【光學薄膜制備技術之物理qi相學沉積(PVD)】物理qi相沉積法,簡單地說是在真空環(huán)境中加熱薄膜材料使其成為蒸汽,蒸汽再凝結到溫度相對低的基片上形成薄膜。根據(jù)膜料汽化方式的不同,又分為熱蒸發(fā)、濺射、離子鍍及離子輔助鍍技術。1)熱蒸發(fā):光學薄膜器件主要采用真空環(huán)境下的熱蒸發(fā)方法制造,此方法簡單、經濟、操作方便。2)濺射:指用高速正離子轟擊膜料(靶)表面,通過動量傳遞,使其分子或原子獲得足夠的動能而從靶表面逸出(濺射),在被鍍件表面凝聚成膜。其膜層附著力強,純度高,可同時濺射多種不同成分的合金膜或化合物。3)離子鍍:兼有熱蒸發(fā)的高成膜速率和濺射高能離子轟擊獲得致密膜層的雙優(yōu)效果,離子鍍膜層附著力強、致密。離子鍍常見類型:蒸發(fā)源和離化方式。4)離子輔助鍍:在熱蒸發(fā)鍍膜技術中增設離子發(fā)生器—離子源,產生離子束,在熱蒸發(fā)進行的同時,用離子束轟擊正在生長的膜層,形成致密均勻結構(聚集密度接近于1),使膜層的穩(wěn)定性提高,達到改善膜層光學和機械性能。 光學鍍膜機抽真空步驟。廣西光學鍍膜機維修招聘
光學鍍膜由薄膜層組合而成,它會產生干涉效應來改變光學系統(tǒng)的透射或反射性能。光學鍍膜的性能取決于層數(shù)、每層的厚度和不同層之間的折射率。精密光學中常見鍍膜類型有:增透膜(AR)、高反射(鏡)膜、分光鏡膜和濾光片膜(短波通,長波通,陷波等)。增透膜適用于大多數(shù)折射光學件,可以增大光通量并減少不必要的反射。高反射膜可以在單個波長或某段波長范圍內提供比較大反射,多用于反射鏡。分光鏡膜用于將入射光分為透射光和反射光輸出。濾光片鍍膜適用于大量生命科學和醫(yī)學應用,能夠以特定波長透射、反射、吸收或衰減光。愛特蒙特光學還可以提供各種定制鍍膜,滿足您的應用需求。上海光學鍍膜機的操作成都國泰真空設備有限公司專做光學鍍膜機歡迎前來咨詢。
【光學鍍膜之反射膜】反射膜一般可分為兩類,一類是金屬反射膜,一類是全電介質反射膜。此外,還有將兩者結合的金屬電介質反射膜,功能是增加光學表面的反射率。 一般金屬都具有較大的消光系數(shù)。當光束由空氣入射到金屬表面時,進入金屬內的光振幅迅速衰減,使得進入金屬內部的光能相應減少,而反射光能增加。消光系數(shù)越大,光振幅衰減越迅速,進入金屬內部的光能越少,反射率越高。人們總是選擇消光系數(shù)較大,光學性質較穩(wěn)定的金屬作為金屬膜材料。在紫外區(qū)常用的金屬薄材料是鋁,在可見光區(qū)常用鋁和銀,在紅外區(qū)常用金、銀和銅,此外,鉻和鉑也常作一些特種薄膜的膜料。由于鋁、銀、銅等材料在空氣中很容易氧化而降低性能,所以必須用電介質膜加以保護。常用的保護膜材料有一氧化硅、氟化鎂、二氧化硅、三氧化二鋁等。 金屬反射膜的優(yōu)點是制備工藝簡單,工作的波長范圍寬;缺點是光損大,反射率不可能很高。為了使金屬反射膜的反射率進一步提高,可以在膜的外側加鍍幾層一定厚度的電介質層,組成金屬電介質反射膜。需要指出的是,金屬電介質射膜增加了某一波長(或者某一波區(qū))的反射率,卻破壞了金屬膜中性反射的特點。
三、方法和材料的區(qū)別1、真空鍍膜的方法材料:(1)真空蒸鍍:將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室,抽空后將膜料加熱到高溫,使蒸氣達到約,凝結而成薄膜。(2)陰極濺射鍍:將需鍍膜的基體放在陰極對面,把惰性氣體(如氬)通入已抽空的室內,保持壓強約~,然后將陰極接上2000V的直流電源,便激發(fā)輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極,使其射出原子,濺射出的原子通過惰性氣氛沉積到基體上形成膜。(3)化學氣相沉積:通過熱分解所選定的金屬化合物或有機化合物,獲得沉積薄膜的過程。(4)離子鍍:實質上離子鍍系真空蒸鍍和陰極濺射鍍的有機結合,兼有兩者的工藝特點。表6-9列出了各種鍍膜方法的優(yōu)缺點。 真空鍍膜機使用時,需要注意哪些問題?
【光學鍍膜之蒸發(fā)源的類型和特點】 ①電阻加熱源:用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀,通以電流,加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發(fā)物質 。電阻加熱源主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。 ②高頻感應加熱源:用高頻感應電流加熱坩堝和蒸發(fā)物質。 ③電子束加熱源:用電子束轟擊材料使其蒸發(fā)。適用于蒸發(fā)溫度較高(不低于2000℃)的材料。 特點:能在金屬、半導體、絕緣體甚至塑料、紙張、織物表面上沉積金屬、半導體、絕緣體、不同成分比的合金、化合物及部分有基聚合物等的薄膜,其適用范圍之廣是其它方法無法與之比擬的??梢圆煌某练e速率、不同的基板溫度和不同的蒸氣分子入射角蒸鍍成膜,因而可得到不同顯微結構和結晶形態(tài)(單晶、多晶或非晶等)的薄膜; 薄膜的純度很高;易于在線檢測和控制薄膜的厚度與成分;厚度控制精度*高可達單分子層量級。光學鍍膜機該如何維修。廣東光學鍍膜機都用什么軟件設計膜層
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【光學薄膜的應用前景】光電信息產業(yè)中*有發(fā)展前景的通訊、顯示和存儲三大類產品都離不開光學薄膜,如投影機、背投影電視機、數(shù)碼照相機、攝像機、DVD,以及光通訊中的DWDM、GFF濾光片等,光學薄膜的性能在很大程度上決定了這些產品的*終性能。光學薄膜正在突破傳統(tǒng)的范疇,越來越廣fan地滲透到從空間探測器、集成電路、生物芯片、激光器件、液晶顯示到集成光學等各學科領域中,對科學技術的進步和全球經濟的發(fā)展都起著重要的作用,研究光學薄膜物理特性及其技術已構成現(xiàn)代科技的一個分支——薄膜光學。光學薄膜技術水平已成為衡量一個國家光電信息等高新技術產業(yè)科技發(fā)展水平的關鍵技術之一。增透減反AR膜,主要也是為了應對國內大的風砂。像塵、砂,都會對增透膜產生劃痕方面的影響。這個是增透膜耐濕冷、耐摩擦方面的情況。 廣西光學鍍膜機維修招聘
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