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云南離子束輔助沉積射頻離子源制造生產(chǎn)廠家

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-09-22

【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。方法:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,(注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半),需更換新油。方法:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動(dòng)數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開,用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開機(jī)前,要注意檢漏。方法:啟動(dòng)維持泵,關(guān)好da門,數(shù)分鐘后,觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕,否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán),真空鍍膜設(shè)備無法進(jìn)入工作狀態(tài)。廣東真空鍍膜機(jī)廠家。云南離子束輔助沉積射頻離子源制造生產(chǎn)廠家

【機(jī)械泵分類】機(jī)械泵有很多種,常用的有滑閥式、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式四種類型。機(jī)械泵是從da氣開始工作的,它的主要參數(shù)有極限真空,抽氣速率,此為設(shè)計(jì)與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從da氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機(jī)械泵可以將容器從da氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率,是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),單位時(shí)間內(nèi)所能排出氣體的體積,可以用下公式計(jì)算:Sth=2nVs=2nfsLfs表示吸氣結(jié)束時(shí)空腔截面積,L表示空腔長度,系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程,Vs表示當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時(shí)候,吸氣結(jié)束,此時(shí)空腔內(nèi)的體積da,轉(zhuǎn)速為n。機(jī)械泵排氣的效果還與電機(jī)的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系,當(dāng)電機(jī)的皮帶比較松,電機(jī)轉(zhuǎn)速很慢的時(shí)候,機(jī)械泵的排氣效果也會(huì)變差,所以要經(jīng)常保養(yǎng),點(diǎn)檢,機(jī)械泵油的密封效果也需要常常點(diǎn)檢,油過少,達(dá)不到密封效果,泵內(nèi)會(huì)漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米即可。湖南離子束刻蝕射頻離子源專業(yè)生產(chǎn)射頻離子源是未來科技發(fā)展的重要方向,具有廣闊的應(yīng)用前景。

【真空鍍膜對環(huán)境的基本要求】加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要?;M(jìn)入鍍膜室前均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的?;砻嫖廴緛碜粤慵诩庸ぁ鬏?、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。對經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能在da氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至小。因?yàn)檫@些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。對于高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。qing除鍍膜室內(nèi)的灰塵,設(shè)置清潔度高的工作間,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求。空氣濕度da的地區(qū),除鍍前要對基片、真空室內(nèi)各部件認(rèn)真清洗外,還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴(kuò)散泵返油,對加熱功率高的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施。

【真空鍍膜機(jī)真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是簡單易行的真空系統(tǒng)檢漏方法,因?yàn)樗恍枰妙~外特殊的儀器或者特殊物質(zhì),通過測量規(guī)管就可以檢測真空系統(tǒng)的總漏率,從而確定真空系統(tǒng)或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單,但也存在局限。如果真空系統(tǒng)或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統(tǒng)是否有漏孔的同時(shí)還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進(jìn)行了。靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應(yīng)的壓力范圍,再關(guān)閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計(jì)測量記錄真空容器中壓力隨時(shí)間的變化過程,即可得出泄漏數(shù)據(jù)。《真空系統(tǒng)抽氣達(dá)不到工作壓力有哪些原因》中,螺桿真空泵廠家介紹的判斷方法即是通過靜態(tài)升壓法實(shí)現(xiàn)的,比較方便。當(dāng)然在應(yīng)用過程中,要提高準(zhǔn)確性就要減少其他因素干擾,需要在檢測之前對容器進(jìn)行凈化清洗并烘干,或者用氮?dú)膺M(jìn)行沖洗。更嚴(yán)格一點(diǎn)可以在測量規(guī)管與容器之間設(shè)置冷阱,處理釋放的可凝氣體,而對可能存在的漏孔所漏進(jìn)的空氣不會(huì)造成影響。真空鍍膜機(jī)的操作培訓(xùn)。

【真空鍍膜設(shè)備的維修及保養(yǎng)方法】1.真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。方法:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,(注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。2.當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半),需更換新油。方法:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動(dòng)數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開,用布擦干凈箱內(nèi)污垢。3.在重新開機(jī)前,要注意檢漏。方法:啟動(dòng)維持泵,關(guān)好da門,數(shù)分鐘后,觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕,否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán),真空鍍膜設(shè)備無法進(jìn)入工作狀態(tài)。真空鍍膜機(jī)詳細(xì)鍍膜方法。北京大直徑射頻離子源多少錢

真空鍍膜機(jī)公司的排名。云南離子束輔助沉積射頻離子源制造生產(chǎn)廠家

直流電源電壓紋波做了二次濾波處理,高壓輸出的紋波小于50mV,離子源束流的穩(wěn)定性和重復(fù)性較好,鍍膜的產(chǎn)品的折射率更穩(wěn)定。國泰真空射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個(gè)負(fù)載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同國泰射頻離子源采用通用的LC高頻諧振原理,使用可調(diào)電容快速調(diào)諧,使整個(gè)負(fù)載阻抗匹配到50?,從而使功率輸出比較大,電離化效率比較高,調(diào)諧馬達(dá)采用步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)位+編碼器快速定位,并帶鎖止和記憶功能,以滿足負(fù)載在不同的真空環(huán)境、不同阻抗快速點(diǎn)火。云南離子束輔助沉積射頻離子源制造生產(chǎn)廠家