【真空鍍膜機(jī)操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴(kuò)散泵加熱→開粗抽泵→開預(yù)抽閥→關(guān)預(yù)抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊，開轟擊30秒，關(guān)轟擊→開真空計(jì)→當(dāng)真空到，關(guān)粗抽閥→開前置閥→開精抽閥，當(dāng)真空達(dá)到7x10-3pa，開轉(zhuǎn)架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后，關(guān)閉真空計(jì)、離子源→關(guān)精抽閥，前置閥→關(guān)羅茨泵→開抽氣閥，取件→上料，反復(fù)開始操作。特別注意：1.設(shè)備停用時(shí)，鍍膜室要保持真空狀態(tài)，減少內(nèi)表面氣體的吸附，防止氧化。2.冷卻水通道場下才能對擴(kuò)散泵進(jìn)行加熱，未經(jīng)充分冷卻的泵不得與da氣接觸，防止氧化。3.要保證機(jī)器內(nèi)擴(kuò)散泵和機(jī)械泵的油定期檢查和更換。4.設(shè)備運(yùn)行中遇有停電或其它事故發(fā)生，須先停擴(kuò)散泵，關(guān)精抽閥，前置閥和真空計(jì)。5.產(chǎn)品做完下班后，關(guān)了擴(kuò)散泵后須待溫度降低至60℃后才能關(guān)維持泵。真空鍍膜機(jī)真空四個(gè)階段。浙江紅外鍍膜空心陰極霍爾離子源專業(yè)生產(chǎn)

【真空鍍膜機(jī)沖洗工藝之反應(yīng)氣體沖洗】這種方法特別適用于da型超高不銹鋼真空系統(tǒng)的內(nèi)部洗(去除碳?xì)浠衔镂廴?。通常對于某些da型超高真空系統(tǒng)的真空室和真空元件，為了獲得原子態(tài)的清潔表面，消除其表面污染的標(biāo)準(zhǔn)方法是化學(xué)清洗，真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空系統(tǒng)等方法。以上的清洗和除氣方法常用于真空系統(tǒng)安裝前及裝配期間。在真空系統(tǒng)安裝后(或系統(tǒng)運(yùn)行后)，由于真空系統(tǒng)內(nèi)的各種零部件已經(jīng)被固定，這時(shí)對它們進(jìn)行除氣處理就很困難，一旦系統(tǒng)受到(偶然)污染(主要是da原子數(shù)的分子如碳?xì)浠衔锏奈廴?，通常要拆卸后重新處理再安裝．而用反應(yīng)氣體工藝，可以進(jìn)行原位在線除氣處理．有效地除去不銹鋼真空室內(nèi)的碳?xì)浠衔锏奈廴?其清洗機(jī)理：在系統(tǒng)中引述氧化性氣體(O2、N0)和還原性氣體(H2、NH3)對金屬表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)清洗，消除污染，以便獲得原子態(tài)的清潔金屬表面。表面氧化／還原的速率取決于污染的情況及金屬表面的材質(zhì)，表面反應(yīng)速率的da小通過調(diào)整反應(yīng)氣體的壓力和溫度來控制。對于每一種基材而言，精確的參數(shù)要通過實(shí)驗(yàn)來確定.對于不同的結(jié)晶取向，這些參數(shù)是不同的。江西AR/IR鍍膜空心陰極霍爾離子源源頭實(shí)力廠家真空鍍膜機(jī)的培訓(xùn)資料。

【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內(nèi)由惰性氣體(通常為氬)產(chǎn)生具有較高能量的離子轟擊靶材料，把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點(diǎn)是基片相對于離子源和靶是du立的，它的溫度可以單獨(dú)控制。基片通常接地位，它和靶與高頻電路無關(guān)，不會象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊，因而溫度較低。所以只要配置一臺較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型，控溫范圍為-10℃~50℃，精度≤0。5℃)，實(shí)現(xiàn)對樣品臺的單獨(dú)控溫，就可以根據(jù)不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。根據(jù)現(xiàn)有離子束濺射設(shè)備的構(gòu)造，設(shè)計(jì)、加工了專門的金屬樣品架，放上樣品后蓋上金屬壓片，用螺絲緊密地固定在鍍膜腔體的樣品臺上，可使樣品和控溫的樣品臺有良好的熱接觸。并在樣品架中放置了一個(gè)測溫鉑電阻，用螺絲把金屬壓片連同其下的鉑電阻一起固定壓緊，再用導(dǎo)線引出與高精度的萬用表相連，以監(jiān)測薄膜生長過程中的樣品溫度。

【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種，也是簡單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法，因?yàn)樗恍枰妙~外特殊的儀器或者特殊物質(zhì)，通過測量規(guī)管就可以檢測真空系統(tǒng)的總漏率，從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單，但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話，靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時(shí)還需要確定其位置的話，就需要配合其他方法來進(jìn)行了。靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應(yīng)的壓力范圍，再關(guān)閉閥門，隔離真空泵與真空容器，然后用真空計(jì)測量記錄真空容器中壓力隨時(shí)間的變化過程，即可得出泄漏數(shù)據(jù)。《真空系統(tǒng)抽氣達(dá)不到工作壓力有哪些原因》中，螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態(tài)升壓法實(shí)現(xiàn)的，比較方便。當(dāng)然在應(yīng)用過程中，要提高準(zhǔn)確性就要減少其他因素干擾，需要在檢測之前對容器進(jìn)行凈化清洗并烘干，或者用氮?dú)膺M(jìn)行沖洗。更嚴(yán)格一點(diǎn)可以在測量規(guī)管與容器之間設(shè)置冷阱，處理釋放的可凝氣體，而對可能存在的漏孔所漏進(jìn)的空氣不會造成影響。真空鍍膜機(jī)的生產(chǎn)廠家。

【真空鍍膜機(jī)常見故障之旋片泵故障及處理方法】1、未做保養(yǎng)導(dǎo)致灰塵太多。真空鍍膜設(shè)備在鍍膜過程中容易產(chǎn)生da量灰塵，這些灰塵伴隨空氣容易混雜到泵油中，時(shí)間久了容易對轉(zhuǎn)子及泵腔造成磨損及破壞。處理方法：如果灰塵不多，可以油過濾系統(tǒng)除掉灰塵；如果灰塵過多可以用除塵器配合油過濾系統(tǒng)除掉灰塵。2、旋片式真空泵冒煙和噴油：指旋片式真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)中排氣口冒煙或者噴油，冒煙。處理方法：冒煙闡明泵的進(jìn)氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的狀況。3、噴油，闡明進(jìn)氣口外有da量的漏點(diǎn)，以至是進(jìn)氣口暴露da氣。處理方法：封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，假如不噴油的話，闡明有漏點(diǎn)；排氣閥片損壞，檢查排氣閥片能否損壞，改換壞的排氣閥片。4、被抽氣體的溫度可能過高。處理方法：降低被抽氣體的溫度，或能夠加一個(gè)相應(yīng)的換熱器。5、配合的間隙改da。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，形成旋片和定子之間磨損后的間隙增da。處理方法：檢查間隙能否過da，改換新的零部件。6、泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒有堅(jiān)持一定量的油量。處理方法：檢查油路能否暢通，并加同類型的真空泵油。真空鍍膜機(jī)故障維修技巧有哪些？遼寧真空鍍膜空心陰極霍爾離子源廠家

真空鍍膜機(jī)公司的排名。浙江紅外鍍膜空心陰極霍爾離子源專業(yè)生產(chǎn)

【真空鍍膜設(shè)備維修保養(yǎng)技術(shù)】一、當(dāng)鍍膜設(shè)備工作完成到兩百個(gè)鍍膜的時(shí)候，拆出密封圈，及時(shí)清潔設(shè)備環(huán)境（室內(nèi)環(huán)境）。如何清潔保養(yǎng)？首先我們要使鍍上去的膜層掉落，同時(shí)釋放氫氣，清洗過程中要注意所使用到的溶液會灼傷人體的皮膚，所以通常我們要小心謹(jǐn)慎用堿飽和溶液不斷來回清洗真空適合內(nèi)部（內(nèi)壁），再用清水洗刷真空室，并通過抹布沾上汽油擦拭抽閥里面的污漬。二、當(dāng)閥泵連續(xù)工作一個(gè)月之后，為保持設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)我們需要更換油。將泵啟動，擰開放油螺栓，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，觀察油視鏡倒入新油加到一定額度，平常換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開，有需要時(shí)用布擦干凈箱內(nèi)污垢。三、擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上，抽的速度會顯然變慢，當(dāng)操作不當(dāng)應(yīng)拆去聯(lián)結(jié)水管，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽，加入新擴(kuò)散泵油，并裝回機(jī)體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機(jī)。在重新開機(jī)前，要注意檢漏工作。首先啟動維持泵，關(guān)好da門，數(shù)分鐘后，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處的密封圈是否正常。浙江紅外鍍膜空心陰極霍爾離子源專業(yè)生產(chǎn)

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