【真空鍍膜之磁控濺射鍍膜】磁控濺射對陰極濺射中電子使基片溫度上升過快的缺點加以改良,形成了電場和磁場方向相互垂直的特點。在正交的電磁場的作用下,電子以擺線的方式沿著靶表面前進(jìn),從而xianzhu地延長了電子的運動路程,增加了同工作氣體分子的碰撞幾率,提高了電子的電離效率。由于電子每經(jīng)過一次碰撞損失一部分動能,經(jīng)過多次碰撞后,喪失了能量成為“終電子”進(jìn)入離陰極靶面較遠(yuǎn)的弱電場區(qū),后到達(dá)陽極時已經(jīng)是能量消耗殆盡的低能電子,也就不再會使基片過熱。同時高密度等離子體被束縛在靶面附近,又不與基片接觸,這樣電離產(chǎn)生的正離子能十分有效地轟擊靶面,而基片又可免受等離子體的轟擊,因而基片溫度又可降低。在濺射儀起輝以后,并不把樣品轉(zhuǎn)入陽極的生長位置,也不通循環(huán)水,使樣品隨放電的熱能而逐漸升高至一定溫度后,才開始生長,以減小應(yīng)力,獲得牢固度較高的薄膜。另外在樣品盤中還安裝了溫控儀(精度小于1℃)以監(jiān)控薄膜生長過程中的樣品溫度。真空鍍膜機(jī)的操作培訓(xùn)。上海光學(xué)薄膜空心陰極霍爾離子源生產(chǎn)廠家
【真空鍍膜機(jī)操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴(kuò)散泵加熱→開粗抽泵→開預(yù)抽閥→關(guān)預(yù)抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊,開轟擊30秒,關(guān)轟擊→開真空計→當(dāng)真空到,關(guān)粗抽閥→開前置閥→開精抽閥,當(dāng)真空達(dá)到7x10-3pa,開轉(zhuǎn)架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后,關(guān)閉真空計、離子源→關(guān)精抽閥,前置閥→關(guān)羅茨泵→開抽氣閥,取件→上料,反復(fù)開始操作。特別注意:1.設(shè)備停用時,鍍膜室要保持真空狀態(tài),減少內(nèi)表面氣體的吸附,防止氧化。2.冷卻水通道場下才能對擴(kuò)散泵進(jìn)行加熱,未經(jīng)充分冷卻的泵不得與da氣接觸,防止氧化。3.要保證機(jī)器內(nèi)擴(kuò)散泵和機(jī)械泵的油定期檢查和更換。4.設(shè)備運行中遇有停電或其它事故發(fā)生,須先停擴(kuò)散泵,關(guān)精抽閥,前置閥和真空計。5.產(chǎn)品做完下班后,關(guān)了擴(kuò)散泵后須待溫度降低至60℃后才能關(guān)維持泵。光纖鍍膜空心陰極霍爾離子源多少錢真空鍍膜機(jī)廠家qian十。
【真空鍍膜機(jī)之真空泵的維護(hù)和保養(yǎng)】1、經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以泵運轉(zhuǎn)時,油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時更換新油,確保泵工作正常。3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。一般新泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當(dāng)延長換油期限。4、一般情況下,泵工作2000小時后應(yīng)進(jìn)行檢修,檢查桷膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個泵腔內(nèi)的零件,如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗,并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。5、有條件的對管中同樣進(jìn)行清理,確保管路暢通。6、重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運行,一般須空運轉(zhuǎn)2小時并換油二次,因清洗時在泵中會留有一定量易揮發(fā)物,待運轉(zhuǎn)正常后,再投入正常工作。7、本系列泵油采用專業(yè)用真空泵油。
【真空鍍膜機(jī)清洗工藝之放電清洗】利用熱絲或電極作為電子源,在其相對于待清洗的表面加負(fù)偏壓可以實現(xiàn)離子轟擊的氣體解吸及某些碳?xì)浠衔锏娜コ?。清洗效果取決于電極材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系。即取決于單位表面積上的離子數(shù)和離子能量,從而取決于有效電功率。在真空室中充入適當(dāng)分壓力的惰性氣體(典型的如Ar氣),可以利用兩個適當(dāng)?shù)碾姌O間的低壓下的輝光放電產(chǎn)生的離子轟擊來達(dá)到清洗的目的。該方法中,惰性氣體被離化并轟擊真空室內(nèi)壁、真空室內(nèi)的其它結(jié)構(gòu)件及被鍍基片,它可以使某些真空系統(tǒng)免除被高溫烘烤。如果在充入的氣體中加入氧氣,對某些碳?xì)浠衔锟梢垣@得更好的清洗效果。因為氧氣可以使某些碳?xì)浠衔镅趸梢讚]發(fā)性氣體而容易被真空系統(tǒng)排除。不銹鋼高真空和超高真空容器表面上雜質(zhì)的主要成分是碳和碳?xì)浠衔?。真空鍍膜機(jī)真空四個階段。
【真空鍍膜對環(huán)境的基本要求】加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要。基片進(jìn)入鍍膜室前均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的?;砻嫖廴緛碜粤慵诩庸?、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。對經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能在da氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至小。因為這些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。對于高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。qing除鍍膜室內(nèi)的灰塵,設(shè)置清潔度高的工作間,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求。空氣濕度da的地區(qū),除鍍前要對基片、真空室內(nèi)各部件認(rèn)真清洗外,還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴(kuò)散泵返油,對加熱功率高的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施。真空鍍膜機(jī)日常怎么維護(hù)?云南真空鍍膜空心陰極霍爾離子源廠家
空心陰極霍爾離子源具有較高的離子產(chǎn)額和較低的氣體消耗率。上海光學(xué)薄膜空心陰極霍爾離子源生產(chǎn)廠家
【真空鍍膜之絲網(wǎng)印刷】絲網(wǎng)印刷:通過刮板的擠壓,使油墨通過圖文部分的網(wǎng)孔轉(zhuǎn)移到承印物上,形成與原稿一樣的圖文。絲網(wǎng)印刷設(shè)備簡單、操作方便,印刷、制版簡易且成本低廉,適應(yīng)性強(qiáng)。常見的印刷品有:彩色油畫、招貼畫、名片、裝幀封面、商品標(biāo)牌以及印染紡織品等。適用材料:幾乎所有的材料都可以絲網(wǎng)印刷,包括紙張,塑料,金屬,陶藝和玻璃等。工藝成本:模具費用低,但是還是取決于顏色的數(shù)量,因為每一種顏色都要單獨制版。人力成本偏高,尤其當(dāng)涉及到多彩印刷。環(huán)境影響:淺色絲印油墨對環(huán)境影響較小,然而含有PVC和甲醛的油墨具有有害的化學(xué)物質(zhì),需及時回收和處理以防污染水資源。上海光學(xué)薄膜空心陰極霍爾離子源生產(chǎn)廠家