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山西光學(xué)鍍膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)

來源: 發(fā)布時間:2023-04-01

【真空鍍膜機詳細資料】系統(tǒng)概述真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。常用于對半導(dǎo)體、光伏、電子、精密光學(xué)等行業(yè)的納米級表面處理。系統(tǒng)原理通過電子槍發(fā)射高壓電子轟擊坩堝中的待鍍靶材,使其在高真空下蒸發(fā)并沉積在被鍍基片上以獲得鍍膜。系統(tǒng)配置*自動化控制器:e-ControlPLC,是控制系統(tǒng)的硬件平臺。人機界面硬件:TPC1503工業(yè)級15寸觸摸式平板電腦,穩(wěn)定可靠。人機界面軟件:NETSCADA組態(tài)軟件開發(fā)平臺,提供真空鍍膜機的控制和監(jiān)視。真空鍍膜機的升級改造。山西光學(xué)鍍膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)

【真空鍍膜機操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴散泵加熱→開粗抽泵→開預(yù)抽閥→關(guān)預(yù)抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊,開轟擊30秒,關(guān)轟擊→開真空計→當(dāng)真空到,關(guān)粗抽閥→開前置閥→開精抽閥,當(dāng)真空達到7x10-3pa,開轉(zhuǎn)架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后,關(guān)閉真空計、離子源→關(guān)精抽閥,前置閥→關(guān)羅茨泵→開抽氣閥,取件→上料,反復(fù)開始操作。特別注意:1.設(shè)備停用時,鍍膜室要保持真空狀態(tài),減少內(nèi)表面氣體的吸附,防止氧化。2.冷卻水通道場下才能對擴散泵進行加熱,未經(jīng)充分冷卻的泵不得與da氣接觸,防止氧化。3.要保證機器內(nèi)擴散泵和機械泵的油定期檢查和更換。4.設(shè)備運行中遇有停電或其它事故發(fā)生,須先停擴散泵,關(guān)精抽閥,前置閥和真空計。5.產(chǎn)品做完下班后,關(guān)了擴散泵后須待溫度降低至60℃后才能關(guān)維持泵。福建光學(xué)薄膜空心陰極霍爾離子源多少錢廣東真空鍍膜機廠家。

【真空鍍膜機電控柜的操作】1、玻璃真空鍍膜機開水泵、氣源2、開總電源3、開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進入下一步操作。約需5分鐘。4、開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。5、觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以后,關(guān)予抽,開前機和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子qiang電源。

【真空鍍膜機常見故障】:一、當(dāng)正在鍍膜室真空突然下降1.蒸發(fā)源水路膠圈損壞(更換膠圈)2.坩堝被打穿(更換坩堝)3.高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈)4.工轉(zhuǎn)動密封處膠圈損壞(更換膠圈)5.預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)6.高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)7.機械泵停機可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常)8.烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠圈)9.擋板動密封處膠圈損壞(更換膠圈)10.玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂(更換玻璃)二、長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空:1.蒸發(fā)室有很多粉塵(應(yīng)清洗)2.擴散泵很久未換油(應(yīng)清洗換油)3.前級泵反壓強da太機械泵真空度太低(應(yīng)清洗換油)4.各動密封膠圈損壞(更換膠圈)5.由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化(更換膠圈)6.蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞(更換膠圈)7.各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象(重新壓緊)8.高低預(yù)閥是否密封可靠(注油)真空鍍膜機機組是怎樣的?

【真空鍍膜真空的基本概念】:真空的劃分:粗真空760Torr~10E&3Torr高真空10E&4Torr~10E&8Torr超高真空10E&9~10E&12Torr極高真空<10E&12Torr流導(dǎo)(導(dǎo)通量):表示真空管道通過氣體的能力,單位為升/秒(L/S)。一般情況下,管道越短,直徑越da,表面越光滑,越直的管道流導(dǎo)也越da。流量:單位時間內(nèi)流過任意截面的氣體量,單位為Torr·L/s或Pa·L/s。抽氣速率:在一定的壓強和溫度下,單位時間內(nèi)由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡稱抽速。單位一般為L/S或m3/hr或CFM。極限真空:真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。電子束蒸發(fā)真空鍍膜機是什么?廣東光纖鍍膜空心陰極霍爾離子源怎么選

真空鍍膜機的相關(guān)資料。山西光學(xué)鍍膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)

【真空鍍膜機清洗工藝之真空加熱清洗】將工件放置于常壓或真空中加熱.促使其表面上的揮發(fā)雜質(zhì)蒸發(fā)來達到清洗的目的,這種方法的清洗效果與工件的環(huán)境壓力、在真空中保留時間的長短、加熱溫度、污染物的類型及工件材料有關(guān)。其原理是加熱工件.促使其表面吸附的水分子和各種碳氫化合物分子的解吸作用增強。解吸增強的程度與溫度有關(guān)。在超高真空下,為了得到原子級清潔表面,加熱溫度必高于450度才行.加熱清洗方法特別有效。但有時,這種處理方法也會產(chǎn)生副作用。由于加熱的結(jié)果,可能發(fā)生某些碳氫化合物聚合成較da的團粒,并同時分解成碳渣。山西光學(xué)鍍膜空心陰極霍爾離子源自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)

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